白光干涉仪如何选择镜头丨科普篇
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
干涉仪
+关注
关注
0文章
152浏览量
10796 -
白光干涉仪
+关注
关注
0文章
240浏览量
3499
发布评论请先 登录
相关推荐
热点推荐
MEMS结构台阶高度偏差的白光干涉仪干法刻蚀制程排查研究
台阶高度偏差、形貌畸变等工艺问题[1]。传统卡尺、探针测量精度不足，且易损伤微细结构，无法满足纳米级制程检测需求。 大视野3D白光干涉仪具备非接触、高精度三维测量优势，可无损采集微结构全域尺寸与形貌数据，精准捕捉纳米级偏差，
[VirtualLab] 基础Mirau干涉仪的仿真
摘要
如何在 VirtualLab Fusion 中设置 Mirau 干涉仪？ 本用例通过非顺序通道配置和基本功能仿真演示了建模过程，并评估了来自不同测试表面位置的典型离焦条纹。
任务描述
发表于 05-26 08:14
[VirtualLab] 用于光学检测的斐索干涉仪
摘要
斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备，通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下，我们建立了一个Fizeau干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面
发表于 04-08 08:38
[VirtualLab] 使用棱镜分束器的Mach-Zehnder干涉仪互补干涉图样的观测
**摘要
**
分束器是将光束一分为二的重要光学元件，是干涉仪等许多光学实验和测量系统的重要组成部分。作为一个典型的例子，在VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光
发表于 04-03 08:41
PLC平面光波导的图形凹槽深度测量-3D白光干涉仪应用
，过深会破坏波导芯层完整性，过浅则无法实现光信号的有效约束与隔离，直接影响器件性能。传统凹槽深度测量方法存在测量范围有限、易损伤器件表面等缺陷，难以满足PLC高精度检测需求。3D白光干涉仪凭借非接触测量特性、纳米级分辨率及全域
以设计铸品质！优可测白光干涉仪AM-8000荣膺2025德国红点奖
优可测白光干涉仪AM-8000打破了传统精密仪器“轻设计” 的固有认知，凭借技术沉淀与创新设计，斩获2025德国红点奖！
白光干涉仪在晶圆深腐蚀沟槽的 3D 轮廓测量
摘要：本文研究白光干涉仪在晶圆深腐蚀沟槽 3D 轮廓测量中的应用，分析其工作原理及适配深腐蚀沟槽特征的技术优势，通过实际案例验证测量精度，为晶圆深腐蚀工艺的质量控制与器件性能优化提供技术支持
白光干涉仪在肖特基二极管晶圆的深沟槽 3D 轮廓测量
摘要：本文研究白光干涉仪在肖特基二极管晶圆深沟槽 3D 轮廓测量中的应用，分析其工作原理及适配深沟槽结构的技术优势，通过实际案例验证其测量精度，为肖特基二极管晶圆深沟槽制造的质量控制与性能优化提供
电压放大器：相位调制零差干涉仪性能评价实验的关键驱动力
实验名称： 相位调制零差干涉仪性能评价及实验 实验目的： 测试相位调制零差干涉仪在测量镜静止时，由环境参数变化引起测量干涉仪与参考干涉仪之间干涉
白光干涉仪与激光干涉仪的区别及应用解析
在精密测量领域，干涉仪作为基于光的干涉原理实现高精度检测的仪器，被广泛应用于工业制造、科研实验等场景。其中，白光干涉仪与激光干涉仪是两类具有
白光干涉仪与原子力显微镜测试粗糙度的区别解析
表面粗糙度作为衡量材料表面微观形貌的关键指标，其精准测量在精密制造、材料科学等领域具有重要意义。白光干涉仪与原子力显微镜（AFM）是两类常用的粗糙度测试工具，二者基于不同的测量原理，在测试范围、精度及适用性上存在显著差异。明确这些差异对于
一文读懂：白光干涉仪vs共聚焦显微镜的优劣势差异
在半导体、锂电、光伏、航空航天等高端制造领域，高精度光学测量技术是把控产品质量、优化生产工艺的核心支撑，直接关系到产业升级与技术创新进程。白光干涉仪与共聚焦显微镜是高端制造常用核心测量设备，白光
减少光刻胶剥离工艺对器件性能影响的方法及白光干涉仪在光刻图形的测量
干涉仪在光刻图形测量中的应用。 减少光刻胶剥离工艺对器件性能影响的方法 优化光刻胶材料选择 选择与半导体衬底兼容性良好的光刻胶材料，可增强光刻胶与衬底的粘附力，减少剥离时对衬底的损伤风险。例如，针对特定的硅基衬
评论