0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
会员中心
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

介绍一种基于光学等厚干涉原理的拼接镜面边缘传感器新方案

MEMS 来源:《光学学报》 作者:左恒 2021-06-29 09:25 次阅读
加入交流群
微信小助手二维码

扫码添加小助手

加入工程师交流群

建造更大口径的天文光学望远镜一直是天文光学技术的重点研究方向。但是,随着镜面尺寸的增大,也会带来制造、加工、装调等技术方面的难题。主动光学拼接镜面技术是突破传统单镜面光学望远镜口径限制的一个有效方法:将大镜面采用大量小镜面拼接而成,不仅能解决制造上的技术难题,还可以节约成本。由中国科学院南京天文光学技术研究所作为主要研制单位承担的国家九五重大科学工程郭守敬望远镜(LAMOST),是我国目前口径最大的地基大视场光学望远镜,拥有“光谱之王”和“世界光谱工厂”等众多美誉,在世界上引领了大规模光谱巡天的国际潮流。LAMOST创新性地开辟和发展了具有中国独立知识自主产权的新型主动光学技术,在国际上首先发明和实现在同一镜面上同时应用薄镜面主动光学和拼接镜面主动光学,实现了常规不能实现的光学系统,打破了大视场兼备大口径光谱巡天望远镜的国际天文瓶颈,攻克了世界级技术挑战,是我国光学望远镜研制历程和光学工程发展史上的重大里程碑之一,奠定了我国未来天文望远镜研制的坚实基础。

对于大口径拼接镜面天文望远镜来说,只有实现子镜拼接共相,才能真正发挥其高分辨性能和效率的最大威力,达到衍射极限性能。共相的精度取决于边缘传感器的测量精度。

边缘传感器位于相邻拼接子镜边缘,可精确测量子镜间的相对刚体自由度的位姿状态误差。目前,世界上的大型拼接镜面望远镜几乎都采用基于电学原理的边缘传感器,这类电学传感器安装于子镜背面,一般只能进行相对测量,需要辅助设备对其进行一定周期频率的精确标定;而且存在的温漂/时漂,不仅极难改善,在实际应用中也很难彻底消除。

南京天光所科研团队提出了基于光学等厚干涉原理的拼接镜面边缘传感器新方案,基于等厚干涉原理,通过探测器上得到的等厚干涉条纹,即可得知相邻子镜的姿态,具有精度高、原理简单、易于装调、工作稳定、无温漂时漂、适用于野外恶劣环境下使用等突出优点,具体原理示意图如下。

基于等厚干涉原理的拼接镜面边缘误差检测结构示意图

44def456-d871-11eb-9e57-12bb97331649.png

两子镜存在相对误差时的光强分布条纹。(a) x轴倾斜误差;(b) y轴倾斜误差;(c)平移误差

研究人员通过仿真模拟验证了该方案的可行性,并且优化了同心圆识别算法,可以实现高精度的同心圆提取,保证对误差进行实时监测。仿真结果显示:理论测量精度可以达到倾斜误差0.02“、平移误差20nm,可以满足大口径拼接镜面望远镜的共相检测需求。

本方案的关键优势包括:1)简化了拼接共相过程,可实时得到相邻子镜位姿之间的绝对误差,无需单独进行额外的定标;2)利用相邻子镜的条纹差异信息来反演相邻子镜的绝对位姿误差,可避免传感器安装支架和系统的重力变形、热变形及安装误差带来的影响;3)系统设计不基于电学原理,不易受温漂和时漂的影响,也避免了电噪声的干扰;4)原理简单,结构紧凑,方便在镜面上进行大规模部署。

目前,科研团队针对图像处理方法进行了深入研究,后续将在郭守敬望远镜(LAMOST)上进行实地测试和应用。该方法有望攻克拼接共相中的高精度位姿检测等关键科学难题,打破国外垄断,在众多高精尖测量领域有着广阔的应用前景。

该项研究获得国家自然科学基金天文联合基金重点项目(U2031207)、国家自然科学基金 (U1931126、12073053)、中国科学院青年创新促进会(2013041)等项目资助。

论文地址:http://www.opticsjournal.net/Articles/Abstract/gxxb/41/12/1212002.cshtml

责任编辑:lq6

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉
  • 传感器
    +关注

    关注

    2577

    文章

    55505

    浏览量

    793957
  • 光学
    +关注

    关注

    4

    文章

    885

    浏览量

    38251

原文标题:中科院提出一种新型基于光学等厚干涉的拼接镜面边缘传感器方案

文章出处:【微信号:MEMSensor,微信公众号:MEMS】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

收藏 人收藏
加入交流群
微信小助手二维码

扫码添加小助手

加入工程师交流群

    评论

    相关推荐
    热点推荐

    基于干涉光学测试系统

    工程师完成这项任务,快速物理光学软件VirtualLab Fusion提供了系列工具,包括系统中的衍射和非序列建模。 随着新版本2023.1的发布,我们还提供了一种新的探测概念,允
    发表于 04-08 08:42

    [VirtualLab] 用于光学检测的斐索干涉

    摘要 斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备,通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下,我们建立了个Fizeau
    发表于 04-08 08:38

    [VirtualLab] 使用棱镜分束的Mach-Zehnder干涉仪互补干涉图样的观测

    **摘要 ** 分束是将光束分为二的重要光学元件,是干涉许多光学实验和测量系统的重要组成
    发表于 04-03 08:41

    华为将向业界发布核心网网络智能新方案

    在MWC2026巴塞罗那期间,华为将向业界发布核心网网络智能新方案。目前,围绕故障管理和网络变更两大高价值场景的自动化方案已在全球14个领先运营商网络商用部署。面向下阶段的新方案,将
    的头像 发表于 03-05 10:22 509次阅读

    南柯电子|医疗设备电磁兼容整改:从技术突破到临床安全的新方案

    南柯电子|医疗设备电磁兼容整改:从技术突破到临床安全的新方案
    的头像 发表于 11-26 09:59 551次阅读

    款专为「镜面/透明工件」而生的激光位移传感器

    传统激光位移传感器遇到[ 高透亮 ]工件,会无法检测,或者误差很大。光子精密有款专为「镜面/透明工件」而生的激光位移传感器
    的头像 发表于 08-14 10:13 1869次阅读
    <b class='flag-5'>一</b>款专为「<b class='flag-5'>镜面</b>/透明工件」而生的激光位移<b class='flag-5'>传感器</b>

    基于像散光学轮廓仪与单点膜技术测量透明薄膜厚度

    设计)虽具备高分辨率全场扫描能力,但对厚度小于25μm的薄膜存在信号耦合问题。本研究通过结合FlexFilm单点膜仪的光学干涉技术,开发了一种覆盖15nm至1.2mm
    的头像 发表于 07-22 09:53 1089次阅读
    基于像散<b class='flag-5'>光学</b>轮廓仪与单点膜<b class='flag-5'>厚</b>技术测量透明薄膜厚度

    白光色散干涉:实现薄膜表面轮廓和膜的高精度测量

    薄膜结构在半导体制造中扮演着至关重要的角色,广泛应用于微电子器件、光学涂层、传感器领域。随着半导体技术的不断进步,对薄膜结构的检测精度和效率提出了更高的要求。传统的检测方法,如椭圆偏振法、反射
    的头像 发表于 07-22 09:53 1930次阅读
    白光色散<b class='flag-5'>干涉</b>:实现薄膜表面轮廓和膜<b class='flag-5'>厚</b>的高精度测量

    薄膜厚度高精度测量 | 光学干涉+PPS算法实现PCB/光学镀膜/半导体膜高效测量

    。本文本文基于FlexFilm单点膜仪的光学干涉技术框架,提出一种基于共焦光谱成像与薄膜干涉原理的微型化测量系统,结合相位功率谱(PPS)
    的头像 发表于 07-21 18:17 1894次阅读
    薄膜厚度高精度测量 | <b class='flag-5'>光学</b><b class='flag-5'>干涉</b>+PPS算法实现PCB/<b class='flag-5'>光学</b>镀膜/半导体膜<b class='flag-5'>厚</b>高效测量

    芯片制造中高精度膜测量与校准:基于红外干涉技术的新方

    、环境光干扰及薄膜倾斜因素限制,测量精度难以满足高精度工业需求。为此,本研究提出一种融合红外干涉与激光校准的薄膜厚度测量新方法,旨在突破传统技术瓶颈,实现更精准、
    的头像 发表于 07-21 18:17 3153次阅读
    芯片制造中高精度膜<b class='flag-5'>厚</b>测量与校准:基于红外<b class='flag-5'>干涉</b>技术的<b class='flag-5'>新方</b>法

    常见的温湿度传感器类型?

    温湿度传感器一种用于测量环境温度和湿度的设备,广泛应用于工业、农业、气象领域。以下是几种常见的温湿度传感器类型及其优缺点: 电容式湿度传感器
    发表于 06-24 09:24

    VirtualLab Fusion:用于光学检测的斐索干涉

    摘要 斐索干涉仪是工业上常见的光学计量设备,通常用于高精度测试光学表面的质量。在VirtualLab Fusion中通道配置的帮助下,我们建立了个Fizeau
    发表于 05-28 08:48

    清华大学在激光干涉光刻全局对准领域取得新进展

    图1.拼接曝光加工系统 衍射光栅广泛应用于精密测量、激光脉冲压缩、光谱分析领域。干涉光刻作为一种无掩膜曝光光刻方法,在衍射光栅加工制造方面具有高效率、高灵活度的优势。但
    的头像 发表于 05-22 09:30 835次阅读
    清华大学在激光<b class='flag-5'>干涉</b>光刻全局对准领域取得新进展

    光学实验教具应用:迈克尔逊干涉仪实验

    1. 实验概述 迈克尔逊干涉仪是光学干涉仪中最常见的一种,其原理是束入射光分为两束后各自被对应的平面镜反射回来,这两束光从而能够发生
    发表于 05-08 08:51

    光学实验教具应用:双缝干涉实验

    实验教具中的实验搭建 图1.实验教具光路搭建 图2.实验教具结果 4.实验总结 双缝干涉实验是光学专业必不可少的项实验,为了帮助学习和理解,我们可以在VirtualLab Fusion软件中轻易地搭建并仿真出来,同时实验教
    发表于 05-08 08:48