华林科纳携湿法垂直领域平台与您相见SEMICON China 2023

国内半导体产业的行业盛会将在上海如期举行，华林科纳将为您带来超全面且领先的湿法解决方案，并携泛半导体湿法装备服务平台亮相SEMICON China，与上下游企业进行一对一交流，为企业发展瓶颈找到“痛点”根源，并提出合理可行的解决方案。

展会信息

展会时间：6月29日-7月1日

展会地点：上海新国际博览中心

华林科纳展位：E4馆 E4155

湿法解决方案

湿法清洗:

Wafer Clean / Glass Clean / Film Frame Clean / Wafer Edge Clean / Mask Clean / Post-CMP Clean...

湿法刻蚀：

Si Etch / SiGe Etch / GaAs Etch / Glass Etch / Al Etch / Cu Foil Etch / Inp Etch / TGV Etch...

高纯流体解决方案

1.PFA接头

入珠接头：1/8"-1"

扩口接头：1/4"-1"

焊接接头：1/4"-1-1/2"

接头类型：直通、弯头、三通以及对应的外牙接头和变径型号等组合

2.PFA管

CSE-PFA-SA系列管件在高渗透、渗透性的化学溶液(盐酸、氟、硝酸类化学溶液、氟类表面活性剂等) 和高温过程中的渗透减少。

3.隔膜阀

·连接尺寸：1/2”、3/4”、1”

·高流量紧凑型设计

·优良的耐腐蚀性能

·工作周期经上万次测试

4.PTFE风囊泵

·型号：CSE30、CSE60、CSE120

·专为半导体行业、电子行业而定制

·无金属设计，安全无泄漏

·寿命长，可满足200万以上的形成周期使用

·过程安全的PTFE和PFA通道

·加入了减少脉动过高的装置

·洁净室装配、测试、封装

5.PFA加热丝

·导体为进口品牌单股高强度镍铬合金丝

·护套采用PFA材质

·加热丝寿命相比其他产品长约30%

6.在线加热器

·根据客户需求定制，应对各种复杂场景

·能耐所有强酸、强碱、强氧化剂

·低表面功率设计，确保产品使用寿命

·带有华林科纳自研的控制器，更加安全有效的工作

7.磁制液位计

·无机械可动部分，故无摩擦，无磨损

·变换器封闭在管内，和测量介质非接触

·测量精度高，分辨率优于0.01% F.S.

·易于安装，维护简单

·便于系统自动化工作

8.PFA材质PTFE膜折叠滤芯

·超高流速

·更长的使用寿命（延长15%-20%）

·优异的温度耐受性能

·优秀的化学兼容性

·全氟结构，最大限度地减少金属析出物

·便捷的预湿选项，减少预操作时间

·全程在洁净室环境中制造

·出厂前通过100%完整性测试

9.温度传感器（PT100）

·精准测量，精度达0.1℃或更高

·快速响应，具有超高敏感度

·可有效避免干扰，使测温更加精准

·测温范围广（-50℃-200℃）

·进口芯片，使用寿命更长

·欧式冷压接线端子，稳定性是普通端子的2-3倍

·PFA材质包裹，进口原料，耐高温，防腐蚀（含盐酸）

·极低的金属离子析出

10.PFA保护层电线

·导体采用优良镀锡铜、镀镍铜

·外层绝缘采用PFA材质

·额定电压、额定温度可按需求定制

·外观粗细均匀、柔软

11.加工件

·多年加工经验和研发能力

·具有成本效益的加工计划

·原材料品质保证

·确保产品批量生产的一致性

·质量管控（来料检验、过程检验、成品检验）

泛半导体湿法装备服务平台

1.共享行业知识

技术资料库、行业人才库、典型案例库等

其中包括湿法领域的招/中标信息、行业观察、工艺资料、装备资料、电子期刊等。未来还将继续完善，实现知识资产化、知识场景化和知识智慧化，从而更有效得知识赋能。

2.服务新品开发

湿法实验室、仿真流体分布和热场分布、监理团队

湿法工艺实验室面积 1000 平米，购置实验室平台所必需的实验和检测设备及耗材，并配相应的工艺技术人员。

利用仿真技术可对未来可能发生的情况进行系统的、科学的、合理的推算，有效避免造成人力、物力的浪费。

监理团队成员拥有多年半导体行业项目实施、监督、控制、检查经验，可对项目建设全过程或分阶段进行专业化管理与服务，实现高质量监理，降本增效。

3.重构行业生态

华林科纳成立流体国产化部门，进一步强化氟塑料流体领域的创新能力和产品研发能力，加快实现产业链协同设计和供应链联合创新的能力。

4.交流行业知识

定期举办、形式多样（线上、线下）、内容广泛

形式：线上交流、讲座会议、实操交流、产品展厅学习交流、“一对一”交流等

内容：半导体湿法工艺、行业现状、湿法领域的技术挑战、企业发展的困难与机遇、上下游合作需求等

截至目前，平台已成功举办了多期交流会。

第六期交流会

2023年6月29日-7月1日，SEMICON China将在上海新国际博览中心举办，是中国半导体行业的盛事之一，华林科纳借此机会，举办第六期交流会。

为了强化交流会的针对性、互动性、专业性，本期交流会采取一对一交流的形式。

针对企业提出的问题，行业专家和资深从业者均结合企业的实际情况进行深度剖析，为企业发展瓶颈找到“痛点”根源，并提出合理可行的解决方案。

审核编辑 黄宇