润微电子向西电微电子学院捐赠500片特色晶圆！

来源：西电新闻网

微电子行业是一个前景广阔、人才缺口巨大的行业。如何加强对学子的引导教育，鼓励更多学生积极投身微电子行业，是西安电子科技大学人才培养过程中的一个目标导向。西安电子科技大学暑期在华润微电子调研期间，通过座谈交流，双方认为“一款具有行业特色的芯片实物”，将“芯”比心，会起到一定的育人引导实效。经过积极筹备、精心设计，华润微电子向西电微电子学院捐赠了500片特色晶圆，鼓励学子建功芯时代。

晶圆设计图

该晶圆尺寸为6英寸，正面刻有标语“为中国芯之崛起而发奋”，并包含华润微与西电微电子的字样与Logo。这500片晶圆，一方面将作为本科生的“教具”，通过实物让学生对芯片有进一步认识，同时号召广大青年努力学习，建功立业芯时代；另一方面将作为微电子学院优秀学子的“精美礼物”，通过相关活动发放给学生，鼓励学子继续努力，力争取得更优异成绩。

依托华润微电子半导体全产业链的优势，制造中心组织设计公司、光刻版工厂及晶圆制造工厂相关人员，在短时间内完成了版图设计、光刻版制造、工艺流程设计、晶圆制造等过程。为实现汉字和集成电路兼容在圆片上，并用尽量少的光刻层次，工艺流程上采用了功率器件工艺和模拟集成电路工艺相结合的方式。虽然仅需要一层光刻，但制造过程几乎涉及了整个半导体产业全流程，包含了氧化、光刻、腐蚀、物理气相淀积和化学气相淀积等步骤。主要步骤为先长膜、长金属，然后采用1:1投影式光刻机台实现图形转移，经过腐蚀步骤，完成图形，最后采用化学气相淀积长一层保护层，完成整个过程。

据悉，华润微电子致力于“为祖国育英才”，与西电微电子学院自2011年成立“未来之星”俱乐部以来，持续开展产学研合作，协同育人助力学子成长成才。作为一家以振兴民族微电子产业为己任的国有企业，华润微电子与西电微电子学院携手合作，大力支持、积极参与了“微院好青年”评选、行业筑梦之旅、“芯视野”文化节等学生活动，引导优秀学子投身微电子行业，充分体现了其社会责任担当。

原文标题：冉冉中国芯！华润微向西电微电子学院捐赠500片晶圆

文章出处：【微信公众号：MEMS】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。