离子注入机的简易原理图

原文作者：Tom

本文介绍了离子注入机的相关原理。

离子注入机的原理是什么？

上图是离子注入机的简易原理图，各部件作用依次为：

Ion Source（离子源）：通过将气体电离，产生所需的离子类型。 Extraction Voltage（抽取电压）：将产生的离子从源中抽取出来。 Ion Electrode（离子电极）：形成和控制离子束。 Analyzing Magnet（分析磁铁）：用于分离出不同荷质比的离子，确保只有所需荷质比的离子进入加速器。 Mass Separation Slit（质量分离缝隙）：通过分析磁铁后所允许的离子的特定荷质比范围。 Acceleration Column（加速柱）：离子继续加速到所需的最终能量。 Deflector（偏转器）：用于调整离子束的路径，以确保离子精确地打到靶材料上。 Magnetic Quadrupole Lenses（磁性四极透镜）：用于聚焦离子束，提高注入的精确性。 Electronic Scanning（电子扫描）：控制离子束在靶材料表面的扫描模式，确保均匀注入。 Sample (Base Material)（样品（基材））：即靶材料，也就是离子要注入的半导体材料。

审核编辑：黄飞