华瑞微电子科技荣获离子注入机专利

滁州华瑞微电子科技成功获批一项名为“一种用于集成电路生产线的离子注入机”的专利，专利号CN117594405B，授权公布日期为2024年5月17日，申请时间是2023年11月20日。

该专利揭示了一款专用于集成电路生产线的离子注入机，属于半导体加工设备技术领域。该设备主要由支撑框架、离子注入机构、照射箱组件和扰流机构组成，同时配备吸尘除尘组件。通过优化照射箱组件并内置吸尘除尘组件，采用带有不干胶的弹性膜与扰流机构相结合，有效地减少了照射箱内的颗粒物，防止其影响离子的照射路径。