真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人,主要应用于半导体工业中,实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强,其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。
通常机器人的关节可以分为旋转关节和直线关节,但具体到真空环境中,可能有一些特殊的设计。比如,在真空环境下,润滑和材料的选择非常重要,因为传统润滑油可能会挥发,污染真空环境。此外,驱动方式也可能不同,比如使用无尘电机或者磁力驱动来避免产生颗粒。还需要考虑冗余设计,特别是在空间应用中,可靠性至关重要。所以关节可能具备冗余驱动或传感器,以提高系统的可靠性。
Akribis的直驱无刷无框电机,能够满足真空环境下使用,由转子和定子组成高扭矩密度,用于机器人关节位置更加灵活、确切的运动,具有更好的控制精度。采用优化的磁路设计,实现更低的齿槽力,运行更加平稳。提供完整的型号可供选择,可以按照客户需求定制,凭借专业的直驱电机研发技术团队,可以为客户定制化开发解决方案。 真空机器人关节的设计是材料科学、精密机械和真空技术的综合体现,需在精度、可靠性和环境适应性间取得平衡。
审核编辑 黄宇
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