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玻璃通孔技术的五个独特优势

中科院半导体所 来源:Tom聊芯片智造 2025-05-23 16:32 次阅读
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文章来源:Tom聊芯片智造

原文作者:Tom

本文介绍了玻璃通孔技术的五个独特优势。

TGV(Through Glass Via)工艺之所以选择在玻璃上打孔,主要是因为玻璃在以下五个方面相较于硅具有独特优势。

1.低电损

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优势:

玻璃具有优异的电绝缘性;

高频信号下损耗小,适合射频RF)、高频、高速I/O应用;

结果:

提升信号隔离;

降低系统功耗;

2. 热膨胀系数可调节

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优势:

玻璃可以通过成分调整实现多种CTE

更易匹配硅芯片;

结果:

提升封装可靠性;

在作为载板/中介层时可避免热应力失配引发的翘曲或裂纹。

3. 表面光滑,利于精细线宽

优势:

玻璃具有原生光滑表面,无需复杂抛光;

更适合微细线/窄间距布线;

结果:

支持更小封装尺寸;

金属层更少 → 降低布线层数与制造成本。

4.刚性好、平整度高

优势:

相比有机材料(如FRP),玻璃刚性更大;

不易变形,具有出色的平整度;

结果:

支持高精度图形和细线路布线;

保持TGV加工时的一致性和垂直性。

5.适合直接成型

优势:

可直接以目标厚度做出成品;

无需后续研磨抛光;

结果:

良率更高、成本更低;

在大面板级封装(panel-level packaging)中更具效率和优势。

TGV工艺非常适合下一代高频、高密度、低功耗封装需求,特别在2.5D/3D IC中介层和面板级封装(PLP)中应用前景广阔。

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原文标题:TGV工艺为什么选择了在玻璃上打孔?

文章出处:【微信号:bdtdsj,微信公众号:中科院半导体所】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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