通过小心增加[H2O]来提高蚀刻速率和清洗性能。IK 73中基础配方技术的有效性可以通过小心处理三种主要成分的比例来突出。在本例中,配方调整产生了一种清洁溶液,在20°C的温度下,经过几分钟的时间,与几种不同的金属和阻挡层特征相比,该溶液对金属叠层提供了优异的清洁和选择性(图5)。
结论
传统上,氢氟酸在半清洗中的侵蚀性是通过降低其在水中的浓度来控制的,稀HF (dHF和dHF+)、BOE和各种基于HF的专有清洗产品的广泛适用性证明了这一点。
这种新颖的半水配制HF方法看起来可扩展和调整到几乎所有的半导体叠层和互连技术。TechniClean IK73基于清洁能力(尤其是对Ta、Hf、Zr基化学惰性残留物的清洁能力)提供了明显的优势,对敏感基材如Cu和Al具有高选择性。此外,该解决方案在非晶和沉积态高K氧化物和金属之间提供了非常高的选择性,提高了整体残留物清洗性能、特征清洁度和完整性。
审核编辑:符乾江
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。
举报投诉
-
半导体
+关注
关注
327文章
24190浏览量
201079 -
蚀刻
+关注
关注
9文章
401浏览量
15035
发布评论请先 登录
相关推荐
电池化学成分如何影响电池充电 IC 的选择
等设备可用于救灾协调等工作,而日常生活中使用的 智能手机 和笔记本 电脑 等电池供电设备则帮助人们高效工作和连接社会。 本文将讨论四种电池化学成分(锂离子、磷酸铁锂、锂 聚合 物和镍氢)在 30V 以下电池应用中的优势与挑战,另外还
PCB加工之蚀刻质量及先期问题分析
蚀刻设备的结构及不同成分的蚀刻液都会对蚀刻因子或侧蚀度产生影响,或者用乐观的话来说,可以对其进行控制。采用某些添加剂可以降低侧蚀度。这些添加剂的化学
发表于 11-14 15:23
•222次阅读
电池管理系统:电池化学成分如何影响电池充电 IC 的选择
救灾协调等工作,而日常生活中使用的智能手机和笔记本电脑等电池供电设备则帮助人们高效工作和连接社会。 本文将讨论四种电池化学成分(锂离子、磷酸铁锂、锂聚合物和镍氢)在 30V 以下电池应用中的优势与挑战,另外还将介绍适
金属材料检测:从元素到化学成分的全面洞察
从成分到化学分析,金属材料检测是一个逐步深入过程,借助SED+EDS,成分分析、金相观察等精确检测,才能真正了解金属材料的内在特性,保证其质量和性能,优尔鸿信金属检测,致力于工业互联产品领域金属材料
PCBA残留物的影响及清洗,助焊剂残留物怎么样清除
发现PCBA 上的残留物对PCBA 的可靠性水平影响极大,而在残留物中,无机残留物会减小绝缘电阻,增加焊点或导线间的漏电流,在潮湿空气条件下,还会使金属表面腐蚀;有机残留物(如松香、油
焊后锡膏残留物带来的危害有哪些?
也带来腐蚀和漏电等问题。一般的电子产品可以使用免洗锡膏极少有残留物出现。焊后锡膏残留物带来的危害:1、颗粒性污染物易造成电短路;2、极性玷污物会造成介质击穿、漏电和元
在生产过程中焊接组件时有哪些注意事项?
一般而言,在焊接组件时,我们建议选用助焊剂而非使用锡油。焊接完毕后,使用者可以使用酒精或清洗剂来清除残余的助焊剂,避免残留物造成短路问题。
助焊剂选用原则:
依待焊物体种类选择助焊剂的活性。如果
发表于 06-25 09:01
jscrane/TTS库不适用于NodeMCU 1.0吗?
该库适用于 arduino nano,但我无法让它适用于 NodeMCU 1.0 esp8266。该库将文本转换为使用 PWM 信号生成为音频的现象。库 2 的 github 页面在其自述文件中确实
发表于 06-01 06:01
PCB常见的五种蚀刻方式
一般适用于多层印制板的外层电路图形的制作或微波印制板阴板法直接蚀刻图形的制作抗蚀刻 图形电镀之金属抗蚀层如镀覆金、镍、锡铅合金
发表于 05-18 16:23
•5069次阅读
什么是地物光谱仪?地物光谱仪适用于哪些领域?
地物光谱仪是一种监测环境、土壤、气体或水中特定物质的光学仪器,通过分析光谱来检测特定的化学成分。主要适用于环境监测、资源勘查、农业、地球科学和矿物勘探等领域,可用于检测大气、地表、水体中的物质
评论