氦质谱检漏仪 EUV ***检漏
上海伯东客户日本某生产半导体用***公司, ***真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成***的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310.
***检漏方法: 采用真空模式检漏, 漏率值设定为 1x10-11pa m3/s.
1. 通过波纹管与***真空系统连接
2. 使用喷枪, 喷扫管路, 腔体焊缝, 接头等部位, 如果存在超过设定漏率值的狭缝, 检漏仪会时时发出声光报警, 同时在屏幕上显示漏率值.
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 主要技术参数：
对氦气的最小检测漏率 | 真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸枪模式 1E-8 Pa m3/s |
检测模式 | 真空模式和吸枪模式 |
氦质谱检漏仪无油前级泵抽速 | 1.7 m3/h |
检测气体 | 4He , 3He, H2 |
响应时间 | <1s |
对氦气的抽气速度 | 1.1 l/s |
氦质谱检漏仪进气法兰 | DN 25 ISO-KF |
进气口最大压力 | 15 hPa |
通讯接口 | RS-232 |
工作温度 | 10-40 °C |
噪音水平 | < 45 dB (A) |
尺寸 | 350 X 245 X 141 mm |
重量 | 21 kg (46 lb) |
鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解***检漏, 请联络上海伯东叶女士 分机 107
现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
EUV
+关注
关注
8文章
615浏览量
89019 -
EUV光刻机
+关注
关注
2文章
129浏览量
15881
发布评论请先 登录
相关推荐
热点推荐
用\"看\"的方式捕捉SF6气体泄漏：红外检漏仪的原理与优势
气层，会对生态环境造成长期危害
因此，定期对充气设备进行泄漏检测，是变电运维指标体系的核心要求。而在各种检漏技术中，红外成像检漏仪正在成为行业新宠。
二、红外成像检漏：敢\"看\"
发表于 05-06 11:09
福禄克6270A模块化压力控制器在气密检漏仪中的应用
气密检漏仪（也称气密性检测仪、密封性测试仪、测漏仪）是一种用于检测产品或系统气密性（密封性能）的专业仪器，主要通过充气/加压、稳压、监测压力变化的方式，判断是否存在泄漏。
简单好用的气密性检漏仪，新手一学就会-岳信仪器
。针对这一痛点，这款简单好用的气密性检漏仪应运而生，彻底打破操作壁垒，真正实现新手一学就会，轻松搞定各类产品检漏工作。以往的气密性检漏设备，要么操作面板繁琐，参数设置
多工位气密性检漏仪：破解制造业批量生产质检瓶颈
整条生产线产能释放的关键瓶颈。专为批量检测场景研发的多工位气密性检漏仪，凭借“每分钟可完成3件产品检测”的高效性能，成功打破这一行业痛点。同时，依托独立工位架构设计
快问快答：进口太贵，小厂太险！气密性检漏仪的性价比到底看什么
如何找到高性价比的检漏仪品牌？这是一个非常好的问题，也是目前无数奋斗在新能源、消费电子、医疗器械等一线制造行业的采购和质检工程师们最关心的话题。在工业4.0的浪潮下，产品对「密封性」的要求已经到了
海瑞思氦质谱检漏仪的四大核心优势
在当今制造业中，微小泄漏可能成为重大质量事故的隐形导火索。如新能源电池的密封完整性、汽车零部件的微孔隙——任何一个环节的泄漏隐患都可能导致产品性能下降、客户投诉，甚至引发大规模召回事件。
海瑞思HM-400氦质谱检漏仪在电池包检测中的应用
在新能源汽车和储能行业高速发展的今天，电池包的安全性、可靠性和使用寿命成为行业关注的焦点。然而，传统检测手段在面对复杂工况时，往往难以兼顾高精度、高效率与低成本，导致企业面临诸多挑战：
ModbusRTU转profibusDP网关接皖仪SFJ-16M氦质谱检漏仪与PLC通讯
在当今工业自动化领域，通讯技术是确保设备之间顺畅交互的关键。ModbusRTU转ProfibusDP网关作为连接不同通讯协议的重要工具，扮演着至关重要的角色。特别是当涉及到特定设备如皖仪SFJ-16M 氦质
干货｜如何让气密性检漏仪更高效？排气、充气、平衡、检测时间设置优化技巧
在工业生产线上，时间就是金钱。气密性检漏仪（也叫气密性检测设备、密封性测试仪）虽然精准可靠，但如果测试周期过长，就会成为生产效率的瓶颈。那么，检测过程中的各个阶段究竟需要多长时间？我们又该如何在
气密检漏仪接RS232/485转Profinet网关与西门子1200PLC通讯
Profinet网络之间的无缝连接。特别是在气密检漏仪的应用中，RS232转Profinet网关发挥了至关重要的作用。
RS232转Profinet网关在检漏仪与西门子PLC里的应用
的远程监控与管理。本文将深入探讨兴达易控RS232转Profinet网关（XD-PNR200）的工作原理、功能特点以及其在检漏仪系统中的应用。
评论