半导体新材料和设备管道密封性泄露检测

上海伯东提供半导体新材料和设备管道检漏解决方案， 助力企业生产高质量的六氯乙硅烷 Si₂Cl₆。 六氯乙硅烷广泛应用于有机硅化合物的合成， 电子半导体材料制造。

半导体新材料和设备检漏： 提升产品良率

半导体生产设备及其相关设施一般在真空环境下工作， 任何一处出现泄漏都可能导致包括产量下降， 产品不达标或严重安全风险。 因此， 在洁净室之内或在任何维护干预之后， 密封性检漏是必须的步骤。 上海伯东提供全面的氦质谱检漏解决方案， 确保生产设施从工艺室到排气系统的真空完整性。

检漏要求： 高精度， 清洁无油， 快速检测， 尽可能缩短停机时间

在真空环境下工作的半导体制造设备氦质谱检漏方法：为了确保最终产品的质量， 真空设施需要避免任何污染。 在安装任何工具或者维护腔室之后， 推荐使用检漏仪真空模式进行设备的密封性测试。 氦质谱检漏仪在真空条件下直接连接到设备， 通过将示踪气体氦气喷洒到可能泄漏源的周围 （比如焊缝， 接头， 阀门等处）， 即可定位， 定量检测到存在的漏点。 真空模式下漏率 1X10-10 mbar l/s.

在压力下工作的气体管路和机柜氦质谱检漏方法：

由于工艺气体对自然环境的潜在危害， 此类管线在投入运行前需要通过测试。 推荐使用氦质谱检漏仪吸枪模式， 要测试的管线在压力下充满氦气。 检漏仪吸枪探头可以探测可能逸出的氦气。 吸枪模式下， 漏率 1X10-8 mbar l/s

针对不同的工况， 上海伯东提供合适的半导体设备检漏方案

当复杂系统或大容量系统 （例如处理室或前级管线） 上发生泄漏时， 需要大抽速检漏仪以加快泄漏检测过程， 从而减少设备停机时间。 推荐使用氦质谱检漏仪 ASM 390 或 ASM 392

对于过压系统或难以进入测试区域的情况， 推荐便携式检漏仪 ASM 310 提供较大灵活性的同时又不影响性能和灵敏度。

上海伯东提供全系列氦质谱检漏仪， 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用。 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏， 利用氦气作为示踪气体可定位， 定量漏点。 氦质谱检漏仪满足单机检漏， 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 》》