康宁Tropel.晶片表面形态测量系统-(BOW/WARP)-MIC

来源：华友化工国际贸易（上海）

Tropel FlatMaster 测量设备半导体晶圆制造商提供表面形态解决方案。该测量系统专为大批量晶圆片生产而设计，在快速测量、高重复性、精确、非接触的质量保证方面具有卓越的性能。本文介绍了美国康宁在中国区的主要产品信息。

1产品名称

康宁Corning Tropel® FlatMaster® FM200 Fully-Automated Wafer System（美国康宁 晶片表面形态测量系统）

行业简称：平面度测量仪

2产品特性

Tropel®FlatMaster® 测量设备40年来持续为半导体晶圆制造商提供表面形态解决方案。该测量系统专为大批量晶圆片生产而设计，在快速测量、高重复性、精确、非接触的质量保证方面具有卓越的性能。专业服务于硅晶圆、化合物半导体晶圆及玻璃基板等领域。

Tropel®FlatMaster®自动化晶圆分析系统采用斜入射式激光干涉法，一次性测量所有平面度及厚度参数。可兼容2英寸到8英寸方片和圆片。

3产品主要功能和特点

➣通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据，可达到高精度、高重复性、迅速测量并记录完整数据；

➣实现单个或多个平面的光学非接触一次性测量；

➣适用多种类型材料：碳化硅、砷化镓、氮化镓、蓝宝石、石英、锗、硅、LT/ LN、AlN、玻璃和其他晶圆材料，适合各种不同的材料；

➣拥有专业强大的工程师团队，售后服务优良。

帆宣系统科技股份有限公司

帆宣系统科技股份有限公司成立于1988年，一向专注于半导体、平面显示器设备及耗材代理 ，近年来更进一步跨入LED光电制程设备制造与技术开发，并布局太阳能、雷射应用及锂电池等产业，持续创新朝多角化方向发展。

华友化工国际贸易(上海)有限公司(简称：MIC-TECH) 隶属于台湾帆宣集团，是Corning Tropel Corporation（简称：美国康宁）在中国区的销售代表，拥有销售实力经验，具有强大的技术支持和售后服务团队（天津，武汉及上海）。

帆宣集团-华友化工 ，目前负责美国康宁全中国地区的销售，有着一流的专业技术服务。

审核编辑 黄宇