平面抛光机的工艺要求

光学加工是一个非常复杂的过程。难以通过单一加工方法加工满足各种加工质量指标要求的光学元件。平面抛光机的基础是加工材料的微去除。实现这种微去除的方法包括研磨加工、微粉颗粒抛光和纳米材料抛光。根据不同的加工目的选择不同的加工方法。

平面抛光机需要粗磨、细磨和抛光，以不断提高加工零件的表面精度并降低表面粗糙度。超精密磨削的范围很广，主要包括机械磨削、弹性发射加工、浮动磨削等加工方法。光学平面磨削技术通常是指利用硬度高于待加工材料的微米级磨粒，在硬磨盘的作用下产生微切削和滚压作用，去除待加工表面的微量材料，减少加工变质层，降低表面粗糙度，达到工件形状和尺寸精度的目标值。

以氧化铝陶瓷光盘的双面加工为例，介绍和分析了光学平面的一般加工工艺，并实现了加工工艺。

根据光学平面的加工质量要求，首先分析加工要求，进行工艺设计，然后选择合适的工艺和方法，确定各工序达到的精度，进行加工实践，达到预定的加工目标。

针对氧化铝陶瓷盘的平面度要求，采用金刚石微粉大块磨料磨削工艺进行磨削加工，并根据当前加工的表面形状进行调整，达到平面度要求。针对氧化铝陶瓷圆盘双面平行度的要求，选择了一台圆台平面磨床磨削工件平面。针对氧化铝陶瓷盘的表面粗糙度要求，采用金刚石颗粒固定磨料对氧化铝陶瓷盘的平面进行抛光，抛光作为加工工序。抛光工艺选择了固定磨料的抛光形式，解决了游离磨料在研磨抛光过程中暴露出来的缺点。固定磨料是松散磨料的固结，它可以在研磨平面抛光机上高速研磨和抛光工件。

在陶瓷盘的平面加工工艺中，除了圆台表面磨床、平面磨削和平面抛光的步骤外，还在被加工表面附着一层保护膜，从而在被加工零件的后续加工或保存过程中保护被加工零件的加工表面的完整性，避免因擦伤和磨粒污染而对被加工零件的表面造成擦伤和损伤。

处理和测试总是不可分割的。为了确定工件是否满足加工质量精度的要求，需要相应的测量仪器进行测量，测量结果作为工件加工过程中的数据反馈和加工表面的确认。针对氧化铝陶瓷板的加工质量要求，用数字千分尺测量陶瓷板加工零件的平行度，用表面粗糙度测量仪测量氧化铝陶瓷板平面的表面粗糙度，用激光平面干涉仪测量氧化铝陶瓷板平面的表面形状。