AEC-Q氦质谱检漏试验

产品质量与安全的关键步骤

在现代工业生产和日常生活中，密封性检测是一项至关重要的工艺，它确保了产品的性能、安全和可靠性。

泄漏程度的量化

泄漏程度可以通过单位时间内单位体积容器内压强的变化来量化。例如，如果一个4升容积的自行车轮胎在30天内从3 bar的胎压降到2 bar，这表明泄漏非常严重。这种泄漏程度是可以通过常用的检漏方法检测出来的。一个简单的检测方法是将车胎放入水中，观察气泡冒出的位置，从而找到漏点。

检漏仪的工作原理

氦质谱检漏仪是一种高灵敏度的气密性检测设备，它基于质谱学原理，使用氦气作为示踪气体。其工作原理是利用灯丝发射的电子在电离室内振荡，与电离室内的气体和通过被检测件的漏孔进入电离室的氦气碰撞，使其电离成正离子。这些离子在加速电场的作用下进入磁场，由于洛伦兹力的作用而偏转，形成圆弧形轨道。通过改变加速电压，不同质量的离子可以通过磁场和接收缝到达接收极，从而被检测。

氦质谱检漏仪的质谱学原理

氦质谱检漏仪的检漏方法

氦质谱检漏仪通常有两种检漏方法：常规检漏和逆扩散检漏。逆扩散检漏是将被检件连接在分子泵的出气口一端，漏入的氦气逆着泵的排气方向进入安装在泵进气口端的质谱管内，从而被检测。这种检漏方法基于分子泵对不同质量气体的不同压缩比，即利用不同气体的逆扩散程度不同而设计。

质谱示意图

氦质谱检漏仪的真空系统图

氦质谱检漏仪

检漏过程中，首先向被检件压入氦气，然后将其放入专用检漏罐中，并通过检漏仪进行检测。如果器件有泄漏，氦气会通过漏孔释放并进入检漏罐，最终到达质谱管。