半导体制造，你定期“体检”了吗？

随着科技的快速发展、生活需求的不断提高，人们现在对半导体芯片的需求急剧增加。这对半导体晶圆制造厂提出了越来越多的要求，定期“体检”将避免系统“隐疾”带来的风险和损失。

第一步，“体检”思想要树牢

随着Fab厂的增加，运营中发生各种泄漏的风险也在增大，比如氢氟酸泄漏、二氧化碳泄漏和硅烷管道泄漏等。泄漏不仅会造成工艺污染、产品报废，甚至引发安全事故，危害员工的生命安全，严重影响企业的生产运营和经济效益。因此，流体系统的稳定运行，对半导体晶圆制造的工艺质量和生产安全至关重要。生产安全问题是可以通过专业的“体检”来避免，如按规范操作流体系统，定期防范检查等。

第二步，“体检”结果要重视

无论“大病”还是“小病”，一切问题要从小抓起，检查结果要谨慎处理。

专业技术培训对Fab项目建设的工程人员及Fab厂日常维护人员进行必要的技术培训，确保持证上岗。半导体流体系统管路连接的形式有多种多样，超高纯工艺气体主要以自动轨道焊接和VCR®接头连接为主；大宗气体、冷却液和化学液传输中还会涉及卡套接头、螺纹接头等其他连接形式。操作人员能否快速识别接头类型并正确安装与检查，直接影响工程建设质量和生产运营。

产线定期巡检产线维护人员须按相应规范，定期对晶圆制造的流体系统做日常巡检，重点检查管路排布及连接点安装是否正确。如有问题，可及早解决，排除流体系统中的潜在危险。

项目改造前现场评估产线升级改造前，应对原流体系统管路排布及连接形式进行必要的现场评估，避免原设计中存在的缺陷继续存留在升级后的产线系统中，作出相应的改善方案。

第三步，专家处方立见效

某Fab厂的流体系统管路接头脱落，造成工艺机台宕机，晶圆直接报废。世伟洛克现场服务工程师抵达后，迅速对现场流体系统管路排布和接头连接进行了排查，找出了根本问题，并提供了完善的解决方案，保证其冷却液及特气系统稳定运行，为晶圆制造保驾护航。

世伟洛克可为工艺设备商的现场服务工程师提供流体系统接头产品的安装培训，使其可以在现场快速识别各类接头产品，并按相应规范进行快速、正确、安全的安装。专业的培训可保证机台在日常维护的拆卸安装过程中，减少机台维护时间，提高生产良率，降低因操作失误而带来的泄漏风险。

在项目建设中，我们可以为工程公司的施工人员提供自动轨道焊接及各类接头安装的培训，并为考核通过的学员发放证书，使其可以持证上岗，在保证施工质量的同时，加快项目建设速度。

半导体行业“处方单”:世伟洛克培训和服务

针对半导体行业，我们提供专业的接头安装和自动轨道焊接培训，以及流体系统评估与咨询和软管咨询服务。

接头安装培训- 针对不同的接头连接形式设有专门的课程，使学员可以在现场快速辨识接头类型，并按相应的规范正确安装，保证流体系统的质量和安全。

世伟洛克M200自动轨道焊接培训- 半导体流体系统的连接非常依赖自动轨道焊接，世伟洛克的M200可以为客户提供精准、一致、高质量的焊接性能。本课程将帮助学员快速掌握M200焊机的使用方法，根据不同的实际工况修改程序，减少误操作，提高效率。我们将向考核合格的学员颁发认证证书。

流体系统评估与咨询服务-世伟洛克流体系统评估与咨询服务将世伟洛克现场工程师的技术专长、应用经验和行业知识带到您的工厂中，从而帮助您从流体系统中获得更多收益。本地认证的专家，可以帮助您提高运营绩效、减少成本和工时，并帮助您减轻安全、质量和环境风险。

软管咨询服务-通过采用世伟洛克软管咨询服务，可以消除与软管有关的导致安全隐患、意外停机、产品产量偏低或成本高昂的零件更换等各种问题。我们经验丰富的软管顾问将与您一起前往现场，通过实地勘察现场流体系统的运营状况，帮您找出潜在的问题，并给出解决方案助您提高产线生产效率。

世伟洛克培训与现场服务助您轻松应对半导体行业生产制造的更多挑战！

审核编辑 黄昊宇