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有了2D NAND,为什么要升级到3D呢?

中科院半导体所 来源:Tom聊芯片智造 2024-03-17 15:31 次阅读

2D NAND和3D NAND都是非易失性存储技术(NVM Non-VolatileMemory),属于Memory(存储器)的一种。那么有了2D NAND,为什么要升级到3D呢?

定义

非易失性存储技术是一种能够在断电后保持存储数据的存储器技术,与易失性存储器不同,非易失性存储器不需要持续的电源供应来保持存储的数据,包括ROM(Read-Only Memory)与Flash Memory 两种。

Flash Memory,即闪存,闪存是一种基于电荷存储的非易失性存储器技术,广泛应用于固态硬盘(SSD)、USB闪存驱动器、存储卡等设备。Flash Memory包括NOR与NAND。而NAND又分2D NAND 与 3D NAND。

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2D NAND,也称为平面NAND,已经达到了其容量发展的极限。2D NAND 容量增长受到有限宽度和长度尺寸内可以容纳多少存储单元的限制。由于存储单元只能在一个平面上布置,随着存储容量的增加,每个存储单元的面积变小,导致存储单元之间的相互影响增加,容易产生电荷干扰和数据损失。2D NAND的写入速度相对较慢。在编程和擦除操作中,需要消耗较长的时间来将电荷注入或移除存储单元中,这会导致写入操作的延迟。

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而3D NAND正是为了克服 2D NAND 的容量限制而开发的。3D NAND 架构可在不牺牲数据完整性的情况下扩展到更高的密度。与存储单元水平堆叠的2D NAND 不同,3D NAND 使用多层垂直堆叠,以实现更高的密度、更低的功耗、更好的耐用性、更快的读写速度和更低的成本。由于将如此多的垂直单元封装成较小的宽度和长度尺寸,因此 3D NAND 在相同的长度和宽度尺寸下具有比 2D NAND 更大的容量。

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存储单元结构对比

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2.1 2D NAND结构

控制栅(Control Gate):位于顶部,控制下面的浮动栅。通过控制栅的电压,可以控制电子是否可以进入或从浮动栅中离开。

浮动栅(Floating Gate):位于控制栅下方,被绝缘层包裹,用于存储电子。电子流入或从浮动栅中离开来表示数据的1和0。

Single-Si Channel:这是连接源极(S)和漏极(D)的硅沟道。电子通过这个通道从源极流向漏极,根据浮动栅的电荷状态来控制这个流动,从而读取存储的信息

2.2 3D NAND结构

控制栅(Control Gate):3D NAND的控制栅是环绕着存储柱的立体结构。

氮化硅(Nitride):3D NAND使用电荷陷阱存储电子。电子被存储在氮化硅中,氮化硅是包裹在多晶硅沟道周围,代替了2D NAND中的浮动栅。这种电荷陷阱层使NAND具有非易失性的数据存储能力。

Poly-Si Channel:与2D NAND的单晶硅通道不同,3D NAND中的通道是垂直构建的,并由多晶硅材料构成,形成一个立体的存储柱。

我们再进一步解剖3D-NAND的结构,如图:

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Silicon wafer base layer:这是3D NAND结构的基础,即硅片。

Silicon bit cell gates:是控制电子流动的门结构,它们决定了是否允许电子进入或离开Silicon channel,从而实现数据的存储和读取。

Silicon dioxide gate dielectric:位于控制栅和Silicon channel之间的绝缘层,其功能是保持控制栅和Silicon channel之间的电气隔离。

Silicon channel:其内部流动的电子被控制栅的电压控制,用以存储信息。

Silicon dioxide tunnel dielectric:它使电子在写入操作中通过隧道效应流入到Silicon nitride charge trap,以及在擦除操作中从Silicon nitride charge trap中移除。




审核编辑:刘清

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原文标题:3D NAND与2D NAND结构详解

文章出处:【微信号:bdtdsj,微信公众号:中科院半导体所】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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