长鑫存储科技有限公司“沉积设备、静电卡盘、加热系统及其控温技术”

据天眼查披露，长鑫存储技术有限公司于2024年4月5日发布了其关于“沉积设备、静电卡盘、加热机构及其控温方法”的专利，专利号为CN117821945A。

此项发明涉及一种新型沉积设备、静电卡盘和加热机构，并提供了相应的控温方法。加热机构主要由导热板、加热组件及控制器组成。加热组件包含至少两个加热元件，其中一个为主加热元件，其他则作为备用。控制器负责控制各加热组件的运行，并在主加热元件发生故障时启动备用加热元件。当某加热组件的主加热元件失效时，其备用加热元件会立即投入使用，由于备用加热元件与主加热元件在导热板上的位置基本重合，因此能够有效防止加热过程中出现中断，确保导热板受热均匀，从而提高加热机构的稳定性和控温效果，进而保障产品的加工质量。