如何评估自动化设备在洁净室的适用性

随着智能汽车和新能源等新兴产业的不断发展，汽车电动化+智能化进程也不断加速，相应的半导体用量和市场规模都迅猛上升。随着产能的增加以及对出货的速度要求，自动化设备变成了一种趋势。机械手臂、自动搬运车、线性滑轨、模块自动夹爪等自动化设备不但广泛应用于各种产业，而且为了避免微尘粒子影响到产品，这些自动化设备多半都放置在无尘室内，但是由于其经常与产品进行近距离接触，因此其产生的微尘粒子还是会对产品的良率产生非常直接的影响。

随着半导体制程工艺的不断精进，在纳米级制程水平的当下，只要一颗微尘粒子掉落在制程或线路中，就有可能导致整批产品异常或是报废。因此为了提高产品的良率，不同的制程需要放置在不同等级的无尘室内进行，不同的产业相对也需要设置不同等级的无尘室。

那么该如何评估您的自动化设备在洁净室中的适用性呢？

依据ISO 14644-14 国际标准

ISO 14644的本部分规定了一种方法，用于评估洁净室和相关受控环境中使用的设备（例如机械、测量设备、过程设备、组件和工具）是否适合ISO 14644-1中规定的空气中颗粒物清洁度。粒径范围从0.1 µm到等于或大于5 µm。

将洁净室通过颗粒浓度分类的空气洁净度与设备在洁净室及相关受控环境中使用的适用性联系起来。通过在高颗粒浓度（HPC）位置或附近包含测量位置，可以反映出该应用的预期用途。

哪些设备特別要关注发尘量?

无人搬运车（AGV）

机械手臂（Robot ARM）

滑轨马达模组（Linear Motor）

制程设备（Equipment）

分拣机（Sorting Machine）

包装机（Packing Machine）

其他应运裝置（Others）

为什么选择SGS

SGS半导体超痕量分析实验室专为自动化设备在洁净室的适用性评估

SGS提供全天候维持在ISO Class 3等级的洁净室

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审核编辑 ：李倩