表面粗糙度仪有哪些？

表面粗糙度仪有很多种，具体选择要根据工件的尺寸大小、材质、粗糙度值来选择。

一般来说粗糙度仪分为接触式和非接触式两种，接触式又有台式和便携式两种，接触式轮廓仪在机械制造行业应用很常见；非接触式主要是白光干涉仪，白光干涉仪精度*高，可以达到0.1纳米，主要用于超精密表面粗糙度测量，在半导体行业、3C行业、光学以及高等院校应用较多。

• 台式粗糙度仪

SJ570台式粗糙度仪是一款可大量程全自动的粗糙度测量仪器；采用进口高精度电感测量系统、高精度研磨导轨、高性能非接触直线电机、高性能计算机控制系统技术，实现对各种工件表面粗糙度进行测量和分析。通过高精度研磨导轨、高性能直线电机保证测量的高稳定性及直线度，采用进口高精度电感测量系统建立工件表面的二维坐标，描绘出真实的原始轮廓，再按照标准对工件表面的粗糙度进行各种参数分析。

主要技术指标：

测量范围：X轴200mm，Z1轴800µm

直线度误差: 0.15µm/20mm，0.5µm/200mm

示值误差：±5%

分辨率：Z1轴0.001µm

测量速度：0.5 mm/s 、0.1 mm/s、0.05mm/S可调

• 便携式粗糙度仪

SJ325便携式粗糙度仪广泛应用于机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金等行业。

适用于轴类和壳体类零件

适用于大型机械和大型工件

适用于小型研磨件

适用于产线或直接在机器上测量

适用于各种工件表面的快速检测

• 白光干涉仪

SuperView W1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。