MEMS与智能传感器技术专题论坛在郑州召开

2018年11月11日，由有智能传感器创新联盟承办的MEMS与智能传感器技术专题论坛在郑州市圣菲特花园酒店召开，有140多名来自传感器及相关领域的高校、企业和研究所人员参加了本次专题论坛。

清华大学尤政院士在论坛致词中讲到中国制造需要实现自主可控，“中兴事件”后，国家发现我们大部分芯片都不能实现自主可控，对于我们MEMS人来说肩上的担子很重。国家提出“物联网+”概念，目前物联网已经搭建起来了，这个+就需要我们MEMS人往里面加内容。未来的MEMS概念是融合了传统MEMS技术+构架系统+算法为一体的新概念。此外南京大学陈洪渊院士以“智能传感的今天和明天”为主题做论坛主旨报告。

上午的论坛主题为“智能传感器技术进展”，中国科学院电子学研究所夏善红研究员演讲了主题为“化学量和生物量微纳传感器及系统研究”的报告，报告基于微纳米技术的传感器及系统具有体积小、功耗低、试剂耗量少等优点，是化学量和生物量传感器发展的重要方向。简要介绍了若干化学量和生物量微纳传感器及系统的工作原理、基本结构、制备方法、测试结果等，分析相关的科学技术难点，展望未来发展。南京大学张旭苹教授报告主题为“基于分布式光纤传感系统的大型结构健康监测技术”，分析和讨论了适应未来智能物联网应用发展所需要的分布式光纤传感技术面临的挑战，以及目前推广应用中存在的问题与解决方案；介绍南京大学在分布式光纤传感系统和设备方面的研究成果与进展，并给出一些应用实例。

歌尔股份有限公司王德信博士和中国电科重庆声光电有限公司翟江皞先生从企业角度，分别为大家做了“AI时代智能传感器应用”和“可见光图像传感器”为主题的报告。

中国科学院北京纳米能源与系统研究所杨亚研究员以“复合型纳米发电机”主题报告结束了上午精彩的报告，其报告提出了通过电磁发电和摩擦发电两种不同的原理来实现同一种机械能到电能转换效率提升的普适性方法。开发了基于多种物理效应耦合一体式的复合纳米发电机，解决了不同类型纳米发电机的集成度低和成本高的难题。提出了通过界面与能带工程调控光伏器件的新策略，揭示了外部温度对光伏器件的调制规律，建立了温度变化诱导的极化电荷调控界面势垒高度提高光伏器件性能的新方法。报告后多位代表向杨亚研究员提出有关问题。

下午论坛清华大学深圳研究生院王晓浩研究员首先为参会者做主题报告——传感器在机器触觉与可穿戴等领域中的应用及思考，接着香港城市大学孙东教授为参会者做“细胞手术机器人中的视觉传感技术”的报告，介绍了香港研究团队如何应用3D模型重构技术精准定位细胞内部的细胞器以便通过光镊和探针等微操作工具实现大批量、高精度、多样性的单细胞手术操作，如细胞器提取、细胞精密注射等。另外，还将介绍如何应用光声技术追踪可携带细胞的微机器人在体内的运动，以实现细胞精准输送和定向释放。

沈阳仪表科学研究院传感器国家工程研究中心刘沁研究员报告主题为“SOI宽温区压力传感器应用研究”，报告围绕当前MEMS发展现状及产业化的问题、SOI材料及关键制备工艺、SOI传感器特种应用进行了一定的探讨。武汉大学孙成亮教授报告题目为“压电氮化铝Lamb波谐振器与滤波器”，报告将围绕基于AlN的兰姆波谐振器为基础，研究通过蚀刻交叉电极之间的压电材料表面上的梯形槽来提升兰姆波谐振器的机电耦合系数方法。

原定最后一位报告专家麦考瑞大学Subhas Mukhopadhya教授由于身体原因未能到现场，特意为制作了视频，以视频加PPT形式为参会者们带来主题为“IoT Plus WSN Based Smart Ageing”的报告。