该工艺平台专注于压电MEMS领域新器件的研发和量产服务,平台设备选型满足6英寸全自动化晶圆量产需求。积极布局先进微电子器件、声电器件、MEMS器件、RF前端器件等领域,以满足电子信息、物联网、小基站、北斗等技术发展对于微纳加工的需求,现已建成集先进工艺开发、器件工艺制备及定制化产品开发量产为一体的综合性平台,实现了新材料从微米到纳米级别的结构与器件的可控开发、加工与测试,可为客户提供个性化的工艺技术服务及器件解决方案。
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光刻代工服务-步进式光刻机
光刻代工服务-接触式光刻机
匀胶显影代工服务
晶圆CMP机械化学平坦化代工服务
氮化铝AlN磁控溅射代工服务
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