mems加速度传感器都有哪些类型？这三种mems加速度计各有什么利弊？

加速计是一个惯性传感器，可以测量重力引起的线性加速度。它可以广泛应用于振动检测、姿态控制、安全报警、消费类应用、运动识别和状态记录。

有许多类型的加速度传感器，例如压阻式加速度传感器、柔性加速度传感器、水磁悬浮加速度计，石英电容式加速度计、MEMS加速度计等等。

加速度传感器分为开环和闭环两种。一般开环传感器技术指标较低，闭环传感器。技术指标比较高。

因此，仅考虑技术指标，我们计划使用闭环传感器。下面分析和比较液体磁悬浮加速度计、石英电容式加速度计和MEMS加速度计的性能优缺点。

1.液体磁悬浮加速度计

液体磁悬浮加速度计是早期MWD仪器中广泛使用的加速度计。它是基于三维磁悬浮定心控制的液浮摆式加速度计的摆式加速度计。磁悬浮定心进一步减小了作用在浮摆组件上的干扰力矩，使输出轴具有非常稳定的方向，减少了各种随机干扰力矩。其主要优点是抗振动、抗冲击、耐高温性能好；缺点是达到正常工作需要很长时间，温度特性差。它适用于各种高精度惯性导航系统、平台罗盘和卫星、航天器飞行控制系统。

2.石英电容式加速度计

石英电容式加速度计是为导航开发的加速度敏感设备。该仪器利用石英晶体本身的压电特性激励刚性梁作为谐振元件。石英晶体材料具有良好的机械稳定性，并且消除了金属谐振器中常见的蠕变现象。其优点是精度高，稳定性好，耐高温，温度特性好；但航天型抗冲击能力差，因为民用加速度加了限位销后，其抗振动和抗冲击能力大大提高，现在也是随钻仪器摘用的加速度计。

3.MEMS加速度计

MEMS加速度计是近年来发展起来的一种新型加速度计。它使用振动梁作为加速度传感器。振动梁由硅或石英晶体材料制成，并通过静电或压电作用以共振频率振动。双端梁以振动驱动模式振动。当加速度形成的惯性力加到梁上时，输入的加速度会引起振动梁张力的变化，从而使振动梁的谐振频率发生变化，一个振动梁的谐振频率增大，另一个振动梁的谐振频率减小，通过信号处理，其差频对应于输入加速度的大小。由于结构和生产工艺的因素，它最突出的特点是体积小、抗振动、抗冲击、耐高温。缺点是温度特性差。

MEMS加速度计可广泛应用于振动检测、姿态控制、安全报警、消费电子、运动识别和状态记录等领域。MEMS加速度计与MEMS陀螺仪和磁力计来创造MEMS惯性测量单元(惯性测量单元)

审核编辑 黄宇