6.1.1 选择性掺杂技术∈《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》
6.1.2 n型区的离子注入
6.1 离子注入
第６章碳化硅器件工艺
《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》
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