倍加福AMHS天车防撞与Foup超限检测方案介绍

半导体晶圆厂中的AMHS是实现无人化生产的核心物流系统。其中，OHT天车作为关键的搬运设备，悬挂于洁净室内的空中轨道，承担着在工艺设备、晶圆盒空中缓存区与存储库之间搬运Foup的任务，贯穿芯片生产的全过程。

Foup作为晶圆的核心承载载体，价值高且对搬运精度和防护有严格要求。天车在高速运行、多车协同作业过程中，需同时实现对前车的安全防撞保护和对Foup的超限检测，以确保晶圆搬运的安全性和稳定性。倍加福为OHT天车前车防撞与Foup超限检测提供完整的解决方案。

应用挑战

天车在高速行驶、岔路切换及集群作业时，常面临前车距离过近、多车交汇的风险，因此要求防撞传感器响应速度快、检测精度高。

同时，Foup在抓取、起升和搬运过程中，可能出现高度或宽度超限或偏载现象，这会导致工艺延误甚至晶圆损坏，要求传感器能稳定、实时地识别超限状态。

解决方案

倍加福的R200-PRT传感器采用PRT脉冲测距技术，基于TOF的测距原理，不受目标物颜色、亮度的影响。

PRT R200有两路独立输出，可直接实现天车运行中的减速位和停止位，尺寸小便于集成在OHT中。R200具备高速响应与高定位精度，在天车防撞应用中表现突出。

R2与R3系列传感器因其微型设计，适用于狭小空间安装，并采用DuraBeam激光技术，在Foup超限检测中可实现稳定检测，其快速响应能力可实时监测Foup是否超出限制。两种设计M2或ø3,选择更自由。

01 OHT天车防撞

在OHT天车防撞应用中，天车运行速度最高可达5~6 m/s，传感器需能快速响应，并准确输出与前车的距离信息，这就要求传感器具备高响应速度、高定位精度，并适应天车的高速移动。

高定位精度：重复精度 < 3 mm，适用于10 m/s移动速度下的准确控制，满足防撞需求

响应频率高达300 kHz，快速响应时间仅3 ms，可适配天车高速运行中的定位与防撞报警，支持减速与停机控制，提升运行安全性

支持IO-Link通信，可实现远程参数设置、故障诊断和双向通讯，使系统更具灵活性与智能化

提供开关量与模拟量输出型号，支持多种功能模式选择

02 Foup超限检测/放掉落

在Foup超限检测应用中，传感器需具备小体积、高速响应和高精度检测能力。倍加福R2、R3系列传感器采用微型外观设计，其中R2F与R3F型号可贴片安装，适应空间受限的安装环境，并具备Teach-In功能的对射型版本可准确检测微小目标物，响应时间快至0.25 ms。

DuraBeam激光技术，光源更集中，使用寿命更长，能够准确识别Foup超限中的细微变化

0.25 ms高速响应时间，可实现Foup状态的实时监控

对射型检测距离为500 mm / 1500 mm，可适配不同类型Foup检测需求

贴片式安装方式节省安装空间，适应狭小环境要求

OHT 天车更多解决方案：

工位Foup/Casstte有无检测，ML100-55-G稳定检测各种料盒

料盒卡到位法兰检测，OBG5000-R100可实现0盲区检测

前/后轴原点、极限位检测，GL5定位精度0.03mm

关于倍加福

倍加福–未来自动化的驱动者和创新者

倍加福以德国曼海姆为公司总部，凭借其持续不断的对创新技术的研发，向全球工厂自动化和过程行业的客户提供丰富而多样的产品，致力于自动化行业的传统应用和面向未来的应用。同时，倍加福不断推动前瞻性技术的开发，为客户迎接即将来临的工业 4.0 的挑战铺平了道路。