光谱共焦位移传感器最新应用案例大汇总-电子发烧友网

在工业检测应用中，尺寸测量、三维形貌测量、位置距离判断均属于基础应用。工业数据采集工作，需要结合精度要求、工作环境等多重因素，选择不同类型的传感器。

光谱共焦位移传感器，基于不同颜色（波长）焦点的差异来测量距离，因此具备了测量精度高（可达纳米级）、测量稳定、适应性强等优势，可实现高精度视觉定位，高度测量、平面度测量等应用需求，分辨率最高可达2nm。

本期内容，小优博士就为大家分享优可测近期落地的多行业光谱共焦位移传感器测量方案，覆盖光伏、芯片、3C电子等工业场景。

光伏玻璃是太阳能光伏组件的“铠甲”和“窗口”。它既要保护电池片免受外界环境影响（风沙、水汽、腐蚀），又要让太阳光穿透玻璃，产生更多电能。

过薄的玻璃会导致强度不足，厚度过大则会导致成本增加以及光透过性的衰弱。在生产中，光伏玻璃的厚度控制环节一般部署在退火窑后，切割之前。

近期，浙江某知名光伏玻璃客户委托优可测团队，部署在线检测玻璃厚度的在线检测方案。样品3米宽度，厚度范围为1.8-2.2mm，检测精度要达到±0.04mm。该项目难点不在于精度，而是温度。由于传感器需要部署在退火窑后，现场环境温度较高，且产线上滚轴速度达到560m/h，存在抖动，轴跳情况。

经过现场测试，优可测工程师推荐基于AP-5035L光谱共焦传感器搭建检测方案。它的分辨率可达40nm，最小可测厚度达267μm，还具有高速度采样，不挑材质稳定测量，灵活易用的优势。

方案落地后，顺利通过客户验收。在现场验收环节中，客户采用螺旋测微仪做数据比对，相关性做到0.04mm以内。

芯片制造过程中，“光刻”是其中最关键的步骤之一。汞灯是深紫外光刻技术发展早期至成熟期最核心的光源。它发出的紫外光，通过掩模版照射到涂有感光材料的晶圆上，就能将精细的电路图案“刻”出来。

汞灯一般包含石英放电管、电极、填充物（高纯汞+启动气体）、辅助电极等模块。其中，石英放电管在提供承受100-200个大气压的超高压环境，同时还要保证紫外光高效透过（特别是深紫外波段，微米级的厚度变化也会导致该波段的透过率下降）。生产中，它的厚度通常是需要重点监控的数据。

近期，江浙沪地区某客户委托优可测团队，部署石英灯管厚度检测方案，重复性精度±0.01mm，并且需要优异的热稳定性和抗震性，确保长期测量精度。

经过现场测试，优可测工程师推荐基于AP-6055光谱共焦传感器搭建检测方案。在20mm的测量范围内，AP-6055的线性精度可达±2um，还具有高速度采样，不挑材质稳定测量，灵活易用的优势。

从接到需求到交付，仅用20天。优可测工程师依托多年行业经验，提供完善的自动化与软件定制开发服务，大幅缩短客户投产时间。

电子玻璃广泛应用于各种电子设备中，如智能手机、平板电脑、电视和计算机显示器等。生产中，电子玻璃的厚度是重点管控的指标，如果厚度不均匀或偏离标准，可能会导致玻璃强度不足、光学变形、易于破裂等问题。

近期，背景某某知名中外合资客户委托优可测团队，部署电子玻璃厚度检测方案，公差要求±0.05mm，重复性精度≤0.005mm。不同型号的电子玻璃，往往由于功能需求不同，其成份与折射率也有差异。采用光学设备进行测量时。不同样品之间的折射率差距，也成为了需要考虑的重点。

经过现场测试，优可测工程师推荐基于AP-5055光谱共焦传感器搭建检测方案，它的分辨率高达20nm，还具有高速度采样，不挑材质稳定测量，灵活易用的优势。为了避免了单头依赖折射率参数的局限，工程师搭建了双头对射结构，这种方案对透明材料可直接识别，无需额外校准折射系数，实现更稳定的厚度测量。

方案落地后，在现场验收环节中，整套方案的重复性精度达到了0.005mm，顺利通过客户验收。