应用案例丨光谱共焦位移传感器，让细小孔洞的深度检测更精准

传统的激光测距传感器在面对复杂表面（如深孔、凹凸面）时，容易出现测量偏差。例如在深孔检测中，由于工件孔径较小且空间有限，激光束难以直接进入孔内进行有效测量，并且深孔内壁的反射光线难以被有效接收，导致测量误差增大。

光子精密CD-5000系列光谱共焦位移传感器采用同轴测量原理，克服了传统激光三角测量传感器的角度限制，显著减少了测量盲区。同时拥有多种优势，能够更精确地测量深孔、盲孔等复杂结构。

应用案例：孔深检测

01 检测难点

▪ 孔径小，直径仅3mm

▪ 孔内光线反射率低，容易丢失数据

▪ 检测精度要求较高

工件实拍图

02 检测方案

用CD-H070对工件进行孔深检测，取两个点动态测量高度并记录重复性。

03 方案优势

1.小尺寸光斑，轻松检测狭小空间

CD-5000系列采用先进光学系统设计，可以实现更小的光斑尺寸，最小可达Φ6μm。此外，其光束路径紧凑，能够深入狭窄的孔洞内部进行精确测量。适用于钻孔、内壁面、窄间隙等复杂结构或是微米级的表面起伏变化，如金属片凹槽、精密部件轮廓等测量场景。

2. 超高光强 无惧低反射深孔

CH-5000系列拥有强能白色光源，能够在不同深度和角度下提供足够的光强度，即使在光线反射率较低的孔内环境中，也能保证足够的光信号进入传感器，从而避免数据丢失，精确测量孔深。

且内置感光算法，一步增强了对微弱信号的捕捉能力，精确计算出物体表面的位置变化，确保了测量的稳定性和准确性。

3. 高精度测量 数据精准可靠

CH-5000系列分辨率（轴向）达0.25μm，能够提供微米级测量精度。并提供优异的线性度和高精度测量能力，为小孔深度测量提供了可靠的数据支持。

04 测试结果

工件静态放置，CD-H070动态扫描测量样品10次，高度差（深度）最大极差为0.018mm。

检测数据

审核编辑 黄宇