S31系列小体积压电偏转镜应用于高速、高精度光路偏转调节！

在光学应用中，如光通信、光学稳像、激光加工、激光合束等应用中，光路调节是必不可少的过程，也是一个逐步优化的过程，需要不断的调整光路，优化光的传播路径，由于光是以电磁波的形式进行传播，光的波长一般在微米、纳米之间，所以在光路调节时通常需要非常高的精度和快速的响应速度，从而获得更为精准的结果。压电偏转镜可为光路调节提供高精度、快速的反应速度和更高的频率，且采用闭环控制系统具有更高的定位精度，实现精准定位和控制。

S31系列压电偏转镜

S31系列压电偏转镜是一款大行程二维压电偏转镜，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，使θx、θy轴具有同样的高性能，保证其高运动精度和稳定性，偏转角度可达8.5mrad，通过内置高精度传感器可进行闭环控制，闭环分辨率可达0.5μrad，可带载φ12.7mm镜片进行二维偏摆运动。其紧凑的结构设计，体积更为小巧，可符合更多小型化、高速化、精准化的应用场景。实物如下图所示。

产品特点

θx、θy二维偏转

偏转范围可达8.5mrad

分辨率可达0.05μrad

空载谐振频率可达12kHz

产品应用

1. 卫星激光通信：在卫星光通信中，由于大气中的环境因素（如折射、散射、大气湍流等）和激光束自身光束窄、发散角度小等问题，产生光路不稳定、抖动等现象，使得激光光束在瞄准过程中容易聚焦困难偏离目标，导致通信差的问题。通过压电偏转镜对光束超高精度的方向调整，以及毫秒量级的快速响应可以很好的校正误差，进行光信号间的瞄准、捕获和跟踪。

2. 光学成像：在光学成像过程中，由于平台振动和姿态随机扰动等各种影响因素都会使相机光轴偏移，使目标与聚焦面相对运动产生像移，会导致成像模糊的问题。利用压电偏转镜对实时采集图像与参考图像间相对位移量进行补偿、实时修正，可在确定的曝光时间内得到高分辨率的图像。

3. 激光加工：压电偏转镜非常适用于集成到加工孔径及孔距在微米级小孔的高精度超快激光加工应用中。由于压电偏转镜高精度、快速响应速度等特点，可以解决微小孔加工精度低、孔径不圆滑等问题。

4. 激光合束：激光合束是将多个激光束合并成一个激光束的过程，通过压电偏转镜对光束进行反射、偏转、汇聚等光路转换方式进行多束光合成。

技术参数

配套控制器

E80.D3S/K-O压电控制器

E80.D3S/K-O压电控制器主要为驱动压电偏转镜而研发设计，具有3个输出通道，其中第3路为恒压输出，适于差分驱动。采用20~30VDC供电，模拟闭环，数字控制，带宽10kHz。它具有两种形式，可选机箱封装式或卡板式。

E80.B5S板卡式控制器

它是一款五通道输出的压电控制器，专为同时驱动两台压电偏转镜而研发设计。它采用DC28V供电，输出电压为-20V~120V（可选 -20V~100V/150V），尺寸仅有222×180×40mm^3，它以板卡式小体积的特点解决了应用空间受限的问题，并且E80.B5S使用特殊的元器件，并进行多项处理，使其适用于宇航级应用。

审核编辑 黄宇