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光谱共焦位移传感器十大品牌排名盘点--各品牌优势产品型号推荐

光学测量传感器 来源:光学测量传感器 作者:光学测量传感器 2025-02-20 08:17 次阅读
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一、无锡泓川科技(国产品牌,性价比高)

无锡泓川科技有限公司专注于光学测量与检测领域,其核心产品LTC系列光谱共焦位移传感器高精度、强适应性为特色。该系列具备亚微米级测量精度(最小静态噪声仅3nm)、±60°超大测量角度及30kHz高速采样能力,可精准测量镜面、透明/多层材料、深孔内壁等复杂表面,并支持薄膜厚度检测。

产品涵盖超精密型、紧凑型等多样化型号,量程从±0.05mm至±25mm,满足工业场景中模具磨损检测、晶圆定位、曲面屏扫描等需求。配套控制器支持多通道同步测量(最高16通道)及多种工业接口(EtherCAT/USB/模拟量等),适配自动化产线集成。

通过定制化光学优化与杂散光抑制技术,LTC系列在手机屏幕检测、医疗玻璃管测厚等场景展现卓越性能,成为精密制造领域的高效解决方案。

1、产品系列概览

类别 典型型号 核心特点 适用场景
超精密测量 LTC100B/LTC400 0.03μm精度,IP67防护 半导体晶圆检测、光学元件测量
工业通用型 LTC2000/LTC6000 1-50mm量程,±0.6μm线性误差 3C产品装配、精密机械制造
大范围测量 LTC50000 100±25mm量程,φ50μm光斑 汽车零部件、金属加工
特殊结构型 LTCR1500/LTCR5000 90°侧向出光,φ3.8mm微型探头 深孔/内壁测量、微型结构检测
高速动态测量 LTC7000系列 20kHz采样率,抗振动设计 动态生产线监测

2、关键性能指标

测量精度:

分辨率:3nm(LTC100B)

线性误差:±0.03%F.S.(行业领先)

环境适应性:

工作温度:0-50℃(<0.03%F.S./℃温漂)

防护等级:IP40/IP67可选

光斑特性:

最小φ1.7μm(微结构检测)

QUAD四光斑技术(消除表面粗糙影响)

系统响应:

最高30kHz采样率(LT-CCH控制器)

支持16通道同步测量

3、智能控制系统

LT-C系列控制器

多协议接口:EtherCAT/Profinet(工业4.0兼容)

同步触发:支持ABZ编码器输入(≤4MHz)

数据输出:

模拟量:±10V/4-20mA

数字量:Modbus TCP/RS485

软件生态:

TSConfocalStudio专业测控软件

C++/C# SDK开发包



二、CHUANTEC(国产品牌)

Chuantec深耕光学测量技术,以非接触式高精度检测为核心,产品覆盖半导体、3C电子、汽车制造、医疗器械等领域,提供从传感器到系统集成的全链条解决方案。

HCY系列产品亮点

灵活配置

光斑可选:A型(小光斑)适用于微米级细节检测(如芯片划痕、精密部件轮廓),B型(大光斑)适配粗糙表面或快速扫描场景。

通道扩展:支持一拖一(HCY501)与一拖二(HCY502)模式,实现单探头独立测量或多探头同步检测,提升产线效率。

高精度与稳定性

基于4096次平均测试优化参考距离,降低随机噪声,确保数据重复性精度达亚微米级。

适应镜面、透明/多层材料、深孔内壁等复杂表面检测。

工业级设计

紧凑型结构(如HCY01045、HCY04025等型号)适配狭小空间安装,抗振动与电磁干扰,满足车间严苛环境。

应用场景

3C电子:手机屏幕玻璃厚度、曲面屏弧度检测。

半导体:晶圆翘曲度、封装胶层均匀性测量。

汽车制造:发动机缸体内部尺寸、精密齿轮跳动量检测。

典型型号示例

型号 特点 适用场景
HCY501A 小光斑单探头,精度优先 微观缺陷检测、薄膜测厚
HCY502B 大光斑双探头,高效同步 产线多工位并行测量
HCY03560 中量程紧凑设计,抗干扰性强 机械部件磨损监控、内壁检测

技术优势

多兼容接口:支持工业现场总线(如EtherCAT)、模拟量输出,无缝对接PLC及自动化系统。

定制化服务:提供光斑尺寸、量程、探头角度的非标定制,适配特殊检测需求。


三、拓普仪器(国产品牌)

旗下推出的高精度测量设备,采用彩色激光光谱共焦技术,具备以下核心优势:

卓越性能

分辨率达5nm,线性度±0.02%F.S.,光斑最小仅7μm,适用于微米级精密测量。

支持透明/非透明材料的位移、厚度及多层结构测量(如玻璃、晶圆),可实时输出TTV、粗糙度等数据。

灵活适配
提供多型号测头(如grook-Fc量程±1800μm,grook-Fd量程±5500μm),适应不同安装距离(13.2mm至36.5mm)和倾角(最高±45°),满足孔内、侧壁等复杂场景。

智能集成

内置以太网通讯(4.5kHz采样)、5路I/O接口及编码器同步功能,可直接连接PLC实现自动化控制。

独创grook-- Pro软件,简化编程流程,支持可视化观测光斑位置,提升开发效率。

行业突破

动态稳定性较常规型号提升4倍,光强波动降低90%,无外贸管制限制。

可测厚度范围覆盖20μm至16.5mm,支持中空层、夹胶玻璃等复杂结构分析。

应用领域:半导体晶圆检测、镜片厚度测量、3D表面轮廓扫描、工业在线质检等,助力高精度制造与科研创新。


四、基恩士KEYENCE(进口品牌)

基恩士(KEYENCE)是全球领先的工业自动化设备制造商之一,其光谱共焦传感器(Chromatism Confocal Sensor)是一种基于光谱共焦原理的高精度非接触式测量设备,广泛应用于工业检测、精密测量和表面轮廓分析等领域。以下是关于该技术的详细介绍:

1.光谱共焦技术原理

光谱共焦技术利用光的波长特性进行测量。其核心原理是:

波长编码聚焦:传感器发射包含多种波长的白光,通过特殊透镜(色差透镜)使不同波长的光聚焦在不同位置上。

反射光分析:当光线照射到被测物体表面时,只有特定波长的光会反射回传感器。通过分析反射光的波长,即可确定物体表面到传感器的距离。

高精度定位:由于每个波长对应唯一焦点位置,测量精度可达微米(μm)甚至纳米(nm)级。

2.基恩士光谱共焦传感器的特点

非接触测量:无需接触被测物体,避免因接触造成的损伤或误差。

高精度:分辨率可达0.01 μm,适用于超精密检测(如半导体、光学元件)。

多材质兼容性

可测量透明材料(玻璃、树脂)、高反光表面(金属、镜面)、多层材料等传统传感器难以处理的物体。

抗干扰能力强:不受环境光、振动或表面颜色影响。

高速测量:部分型号支持每秒数千次的测量速度,适用于动态检测场景。

紧凑设计:传感器体积小巧,易于集成到自动化生产线或复杂设备中。

3.典型应用场景

透明材料检测:测量玻璃厚度、树脂涂层、薄膜等。

镜面表面测量:金属抛光面、镜面缺陷检测。

3D轮廓分析:复杂曲面、微小结构(如芯片焊点、微机械零件)的形貌测量。

在线质量控制:实时监测生产过程中的尺寸、平整度或间隙。

半导体行业:晶圆厚度、光刻胶层测量等。

4.基恩士产品的优势

技术成熟:基恩士在光谱共焦领域拥有多项专利,传感器稳定性和重复性优异。

用户友好:配备直观的软件界面,支持快速校准和数据可视化。

定制化解决方案:可根据客户需求提供不同量程、精度和安装方式的型号(如CL系列)。

全球服务网络:基恩士提供快速技术支持与售后服务,确保设备高效运行。

5.技术参数示例(以CL-3000系列为例)

测量范围:0.1 mm – 30 mm(依型号不同)

分辨率:0.01 μm

测量频率:最高70 kHz

适用材质:金属、玻璃、陶瓷、塑料等。


六、德国米铱

德国米铱公司(Micro-Epsilon)是一家专注于高精度传感器技术的全球领先企业,成立于1968年,总部位于德国奥尔兴(Ortenburg)。其光谱共焦传感器(Chromatographic Confocal Sensor)以非接触式、高精度和适应复杂表面的测量能力著称,以下是confocalDT系列详细介绍:

1.技术原理

光谱共焦传感器基于共焦成像光谱分析技术:

共焦原理:通过特殊透镜将多波长光聚焦到被测表面,仅焦点处的反射光被检测器接收,其他位置的光被过滤。

光谱分析:不同波长的光对应不同焦点位置,通过分析反射光的波长,精确计算物体表面位置或厚度。

2.核心优势

超高精度:分辨率可达纳米级(如0.01µm),适合微米级精密测量。

非接触测量:避免传统接触式测头对脆弱材料的损伤。

复杂表面适应:可测透明、镜面、高反光、多层材料(如玻璃、薄膜、金属)。

高速测量:部分型号采样率可达数十kHz,适用于动态检测。

抗干扰性强:对环境光、振动不敏感,适合工业现场。

3.典型应用领域

工业制造:半导体晶圆厚度测量、3C产品屏幕检测、精密零部件尺寸控制。

医疗与科研:生物样本厚度分析、光学元件表面形貌测量。

自动化机器人引导定位、在线质量监控。

特殊场景:高温、振动环境下的测量(如金属加工、汽车制造)。

4.米铱光谱共焦产品线

米铱提供多种型号,例如:

confocalDT系列:紧凑型设计,适合集成到自动化系统。

高动态型:针对快速运动物体(如旋转部件)优化。

定制化方案:支持特殊量程、多探头同步等需求。

5.对比其他技术

特性 光谱共焦 激光三角测量 接触式测头
精度 纳米级 微米级 微米级
被测材料 透明/镜面/多层 漫反射表面 硬质材料
测量速度 高速(kHz级) 中高速 低速
接触性 非接触 非接触 接触



七、欧姆龙(进口品牌)欧姆龙品牌我就没必要做过多介绍了吧。。。。

核心技术:白光共焦原理

原理:通过OCFL(欧姆龙色差焦点透镜)将白光按波长聚焦于不同位置,仅接收工件表面反射的特定波长,通过分光器转换为距离信息。

优势:

同轴测量:投光与受光同轴,避免传统激光三角测距法的位置偏移问题。

高适应性:支持粗糙表面、镜面、斜面、曲面、透明物体及微小结构(如薄膜厚度低至15μm)的稳定测量。

抗干扰性:抑制多重反射光影响,提升测量稳定性。

产品系列与核心型号

系列 ZW-8000(超高精度) ZW-7000(超高速) ZW-5000(标准型)
分辨率 2nm(静态) 4nm 10nm
测量周期 60μs 20μs(业内领先) 500μs
角度特性 ±25°(镜面/斜面) ±25° ±25°
适用场景 透明物体、微小结构 高速移动粗糙表面 常规在线检测

传感头多样化设计

类型:方型直线型、笔型直线型、笔型直角型,适应不同安装空间。

关键参数

光点直径:最小φ4μm(ZW-S8010),精准测量微米级特征。

重量:轻至27g(笔型),适合狭小空间集成。

耐弯曲电缆:弯曲半径R20mm,支持移动部件应用(如机械臂)。

核心应用场景

消费电子

手机玻璃盖板平整度检测、芯片高度测量、按键段差分析。

汽车制造

电池平整度、电机铁芯厚度、离合器摩擦材料形状检测。

半导体/FPD

晶圆高度、焊锡形状、透明薄膜厚度测量。

工业自动化

涂胶高度监控、机器人轨迹同步、狭小空间内径测量。

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八、普雷茨特Precitec(进口品牌)普雷茨特(Precitec)成立于1971年,总部位于德国,是全球领先的高精度光学测量与激光加工技术解决方案供应商。品牌以创新为核心,专注于为工业制造提供非接触式光学传感器智能化激光加工系统,覆盖消费电子、半导体、汽车、医疗、玻璃制造等关键领域。(这个品牌就一个字 贵!,但是疑难杂症只有他能解决)

1、普雷茨特的光谱共焦传感器基于光学色散原理,通过白光光源分光形成不同波长的焦点沿光轴分布。传感器接收物体反射的光信号后,利用光谱仪分析波长与位置的对应关系,实现纳米级分辨率测量。相比传统三角反射法,其优势包括:

无死角:同轴光路设计,避免遮挡阴影。

小光斑:全量程保持极小光斑(最小1.7μm),适合微结构检测。

高适应性:可测透明、反射、粗糙、多层材料,如玻璃、金属、半导体等。

2、核心产品系列

1. CHRocodile C/C HS系列

特点:紧凑一体式设计(尺寸99×65×47mm),集成探头与控制器,支持多点测厚(最多4个峰值)。

参数:

测量速度:最高10kHz。

分辨率:8nm(200μm探头)。

探头可选:200μm至10mm量程,适应不同精度需求。

应用:消费电子(手机间隙检测)、半导体晶圆厚度测量。

2. CHRocodile CLS系列线传感器

特点:高速3D轮廓扫描,最高6,000线/秒,每线192点。

参数

量程:0.2mm至6mm(探头可选)。

分辨率:Z轴20nm,横向1μm(CLS 0.2探头)。

应用:手机盖板玻璃平整度、镜头曲面检测。

3. CHRocodile MPS多点传感器

MPS 2L:24点同步测量(12点/线),适合玻璃容器侧壁厚度在线检测。

MPS 96:96通道独立测量,速度2,000点/秒,适用于复杂几何形貌分析。

4.干涉法传感器(CHRocodile 2 IT系列)

技术:结合红外干涉,实现纳米级膜层厚度测量。

应用:晶圆、多层塑料膜、液体涂层检测。

优势:支持水下或油污环境测量,抗振动干扰。

3、关键优势

超高精度:Z轴分辨率达纳米级(如CLS 0.2探头20nm),线性精度±0.08μm。

高速测量:最高66kHz采样率(CHRocodile 2 SE),满足产线实时监控需求。

灵活适配:模块化探头设计,支持更换不同量程和NA值的探头(如10mm探头角度特性±14°)。

多材料兼容:透明/不透明、高反/漫反射表面均可稳定测量。

工业级可靠性:IP50防护,工作温度0-50℃,无移动部件,免维护。

4、典型应用场景

消费电子:手机玻璃盖板平整度、摄像头模组段差检测。

半导体:晶圆厚度、CMP工艺实时监控。

汽车:焊接凸点高度、仪表板安全气囊涂层检测。

玻璃制造:瓶身厚度均匀性、微小缺陷检测。

医疗:植入物表面粗糙度、透明药瓶壁厚测量。

5、选型参考

需求场景 推荐型号 核心参数
微小结构高精度检测 CHRocodile C(200μm探头) 分辨率8nm,光斑3.4μm
高速3D轮廓扫描 CLS 2.0系列 36,000线/秒,1200点/线
多层膜厚度测量 CHRocodile 2 IT DW 500 1nm分辨率,支持参杂晶圆
工业在线多点检测 MPS 96 96通道同步,2,000点/秒

wKgZO2e2c9KAL0B3AANTWG6KLQw307.png

九、STIL司帝(进口品牌,被Marposs收购了)Marposs成立于1952年,总部位于意大利博洛尼亚,是全球工业测量与检测技术的领导者。自成立以来,Marposs始终专注于为制造业提供创新的质量控制解决方案,覆盖从机床测头到自动化检测系统的全链条技术。

核心特点:

高精度传感器:采用纳米级灵敏度传感器,可检测微米级误差,满足航空航天、医疗器械等高精度制造需求。

环境适应性:具备抗高温、抗油污和抗电磁干扰能力,适用于复杂工业环境。

无线传输技术:支持无线数据传输,无缝对接数控系统,减少布线干扰。

多系统兼容性:适配主流数控系统(如西门子、发那科、海德汉等),快速集成至生产线。

效率提升:通过自动化检测减少人工干预,降低废品率,提升生产效率20%以上。

典型应用场景:

航空航天:涡轮叶片、发动机部件的精密加工。

汽车制造变速箱、曲轴等关键零部件的高效检测。

医疗器械:人工关节、手术器械的微米级精度控制。

十、LMI Technologies(线状光谱共焦传感器,进口品牌)

LMI Technologies(全称:Laser Measurement International)是一家专注于工业3D扫描与检测技术的全球领先企业,总部位于加拿大温哥华。公司致力于为智能制造、自动化质量控制等领域提供高性能的3D视觉解决方案,其产品广泛应用于汽车制造、消费电子、食品包装、半导体、新能源电池等行业。

核心优势与技术特点:

智能传感器技术:LMI主打FactorySmart®技术平台,将传感器硬件与智能软件结合,实现实时3D数据采集、分析和决策。

非接触式高精度检测:产品支持微米级精度测量,适用于复杂表面、透明/反光材质等传统传感器难以处理的场景。

工业4.0集成:支持与机器人、PLC系统无缝对接,助力自动化产线升级。

多行业覆盖:在汽车零部件检测、电池极片测量、食品包装密封性验证等领域拥有成熟案例。

Gocator 5500系列智能线光谱共焦传感器

(基于链接内容及技术背景补充)

技术原理

线光谱共焦传感器(Line Confocal Sensor)采用线扫描共焦成像技术,结合光谱分析实现高精度3D测量。其核心特点是通过特殊光学系统将白光分解为不同波长的光谱,仅聚焦于特定波长的反射光,从而精确计算物体表面的高度信息。

Gocator 5500系列亮点

超高性能

分辨率:亚微米级(<1μm)的纵向(Z轴)精度,横向(XY)分辨率达微米级。

高速扫描:支持每秒数千次测量,适用于高速产线检测。

大视野覆盖:单次扫描宽度可达数十毫米,减少运动机构需求。

复杂材质适应性

可测量高反光(如金属)、透明(如玻璃)、多层结构(如薄膜)等传统激光或结构光难以处理的材质。

智能集成设计

内置算法:集成3D点云处理、几何参数计算、缺陷检测等功能,无需额外工控机。

易用性:提供可视化编程界面(如Gocator Web界面),支持快速部署。

工业级可靠性

IP67防护等级,适应恶劣工业环境。

支持多传感器同步,满足大尺寸物体检测需求。

典型应用场景

半导体:晶圆表面缺陷检测、焊线高度测量。

消费电子:屏幕玻璃厚度、摄像头模组平整度检测。

新能源电池:电极涂层均匀性、极片对齐度验证。

精密加工:微型零件尺寸、螺纹/齿轮轮廓测量。

审核编辑 黄宇

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