【干货分享】MOSFET测试方案

你知道什么是MOSFET吗？MOSFET的原意是：MOS（Metal Oxide Semiconductor金属氧化物半导体），FET（Field Effect Transistor场效应晶体管），即以金属层（M）的栅极隔着氧化层（O）利用电场的效应来控制半导体（S）的场效应晶体管。

MOSFET(金属—氧化物半导体场效应晶体管)是常见的半导体器件，可以广泛应用在模拟电路和数字电路当中。一般由Source(源极)， Drain(漏极)，Gate(栅极)，Bulk(体电极)组成。MOSFET可以由硅制作，也可以由石墨烯，碳纳米管等材料制作，是材料及器件研究的热点。

MOSFET有以下测试难点

1.由于MOSFET是多端口器件，所以需要多个测量模块协同测试。

2.MOSFET的漏电越小越好，所以需要高精度的设备进行测试。

3.MOSFET动态电流范围大，测试时需要量程范围广，且量程可以自动切换的模块进行测试。

4.随着MOSFET特征尺寸越来越小，自加热效应成为影响MOSFET可靠性的重要因素。

脉冲测试可以减少自加热效应。所以MOSFET需要进行脉冲 IV测试，用以评估器件的自加热特性。

5.MOSFET的电容曲线是其特性表征的重要内容，且与其在高频应用有密切关系。

所以MOSFET的电容测试非常重要。由于MOSFET的电容是非线性，且不同频率下曲线不同，所以需要能进行多频率，多电压下的CVU进行测试。

针对这些问题，安泰仪器服务中心提供了以下的测试方案：

测试设备安泰推荐仪器:4200A-SCS

并加配:中功率SMU/高功率SMU/电容测试单元CVU/超快脉冲测试单元PMU/切换开关等

测试载台:探针台/测试夹具

测试设备:2600-PCT，可选配:200V/10A低压基本配置、200V/50A高流配置、3000V/10A高压配置、3000V/50A高压高流配置。

测试载台:高功率探针台/测试夹具

安泰仪器服务中心提供的这台参数分析仪具有以下优势：

1、集成化的测试系统，直流测试/CV测试/脉冲IV测试集于一体，9个卡槽灵活配置测试模块；

2、最小电流测试精度10fA，最大电压210V;四线法配置+40V差分脉冲，最小脉宽10ns，200M采样率，任意波形编辑功能；

3、自带Clarius操作软件，图形化设计，简单易懂；丰富的测试库直接用，减少测试配置时间；

4、多种切换开关，支持SMU/PMU/CVU的自动切换，消除换线烦恼；

5、提供低漏电矩阵开关，为自动化，高密度，大批量测试提供支持；

6、开放设备底层指令，附带编译软件，支持自编程。