需求带动射频电源市场增长，国产厂商逐步发力

作为技术壁垒最高的半导体设备零部件之一，射频电源的国产化率一直较低。

射频电源，即用来产生射频电功率的电源，主要通过产生高频电磁场，将在低压或常压下的气体进行电离，形成等离子体。不同气体产生的等离子体具有不同的化学性能，在腔体内部可以实现不同的工艺需求。

随着国内晶圆厂新增扩产和存量替换需求增长，半导体薄膜沉积、刻蚀机等核心设备的市场空间打开，射频电源也迎来新的增长空间，并为国产射频电源厂商带来发展机遇。

两大需求带动国内射频电源市场增长

射频电源被广泛应用于半导体工艺设备、LED 与太阳能光伏设备等领域。

在半导体设备领域，射频电源是薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗等前道工艺机台的关键零部件之一，直接影响腔体中的等离子体浓度、均匀度和稳定度。

射频电源的主要增长点，一是来源于晶圆厂扩产带来薄膜沉积、刻蚀机等半导体设备新增需求，进而带动射频电源新增需求，二是来源于存量市场替换需求，射频电源使用寿命约为5-6年，短于半导体腔体的使用寿命，需要定期进行维保或更换，部分晶圆厂有直接备存射频电源的需求。

根据共研产业咨询的统计及预测，2022年中国半导体射频电源市场规模为0.97亿美元，约占全球的13.31%，预计2023年达到1.10亿美元，约占全球的14.23%。

审核编辑 黄宇