长江存储4.6亿订购光刻机到货 实现14nm 3D闪存技术突破

【导读】：前不久，中芯国际花重金订购了ASML的光刻机，将于2019年到货。这边，长江存储4.6亿订购光刻机昨日到货，运抵武汉，我国两家芯片公司先后订购光刻机，彰显了核心技术领域努力追赶的决心。

长江存储的这台光刻机来自荷兰ASML，这个用于世界上最先进工艺的光刻机公司在高端光刻机领域占据了全球90%的市场份额，，长江存储购买的这台光刻机，采用193nm沉浸式设计，可生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆，售价达7200万美元，约合人民币4.6亿元。

目前，该机已经运抵武汉天河机场，相关入境手续办理完毕后，即可运至长江存储的工厂。

后续，长江存储还会引入更多光刻机。

2016年底，世界级的国家存储器基地项目（一期）一号生产和动力厂房在武汉正式开工建设，2017年9月底提前封顶，2018年4月5日首批价值400万美元的精密仪器进场安装。

目前，长江存储拥有完全自主知识产权的32层堆叠3D NAND闪存已经开始试产，不少产业链企业都拿到了样片测试，预计今年第四季度量产。

同时，长江存储还在推进64层堆叠3D闪存，力争2019年底实现规模量产，与世界领先水平差距缩短到2年之内。

无独有偶，上周中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV（极紫外线）光刻机。这台机器预计将于2019年初交货。

从飞利浦独立出来的阿斯麦公司在高端光刻机领域占据了全球90%的市场份额。光刻机（又称曝光机）是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。

中芯国际订购光刻机

如今，中国两家企业先后订购了两台高端光刻机，总价值约12.3亿元人民币。据日经亚洲评论报道，阿斯麦公司有关人士否认有媒体关于“高端光刻机对中国大陆禁运”的传闻，强调对中国大陆客户一视同仁。

此外，阿斯麦公司接受中芯国际订单的时间点是在今年4月中兴通讯遭遇美国制裁之后。

2000年成立的中芯国际（SMIC）总部位于上海。在港股上市的中芯国际据称是中国大陆规模最大、技术最先进的集成电路芯片制造企业之一。

据日经亚洲评论报道，尽管中芯国际在这一市场仍落后于市场领先者两至三代技术，但是购买到目前世界最先进的EUV光刻机，彰显了其努力追赶的决心。

每经小编（微信号：nbdnews）了解到，EUV是目前世界上最昂贵也是最先进的芯片生产工具。小于5纳米的芯片晶圆，目前只能用EUV光刻机生产。三星电子和台积电目前正竞争生产7纳米工艺技术芯片，这两家都订购了阿斯麦公司的EUV光刻机。

中芯国际这次引进的EUV光刻机预计将于2019年初交付。而在2017年3月，中芯国际宣布将进军7纳米工艺技术的研发。

有芯片行业高管表示，“购买这样的机器虽然不能保证100%成功，但这至少显示了中芯国际自主研发的决心和动力。”

光学研究机构人士表示，“这台光刻机一旦安装完成，将会极大缩短工艺时长，并且让厂商有能力尝试生产更复杂的高精度芯片。”

中芯国际2017年净利润为1.264亿美元，几乎全部用于这台光刻机的订购了。2018年一季度，中芯国际净利润为2937万美元。

中芯国际联合首席执行官赵海军在5月10日的财报电话会议上称，该公司将2018年芯片生产的全年资本支出从19亿美元上调至23亿美元。

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