【海翔科技】东京精密 TOKYO SEIMITSU Vega 系列二手探针台 Vega Planet｜现场验机测试保障

一、引言

在高端半导体测试设备领域，东京精密 TOKYO SEIMITSU Vega 系列的 Vega Planet 探针台以其全方位的性能表现，成为复杂测试场景的核心设备。海翔科技提供的二手 Vega Planet 探针台，通过完善的现场验机测试保障体系，确保客户能够全面、准确地评估设备性能，满足从成熟制程到先进制程芯片的多样化测试需求，为半导体企业提供可靠的设备支持。

二、Vega Planet 探针台性能特征

Vega Planet 探针台可支持 Φ300mm 及以下规格晶圆的测试，兼容 10nm 及以上先进制程芯片的测试场景。其定位精度在恒温环境下达到 ±0.4µm，采用双轴激光干涉仪实时校准技术，配合纳米级驱动电机，确保探针在高速移动中保持稳定的定位精度，精准对接微小测试点，为高精度测试数据的获取提供坚实基础。

设备搭载复合型减震系统，融合主动降噪与被动缓冲技术，能将外界振动干扰控制在 0.02µm 以内，为高精度电学测试提供稳定的物理环境。射频测试模块支持最高 90GHz 信号传输，插入损耗低于 0.8dB，同时具备多通道并行测试能力，可同步完成多颗芯片的参数测量，大幅提升测试效率。

自动化层面，Vega Planet 配备智能晶圆管理系统，可自动识别晶圆类型并调用对应测试程序，结合机械臂的柔性抓取技术，实现不同规格晶圆的无缝切换，单批次测试时间较传统设备缩短 25%，满足大规模量产测试需求。

三、现场验机操作流程

海翔科技为 Vega Planet 二手探针台制定了规范化的现场验机操作流程，以全面评估设备状态。

首先进行档案溯源核查，技术人员调阅设备的出厂校准报告、季度性能追踪记录、核心部件维护档案等，通过数字化溯源系统确认设备的使用历程与性能变化轨迹，为验机工作提供基准数据。

硬件综合检测阶段涵盖机械系统、电气系统、光学系统与软件系统。机械系统检测包括工作台平面度、移动直线度、定位重复性等参数的测量；电气系统检测涉及电源稳定性、信号传输质量、接口兼容性等；光学系统检测主要验证成像清晰度、焦距调节精度等；软件系统检测则关注操作响应速度、数据记录功能与多任务处理能力。

功能模拟测试采用阶梯式验证法，先通过标准晶圆完成基础测试流程验证，再引入复杂结构晶圆模拟实际生产场景，测试设备在高负载、多批次条件下的运行稳定性，记录测试时间、精度偏差、故障预警等关键数据。

四、现场验机测试保障措施

为确保 Vega Planet 二手探针台现场验机测试的可靠性，海翔科技采取了多方面的保障措施。

人员保障方面，参与验机的技术团队由具备 5 年以上 Vega 系列设备调试经验的资深工程师组成，均通过东京精密官方认证，熟悉设备的性能特征与测试标准，能够精准识别设备潜在问题，确保测试结果的专业性与准确性。

设备保障上，验机所用的检测仪器，如激光干涉仪、纳米级坐标测量仪、矢量网络分析仪等，均经过 CNAS 认证且在计量有效期内，其测量不确定度优于被测试参数的 ⅓，确保检测数据的量值溯源至国际基准。

环境保障方面，现场验机在恒温恒湿的超净间内进行，温度严格控制在 23±0.1℃，湿度控制在 45±1%，洁净度达到 Class 1 标准，同时采取防震、防电磁干扰措施，消除环境变量对测试结果的干扰。

数据保障措施同样重要，验机过程中产生的所有数据均通过加密系统实时记录，包括原始测试数据、环境参数、设备运行日志等，形成不可篡改的电子档案。数据需经过三级审核（技术人员自查、工程师交叉验证、第三方专家盲审），确保其真实性与完整性，为设备评估提供可靠依据。

通过这些全方位的保障措施，Vega Planet 二手探针台的现场验机测试能够客观、全面地反映设备的实际性能，为客户选购设备提供有力支持

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