一、行业背景
在电子测试领域,测试主要分为两类:
- 自激式电子设备(如电源、振荡器、发射器和信号发生器)测试,需使用数字化仪、示波器或频谱分析仪等数据采集类仪器;
- 放大器、滤波器、接收器和数字接口等设备测试,需先通过外部信号源激励,再用信号采集仪器测试,这类测试称为 信号源响应测试 。
信号源响应测试是半导体器件(芯片、晶体管、集成电路等)性能验证的关键环节,核心目的是验证器件在不同输入信号条件(幅度、频率、波形、相位等)下的输出行为是否符合设计规格,保障器件实际应用中的稳定性与准确性。
二、快速了解源响应测试
(一)测试项目
- 幅度响应 :测试器件对不同幅度输入信号的输出线性度(如增益误差、非线性失真)。例如运算放大器的“输入幅度-输出幅度”曲线线性度,射频功率放大器的输出功率随输入功率的增益变化。
- 频率响应 :评估器件在不同频率输入信号下的增益、相位变化(如带宽、截止频率、相位偏移)。例如滤波器的通带/阻带频率响应,高速ADC对高频输入信号的转换精度。
- 时间响应 :测试器件对瞬态信号的响应速度(如上升时间、下降时间、过冲)。例如数字逻辑门对输入脉冲的输出延迟,比较器的响应时间。
- 失真与噪声 :测量输出信号的非线性失真(如谐波失真、互调失真)及固有噪声(如信噪比SNR)。例如音频芯片的总谐波失真(THD),射频芯片的噪声系数(NF)。
- 阈值与灵敏度 :确定器件对输入信号的最小响应阈值。例如传感器的检测灵敏度,开关管的导通/截止电压。
(二)测试原理与流程
1. 测试系统组成
- 信号源:生成可控参数的输入信号(如模拟信号发生器、射频信号发生器、脉冲发生器等);
- 被测器件(DUT):待测试的半导体芯片或组件;
- 测量仪器:采集输出信号并分析(如示波器、数字化仪、万用表、矢量网络分析仪等)。
2. 基本流程
- 校准:校准信号源和测量仪器,消除系统误差(如信号源幅度精度、示波器探头衰减);
- 连接DUT:按测试规范连接信号源、DUT、测量仪器,注意阻抗匹配(高频场景尤为重要);
- 施加信号:设置信号源参数(如频率f=1MHz,幅度Vpp=2V的正弦波),输入至DUT;
- 测量输出:用仪器记录DUT的输出信号(幅度、频率、波形畸变等);
- 参数扫描:改变信号源参数(扫频、扫幅),重复测量获取响应曲线(如Bode图、幅频特性曲线);
- 合规性判断:对比测量结果与器件规格书(Datasheet),判定是否合格。
(三)典型应用场景
- 模拟芯片测试:运算放大器(增益带宽积GBW、压摆率Slew Rate)、滤波器(截止频率、纹波);
- 射频/微波芯片测试:功率放大器(频率响应、线性度)、混频器(互调失真);
- 数字芯片测试:逻辑门(传输延迟、建立/保持时间)、高速SerDes(高速差分信号响应);
- 传感器与转换器测试:ADC(输入信号频率对转换精度的影响)、光传感器(光强信号响应灵敏度)。
三、德思特半导体源响应测试方案
(一)方案核心设备
半导体源响应测试的核心仪器为 模拟信号发生器 (生成模拟信号输入待测器件)和 数字化仪 (采集输出模拟信号并转化为数字信号)。
德思特合作伙伴Spectrum的hybridNETBOX,将多通道数字化仪和任意波形发生器(AWG)集成于LXI标准通用仪器中,可同步完成激励与响应测量。

hybridNETBOX提供6种配置选择,核心参数如下:
- 采样和输出时钟速率:40、180、125 MS/s;
- 信号生成与采集通道:2+2、4+4、8+8通道;
- 通用参数:16位分辨率,带宽高达60 MHz(与采样率成比例)。
1. AWG关键特性
- 支持共同时钟和内/外部触发器完全同步;
- 输出电平:2/4通道版本±6V(50Ω)/±12V(高阻抗),8通道版本±3V(50Ω)/±6V(高阻抗);
- 4条数字I/O线路:支持可编程标记脉冲、外部时钟和触发输入。
2. 数字化仪关键特性
- 输入范围:±200mV至±10V,支持可调直流偏移;
- 输入阻抗:用户可选50Ω或1MΩ,提供单端和差分输入;
- 外部接口:时钟和触发输入,2条通用数字I/O接口。
3. 系统优势
- 符合LXI标准,通过Gbit以太网端口连接计算机/网络,支持Windows和Linux系统驱动;
- 配套SBench 6软件工具,内置报告生成功能,提供C++、LabVIEW、MATLAB、Python等编程语言示例。
(二)应用案例——测量运算放大器的交流开环增益
测试电路原理
用于测量运算放大器的AC开环增益的测试电路,使用AWG作为输入源,使用数字化仪器采集响应输出信号测量。具体测试电路如下图所示。

上图为测量运算放大器AC开环增益的测试电路,其工作原理基于信号激励与响应测量的协同作用,具体如下:
- 信号输入与衰减:AWG产生的小交流波形(如正弦信号),经R1和R2组成的10,000:1电阻分压衰减80dB,避免放大器输出失真;
- 信号放大与稳定:衰减后的信号输入被测运算放大器(U1),辅助放大器(U2)稳定U1输出端平均直流电平;
- 响应采集与分析:数字化仪采集U1输出信号,对比输入(衰减后)与输出信号,结合频率特性计算AC开环增益(补偿80dB衰减)。
四、方案价值
- 提升测试精度与可靠性 :AWG生成高精度激励信号,数字化仪高保真采集输出信号,结合先进算法,确保测试数据准确可信;
- 提高测试效率 :支持多通道同步测试和自动化流程,快速完成各类半导体器件测试,缩短量产测试周期;
- 降低测试成本 :一体化集成设计减少设备重复采购,配套软件内置报告生成功能,兼顾灵活性与扩展性。
五、LXI数字化仪&AWG一体机NETBOX

数字化仪和AWG二合一NETBOX
Spectrum Instrumentation NETBOX由多通道数字化仪和AWG组合而成,最高采样率达500 MS/s。两种仪器可独立或同步使用,小体积设计集成双功能,单个LXI/Ethernet设备即可在手动、自动或远程控制场景中,同步实现电信号的产生、采集与分析。
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关于德思特
广州德思特科技有限公司(简称“德思特”)正式成立于2023年,是原虹科测试测量事业部孵化的全新独立公司,致力于成为全球领先的AI+测试测量解决方案供应商,推动自动驾驶、低空经济、量子通信、6G关键技术、AI半导体芯片等领域发展。
主要业务范围
企业优势
- 申请知识产权10余项,技术团队背靠世界500强PNT行业领导者Safran(赛峰);
- 斩获2024年广州市创业创新大赛三等奖、广州女性创客二等奖等荣誉;
- 参与多项GNSS标准和EMC标准制定,为多个行业协会会员;
- 服务客户包括华为、大疆、清华大学、合肥国家实验室等知名企业与科研机构。


审核编辑 黄宇
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