温度监测电源模块烧毁原因分析

半导体行业的生产设备有刻蚀、薄膜沉积、清洗、湿制、封装和测试、抛光、硅晶圆制造等，这些精密生产设备中有电气元器件、执行部件、监测控制仪器等，对供电的稳定性和质量要求很高。

某半导体单晶硅材料生产车间有很多的单晶炉，晶体在生长和拉制时对温度有严格要求，因此安装了智能高温在线测温仪，对生产期间的温度进行严格的监测和控制。

但是电源模块经常损坏，大多发生在工作流程快结束的几个小时工作区间内，而且损坏是随机的。

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现场设备及供电情况：

高温智能在线测温仪

（1000-3200°C）

由于生产设备对供电质量要求很高，车间由两路UPS供电，一路大约带100台原晶生产设备。

一路的负载是单纯的单晶炉，没有损坏现象。

另外一路，除了单晶炉，还带有机械泵等其他动力设备。

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监测方案：

Fluke 1777

电能质量分析仪

既然是损坏发生在工作流程快结束的几个小时，因此，请用户挑选了一台即将结束工作流程的设备，将一台电能质量分析仪Fluke 1777连接在三相供电电源处，监测有没有发生过压和过流。

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先对仪器做基本的设置：

测试了20多个小时，捕捉到了一次浪涌事件

出现了一次浪涌电流

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浪涌电流详情如下：

正常工作时的电流不超过2A

因此触发阈值设置为4A

但是捕捉到的浪涌电流是正常工作电流的5倍多（10.43A）

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浪涌发生时电压电流的趋势图

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电流波形图

电流波形出现大的偏差时

电压波形没有畸变（右下角）

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电压电流谐波

尽管含量较高，但是幅值很小，没问题！

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后续建议

敏感精密测试仪器使用单独供电（稳定，波动小）

减小其他机械泵等负载启停对生产设备的影响

在测温仪24V供电前面增加一个隔离模块

审核编辑：刘清