手持式粒子计数器在半导体洁净室内的监测方案

随着半导体制程技术的飞速发展,芯片线宽已经进入纳米级,相应的产品对半导体产品生产环境的要求也越来越高,因此半导体洁净室内的控制标准也提高了很多。在半导体代工厂中,洁净室系统为整条生产线提供洁净的环境,是硅芯片赖以生产加工最基本的条件。洁净室,是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一特定需求范围内。因此洁净室系统的运行状态对硅芯片品质和良率的影响举足轻重。

近年来我国半导体工业发展迅速，半导体芯片使用了太多以往不曾使用的各种特殊材料气体，而且其使用量有强劲的上升趋势。特殊材料气体所具有的危害性非常多，包括毒性，自燃性，助燃性，自行分解性，窒息性，腐蚀性等，特别是其毒性一般非常强。其次这些特殊性材料气体中有许多对人体有害的物质，其中易燃易爆的特殊材料气体例如硅烷泄漏后易引起火灾爆炸事故的发生，另外，这些气体多在洁净室内具有密封性的环境中使用，一旦发生泄漏时危险性极大，其损失不可估量。

对于洁净室内某区域温湿度异常波动,需要巧妙运用在线检测的数据,去系统分析任何一次超出控制的异常情况,找到引起温湿度异常波动的真实原因,从而找到有效的对策以避免问题的再次发生。其次洁净室耗能为一般空调系统之5~10倍，在国内自产能源匮乏且面临能源消耗日益严重的情况下，如何提升无尘室空调系统的节能技术，以提升生产力与竞争力，是我们必须面对的课题。

生产环境中空气、工艺用纯气和液体的洁净度及其他空气参数（温／湿度，风速，压差）对半导体，制药，电子等行业有着至关重要的作用。为此针对半导体厂房室内环境监测工釆网提供采用手持式粒子计数器 - Model P611对洁净厂房的洁净度进行定期的人工巡检存在一此缺点，为了克服人工检测的缺点，我们可以采用环境实时监测系统对洁净厂房进行监测。

粒子计数器P611用于测量流速在0.1 CFM (2.83 LPM) 粒径为0.3~ 10µm 的粒子。本手持式粒子计数器仅重1.26 lb (0.57 kg), 设计人性化且设置简单。可在其3.5”LCD彩屏к同时显示6个尺寸通道的数据，也可显示温度和相对湿度(可选)。P611 能存储多达 10,000条的采样记录，可在本设备或通过USB数据线在电脑上查看数据记录。 P611符合 ISO 21501-4 ，质保2年。P611品质优良，性能可靠，是专业人员验证ISO洁净室(级别5~9)和调查室内空气质量问题的最佳产品解决方案。常用的环境监测系统采用粒子计数器集中监测系统、多管式顺序采样监测系统和多环境参数混合集中监测系统三种形式。根据不同的洁净厂房要求，在不同的洁净区域应设计相应的环境监测系统，既满足监测要求又降低采样的成本。