详解：P73.Z200系列Z向200微米行程压电物镜定位器

P73系列压电物镜定位器为大行程压电物镜定位器，Z轴直线运动范围可选200μm、500μm及1mm。P73．Z200是P73系列中200微米行程的版本，它采用柔性铰链设计机构，无摩擦、运动直线性好，且闭环版本定位精度高。分离式螺纹适配器设计，可适配多种型号的显微镜，广泛应用于大范围显微成像、双光子显微镜等领域。

特点

行程200μm

承载能力0．2kg

毫秒级响应时间

闭环重复定位精度高

聚焦稳定性好

典型应用

三维成像

干涉／计量

生物科技

表面结构分析

共焦显微

半导体测试

开／闭环控制电压与位移曲线

注：施加至压电物镜定位器的电压约为控制输入电压的12倍。

螺纹适配器便于安装

P73．Z200系列压电物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选，如M27×0．75、M26×0．75、M26×1／36＂、M25×0．75、W0．8×1／36＂ 等，也可定制，便于与显微镜集成安装。可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。它也可以通过适配器与手动调节台相结合使用。

技术参数

型号：P73．Z200S

运动自由度：Z

标称行程范围：160μm＠120V

行程范围：200μm＠150V

传感器类型：SGS

闭／开环分辨率：11／5nm

闭环线性度：0．1％F．S．

闭环重复定位精度：0．05％F．S．

推／拉力：80／10N

运动方向刚度：0．25N／μm

空载谐振频率：210 Hz

闭／开环空载阶跃时间：20／10ms

闭环空载工作频率：40Hz＠10％行程

闭环空载工作频率：10Hz＠100％行程

承载能力：0．2 kg

静电容量：7．2μF

材质：钢、铝

重量：360g

注：以上参数是采用E00／E01系列压电控制器测得。最大驱动电压可在－20V～150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0～120V。

责任编辑：PSY