北方华创微电子：晶圆清洗设备及晶圆定位装置专利

近期，北京北方华创微电子装备有限公司荣获“晶圆清洗设备及其晶圆定位装置、晶圆定位方法”专利，专利号cn113539918b，授权日期为2024年5月17日，申请日期为2021年6月30日。

该发明涉及一种晶圆清洗设备及晶圆定位装置、定位方法。其中，晶圆定位装置主要用于带有定位部的晶圆定位，其结构包括密封腔体、密封盖、承载组件、定位组件和导向组件。密封盖可开合地安装在密封腔体上，承载组件可旋转地置于密封腔体内，用于承载晶圆并使其绕轴旋转；定位组件则安装在密封腔体内，与定位部配合实现晶圆定位；导向组件则位于承载组件上方的密封腔体内，与承载晶圆的边缘部分间隙配合，引导晶圆运动。此发明能提升晶圆定位装置的稳定性，防止晶圆在定位过程及定位后受污染。