微视传感：一家以MEMS为核心技术的微镜芯片及全栈解决方案提供商

微访谈：微视传感总经理徐乃涛

采访背景：无锡微视传感科技有限公司（以下简称：微视传感）于2019年7月成立，是一家以MEMS为核心技术的微镜芯片及全栈解决方案提供商。微视传感聚焦3D成像与传感领域，为客户提供MEMS微镜芯片、结构光投射模块、3D相机以及3D视觉解决方案，产品可广泛应用于安防、金融支付、机器视觉、激光雷达、激光微投以及光通讯等领域。

在成立不到两年的时间里，微视传感已经基于MEMS微镜芯片完成了结构光投影模组和3D相机的开发工作，并于2020年成功吸引了3D传感行业超级独角兽——奥比中光的投资。这家3D传感行业新秀掌握了哪些核心技术？对3D视觉有怎样的独到见解？未来有何发展规划？麦姆斯咨询近期采访了微视传感总经理徐乃涛，以下是采访内容整理。

麦姆斯咨询：首先，请您简单介绍微视传感的发展历程，以及核心团队成员背景。谢谢！

徐乃涛：首先非常感谢麦姆斯咨询提供的这次访谈机会，借此机会也让业内的同行与用户更深入全面地了解微视传感。微视传感孵化自国内首家国家级集成电路专业化众创空间——中科芯双创中心。我们团队于2017年入驻中科芯双创中心进行产业孵化，并于同年年底研发出第一款MEMS微镜芯片。2018年年底完成第一代MEMS编码结构光投射模组的研发以及第一代MEMS 3D深度相机的Demo（编者注：演示）研发。2019年7月公司完成工商注册，同年11月入驻公司注册地址——江苏无锡锡山经济开发区集智广场。2020年引入股东：奥比中光，为公司未来方向的发展提供了有利的保障。截止至2020年年底，微视传感研发出MEMS微镜LSA系列、可编程结构光投射模组MSC系列以及3D深度相机PCA系列。同年，公司实现了约2500万元的营收。

微视传感核心团队成员均来自MEMS行业资深从业人员。我是项目创始人，现任微视传感总经理。我于2006年毕业于电子科技大学微电子专业，毕业之后在华润微电子、美新半导体以及微奥科技一直从事半导体和MEMS的相关研发工作。我的联合创始人有两位，Chirs和Kevin。后来有幸引入两位重量级的伙伴Johnnie和Tony。Chirs是光学博士，担任公司副总职位，负责模块和系统产品的研发与生产。Chirs毕业于西安工业大学，2013年加入团队一直到现在。Kevin同样于2013年加入团队，曾供职于华润上华，是国家02专项MEMS项目的主要研发人员之一。Kevin现任公司副总，负责MEMS芯片的研发和生产。Johnnie担任市场总监，毕业于西北工业大学，拥有20年的安防和工业类市场管理经验，曾在高校从事过5年市场营销专业课程的教学工作。Tony是我们的应用开发负责人，毕业于北京交通大学，拥有近20年MEMS产品组装与应用开发经验。

微视传感核心团队成员介绍

麦姆斯咨询：在微视传感成立之前，主要核心团队成员已是多年合作的“战友”。可以谈谈是什么原因让你们做出创业的决定吗？为何情有独钟选择“3D视觉”方向？

徐乃涛：现在回想起来，可以借雷布斯（雷军）一句话来形容创业“创业是阿猫阿狗干的事，绝对不是人干的事”。这是一句笑话，但是概括了创业的艰辛与不易。2017年决定创业的主要原因有几个方面。首先还是坚持情怀与实现理想，一直想团结志同道合的人一起做点有意义的事。其次是想改变，从年龄上讲，青春已经过去，但是从事业上讲，恰逢人生最成熟的二十年，一切才刚刚开始，人生需要波澜。最后就是时机，这就转到为什么选择“3D视觉行业”这个问题了。我们从2013年就开始MEMS微镜的研发工作，但那时选择聚焦的方向是医疗和光通讯。两个行业的技术门槛都很高，验证周期也非常长。2017年，苹果推出iPhone X，将3D结构光人脸识别应用到智能手机上。苹果把3D传感和成像的规模化应用带到了我们身边，再加上当年汽车激光雷达发展需求旺盛。而MEMS微镜在这两个领域都非常有发展空间，团队的技术强项也在此，因此最终选择了3D视觉方向并开启了创业之路。

麦姆斯咨询：从MEMS微镜芯片，到结构光投射模组，再到3D深度相机和激光雷达，微视传感布局了全面的3D视觉解决方案。请您先谈谈贵司MEMS微镜芯片采用的驱动方式和技术难点，以及主要芯片产品及性能。

徐乃涛：MEMS微镜的驱动方式通常有四种：静电驱动、电磁驱动、电热驱动以及压电驱动，我们采用的是静电驱动方式。采用静电驱动主要有两个方面原因，第一是静电驱动的MEMS微镜在光通讯领域已经得到规模化应用，长期可靠性得到验证。其二就是静电技术所采用的MEMS工艺与大部分MEMS产品的工艺有比较多的共性，可随着MEMS产业链的技术提升以及产能提升带来相关的产品升级和产能供给。当然，静电驱动也有其本身的一些技术难点，芯片本身需要解决的是Wafer-Bonding（编者注：晶圆键合）工艺、梳齿刻蚀工艺以及电极隔离工艺；驱动技术要解决的难点是驱动电路与闭环控制。

我们目前主要用于三维成像的MEMS微镜是LSA140D这款产品，其采用特殊结构设计，角度大、可靠性高、重复性好。目前可以实现最大120°的光学扫描角。

麦姆斯咨询：微视传感的3D深度相机选择了可编码结构光技术路线。请谈谈选择该技术路线相对于其他技术方案的缘由，以及技术特点/优点。

徐乃涛：编码结构光是实现3D成像的一个关键的技术方案。现在实际应用中主要存在两种编码结构光技术方案。一种是利用固定衍射光学元件（DOE）来产生散斑的静态编码结构光方案，该技术方案点云数量少，分辨率低，测量距离短；另外一种是利用DLP投影的方式投射出编码结构光方案，该方案体积大、成本高、景深小。基于MEMS微镜的编码结构光方案可以做到体积小、成本低、分辨率高、大景深以及可以红外投射等，很好地融合了以上两种技术方案的优点，同时也避开了两者的短板。

麦姆斯咨询：目前，微视传感已经推出了哪些3D深度相机产品？主要目标市场有哪些？

徐乃涛：微视传感已经推出了基于MEMS微镜的PCA系列3D深度相机，测量距离囊括了0.3m~2m的区间。这个系列采用MEMS动态编码光栅结构光进行扫描，可根据图像恢复算法重建出物体的真实三维点云数据。能满足工业级高分辨率、亚毫米测量的三维视觉应用需求。我们这款产品的特点是体积小、景深大、测量精度高、成本低、操作简单。因此它的目标市场也比较广泛，如生物识别、工业自动化、机器人、三维物体重建等场景，其中在生物识别方向，我们可用于人体相关的脸、手、牙齿、足等的3D建模。

微视传感推出的PCA系列3D深度相机及点云效果图

麦姆斯咨询：此外，微视传感在激光雷达方面做了哪些布局？采用了何种技术路线？

徐乃涛：在激光雷达方面，我们在芯片端的布局基本已经完成。目前针对激光雷达领域我们布局了三款MEMS微镜芯片，用于短距离的镜面直径为1mm~1.5mm的CDA系列芯片；用于长距的镜面直径为14mm的一维扫描芯片EM1A和镜面直径为8mm的二维扫描芯片EM2D。其中CDA芯片依然采用了我们用于3D相机的技术方案。两款大镜面的EM1A和EM2D芯片采用了特殊工艺，该技术方案我们与国内一家顶级的汽车配件厂商定制化开发，很好地解决了量产工艺，同时也为未来的市场化推广开辟了渠道。

微视传感的量产MEMS微镜芯片

麦姆斯咨询：微视传感在哪些方面进行了专利布局？目前进展如何？

徐乃涛：微视传感非常重视知识产权的布局与保护，我们团队从组建开始就围绕核心知识产权方面开始撰写专利，从点到面，从芯片到产品，从设计到工艺，全面覆盖。截至目前，微视传感撰写了专利40多件，授权20件。团队计划未来两年内使发明专利的授权数量达到10件，尊重、保护、用好知识产权，是我们团队做专利布局的初心，同时做好专利布局也会在一定程度上指引团队的开发方向。

麦姆斯咨询：我们看到，基于MEMS技术的3D深度相机商业化进程最初由德州仪器（TI）的数字微镜器件（DMD）开启，后续在产品检验、堆垛/拆垛、无序分拣等工业领域逐渐落地，但尚未出现爆发性应用市场。请分享您对MEMS微镜应用场景落地的痛点和机遇的理解。

徐乃涛：目前市场上主流的是DOE和DMD两种方式技术方案，其中DMD在工业场景应用最为广泛。虽然目前DMD方案没有在任何一个点大规模爆发，但是在需要用到3D视觉的场景中都有它的身影，说明市场需求是大量存在的。一款产品的爆发需要两个强力点来支持，一个是是否为客户解决了痛点，另外一个是是否为客户带来了利润。DMD技术方案存在的体积大、景深相对较小已经限制了比较多的应用。另外就是价格昂贵，让很多需求量大的应用没有办法大规模使用。

基于MEMS微镜的3D相机的应用场景也是根据自身特点结合市场需求来确定的。随着“工业4.0”的进一步推进，机器人在智能制造领域的应用不断扩展，机器视觉也日趋火爆，3D视觉的需求也越来越多。大量的自动化产线中，物体的定位是基于原始的机械定位，机器人只需要负责重复作业的准确性即可，不需承担物体识别和定位工作。随着现在终端作业场景的多样化，对于机器人也提出了更高的生产要求，需要机器人能识别和处理所面对的工作环境和工作对象。这就是机器人引入3D视觉的必要性。机器人3D视觉的配置率需要不断提升直至成为智能机器人的标配。目前3D视觉的大规模应用还存在着一个障碍性的技术难题亟待解决，即机器人的“眼”的普及与“手/眼”协同的广泛应用。于微视传感而言，我们要做的是完善产品，配合“手”的应用厂商，全面合作，共同成长，继而实现共赢。

麦姆斯咨询：作为一家初创公司，今年微视传感制定了怎样的市场拓展计划？

徐乃涛：今年，微视传感将聚焦三大方向，第一是生物建模，包含脸、手、牙齿、足以及人体姿态等建模；第二是视觉引导，主要是针对机械手臂的自动化生产等场景；最后就是3D测量，我们实验室数据已经可以实现10um的Z轴测量精度，这给我们未来大规模替代DLP的测量场景带来了极大的信心。

麦姆斯咨询：除了MEMS微镜，微视传感已经/计划研发哪些其它MEMS芯片？

徐乃涛：MEMS芯片是微视传感的核心技术。微视传感除了拥有已经研发成功并已量产销售的MEMS红外热电堆传感器、LED纳米压印模板、MEMS振荡器以及MEMS气体传感器等MEMS芯片外，在今年还将推出首款光通讯用MEMS微镜芯片。微视传感希望未来成为一家MEMS芯片及应用方案解决商，致力于为客户提供全栈式的传感器服务。

麦姆斯咨询：MEMS芯片研发对于制造工艺线的要求很高，再加上近一年芯片制造产能紧缺问题，微视传感如何应对？

徐乃涛：微视传感的团队拥有15年以上的MEMS量产经验，因此也积累了非常丰富的MEMS生产相关的资源。在去年生产最为紧张的时候，我们依然可以和3家MEMS代工厂保持非常良好稳定的合作关系。在没有依靠任何政府或股东资源的前提下，2020年MEMS芯片出货量依然超过了1000万颗。这对一家初创公司是非常值得骄傲的，在此非常感谢我们的合作伙伴。

麦姆斯咨询：微视传感在2020年获得了奥比中光的投资，请谈谈是你们哪些优势吸引了奥比中光？这笔融资将为微视传感的发展带来哪些有利因素？

徐乃涛：奥比中光是3D视觉行业的超级独角兽企业，能够获得奥比中光的青睐我们感到无比的荣幸。我想主要是有三点吸引了奥比中光的关注，一是我们双方拥有共同的理念，大家共同致力于通过技术和产品的进步“让所有终端都能看清世界，让世界更智能”这一远大目标；其二是我们团队求真务实、拼搏创新、共创共赢的作风赢得了奥比中光的欣赏；最后就是我们的项目经验和产品。我们有着自主研发核心系列化MEMS微镜芯片，有着在MEMS方面积累的深厚经验，有着前端后道丰富的产品线资源，此外在光、机、电、算、软方面也拥有优秀的开发能力。

融资完成后，依托奥比中光在行业中的龙头地位，在开拓市场应用方面比较顺利，并且奥比中光作为应用方，给我们提供了非常广的应用思路。

麦姆斯咨询：微视传感近期是否有融资计划？如有，请简单介绍融资需求及资金用途。

徐乃涛：公司成立至今已经完成两轮融资，第一轮天使轮我们引入了国家队基金中电科创投基金，Pre-A轮引入了战略合作方奥比中光。目前我们产品研发和业务拓展非常迅速，公司发展需要大量的资金，新的融资计划已经启动。这一轮融资预计融资2000~3000万元，主要是在四个方面进一步提升、优化公司的产品和核心竞争力：一是扩建MEMS实验室，丰富研发MEMS实验室及组装实验室的设备系列，加快在研芯片的开发进展；二是加速项目研发进度，主要在驱动IC、深度相机系列化和激光雷达等方面的研发；三是高端人才的建设，补充高端研发人员，如硬件、算法和应用开发人才；最后就是用于丰富市场和FAE团队，拓展客户应用的广度和深度。

麦姆斯咨询：请展望微视传感未来五年的规划及发展目标。谢谢！

徐乃涛：我们已经制定了三个阶段目标来规划公司的未来发展。未来五年，微视传感将继续对现有MEMS微镜芯片和产品进行迭代升级，深耕3D传感的相关领域，配套行业的产业链，为客户提供降本增效的产品和服务。希望五年后公司成为国内知名的MEMS芯片方案供应商和3D感知硬件供应商，实现我们创业的目标也是微视传感的使命——让世界更智能。

麦姆斯咨询：微视传感将参加3月17日~19日的慕尼黑上海光博会。你们希望借此机会向观众展示哪些产品？请向大家发出邀请吧！

徐乃涛：本次我们计划展出MEMS芯片、模组和相机等全系列产品，包括针对激光雷达领域的三款MEMS微镜芯片，用于短距离的镜面直径为1mm~1.5mm的CDA系列芯片，用于长距的镜面直径为14mm的一维扫描芯片EM1A和镜面直径为8mm的二维扫描芯片EM2D，用于三维成像的LSA140D，动态可编码结构光投射模组MSCP、MSC、（分体式、集成式）等，并且我们也会发布我们的首款定型MEMS 3D深度相机PCA-600P，在展会上向大家实时演示我们3D相机的扫描效果。希望能和大家多多沟通交流，共同促进行业发展，也欢迎大家多对我们的产品提建议。

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