白光干涉仪核心硬件-压电陶瓷的大作用

优可测Atometrics白光干涉仪AM系列搭载着超高精度扫描单元——压电陶瓷纳米级步进！逐层扫描还原真实三维形貌，让微小瑕疵、细微划伤无所遁形。

今天小优博士带您了解压电陶瓷在白光干涉仪内的重要作用。

通过前几期文章，相信大家已初步了解白光干涉仪实现纳米级测量精度的原理。前两期传送门

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白光干涉仪如何选择镜头丨科普篇

如何验证白光干涉仪精度丨科普篇

压电陶瓷 PZT

压电陶瓷PZT通过给予电压信号产生相同间距的微量位移，负载镜头进行逐层扫描。是白光干涉仪实现精细逐层扫描核心硬件。

是测量精度和三维图像真实还原度的决定性因素。

区别于步进电机，压电陶瓷有着如下几个明显优势

① 步进低于几十纳米甚至几纳米

② 步进线性均一

③ 步进可控性强

压电陶瓷精细扫描案例

图1 金刚石工具表面 ( ER-230拍摄 )

金刚石表面细节丰富细腻

图像真实还原性极高

图2 5nm台阶高度测量 ( NA-500拍摄 )

低于10nm的超微台阶轻松应对

图3超光滑镜片表面粗糙度（ NA-500拍摄)

三大特点

优可测Atometrics 白光干涉仪AM系列搭载的压电陶瓷

“高精度”

“大量程”

“高速度”

白光干涉仪具体还由哪些重要的硬件组成呢？

关注小优博士，下期继续给大家科普吧！

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