晶芯半导体黄石公司举行投片仪式举行

有“台湾 DRAM 教父”之称，同时也是前紫光全球执行副总裁高启全成立的晶芯半导体黄石公司是湖北首家晶圆再生工厂。 4 月 29 日在黄石开发区举行投片仪式，高启全亲自出席该仪式。

高启全对《问芯Voice》表示，晶芯半导体一期规划的月产能 10 万片已于 2020 年 7 月开工建设，2021 年 4 月底部分试产，2021 年 6 月全面投产，并预计于 2022 年上半年达产。

晶芯半导体项目是由高启全与台湾半导体设备与再生晶圆供应商厂辛耘企业所创立，总投资 23.13 亿元，用地面积 72 亩，分四期建设。该项目全部建成达产后，预计可达月产能 40 万片，年营业收入可达 10.08 亿元，年税收 1.43 亿元。

高启全表示，中国大陆的 12 寸晶圆厂投资需要有完善的供应链来保障工厂运营稳定及成本竞争力，这也是 2020 年 9 月他离开紫光集团，转战半导体供应链领域的主要原因之一。他除了在黄石创立第一家芯片原物料公司，也在其他省份地区投资晶圆厂所需要的关键原物料。

大陆的半导体晶圆厂一座座盖起，对晶圆再生需求非常强劲，短板是没有本地供应的晶圆再生厂，都要从海外运到大陆，成本无形中垫高。

再生晶圆每片单价约 20 ～ 30 美元，回收可再利用 4 ~ 7 次，如果把再生晶圆从台湾运到大陆使用，运费等因素会导致每片晶圆的成本多出 4 美元。长期来看，工厂要设立在大陆供应本地晶圆厂才会有竞争力。

对高启全而言，离开紫光后加入大陆半导体供应链的打造，既不与紫光集团相竞争，又能协助现在众多的本地晶圆厂强化生产竞争力。

晶芯半导体黄石公司初期是生产晶圆再生，全期共有四条生产线，总产能每月 40 万片，配合国内 12 寸厂的产能需求同步投资扩充。目前一期 10 万片的厂房建设和机台安装经历了 9 个月时间顺利完成。

高启全也强调，该厂房采用的生产设备是最先进的机型，厂务系统和洁净车间的设计能保障稳定、安全、无污染生产，在今年底会导入自动化搬运系统。

硅片在晶圆厂中的应用可以分为两大类：正片是被直接用在半导体加工，包括抛光片、外延片等；另一种是用于监控测试的硅片，包括控片（monitor wafers）、档片/测试片（dummy wafers）、测试晶圆（Test Wafer）。

所谓再生晶圆（reclaim wafer），并非指IC 不良品的再利用，而是将芯片制造中使用过的控片（Monitor wafer）及档片/测试片（Dummy wafer）提供回收再利用服务，主要通过刻蚀、轮磨、化学机械抛光及清洗等工艺，将晶圆表面恢复到初始状态，再投入生产线使用，主要客户为全球晶圆制造及晶圆代工厂商。

控片主要用来监控机台的制程能力是否稳定、生产环境是否洁净。通过使用控片，可以对离子注入、薄膜沉积、光刻、刻蚀和研磨等工艺中的电阻率、薄膜沉积速率、刻蚀速率、研磨速率、均匀性等进行监测。

挡片的作用主要是维持机台的稳定，使用对象包括炉管、暖机挡片、传送挡片等。在炉管中，挡片被用来隔绝工艺条件较差的部分，以及填充产品不足时空出的位置，对炉管内的气流进行阻挡分层，并让温度均匀分布。

控片和挡片的来源可以是全新晶圆或是是再生晶圆。全新晶圆是由晶棒两侧品质较差处所切割出来的部分。再生晶圆是指回收重复利用的挡控片。由于挡控片的消耗量大，若都使用全新的挡控片，会导致成本过高，因此就有了晶圆再生的生意出现。

根据 2018 年 SEMI 报告显示，再生矽晶圆市场 2017 年达 5.1 亿美元，2018 年上扬 19% 并达到 6.03 亿美元的规模，主要是日本供应商称霸市场，在 8 寸和 12 寸再生晶圆产能方面占比最高。

目前全球前四大再生晶圆供应商龙头为日本 RS Technologies，其他四家为台湾供应商：升阳、中砂与辛耘。

与高启全一起携手创立晶芯半导体的辛耘企业，主要从事三大业务：代理设备、自制设备与再生晶圆，占比最大的是代理设备约占 58%。

大陆几乎所有 12 吋晶圆厂都是辛耘的客户，因此辛耘对大陆半导体产业市况非常熟悉，认为要在大陆本地设厂，就近服务当地客户，才能符合效率和成本。

目前辛耘在台湾的再生晶圆业务月产能约为 12 万片，预计在台厂房今、明两年要再扩 4 万片，上看 16 万片。

原文标题：“台湾DRAM教父”高启全出席黄石晶芯投产仪式，再生晶圆项目6月全面启动

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责任编辑：haq