这家高新区打造中国最大MEMS产业高地

MEMS（微机电系统）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过40多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，微米量级的特征尺寸使它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器等，以及它们的集成产品。

5月22日-23日，由淄博市人民政府主办、淄博高新区管委会承办的第二届中国(淄博)MEMS产业发展高峰论坛召开，淄博市委书记江敦涛，市委常委、副市长宋振波，淄博高新区工委书记、管委会主任魏玉蛟，以及国内MEMS领域顶尖技术专家、知名企业家、投资机构负责人等150余人参加了论坛。大家集思广益，共同探讨MEMS发展务实高效新路径，谋划引领发展新项目，合力将淄博打造成为以MEMS传感器为特色的电子信息产业高地。

中国工程院院士、清华大学副校长尤政、中科院上海微系统所与信息技术研究所教授王跃林、清控资产管理集团总裁薛嘉麟等6位权威专家，分别进行了精彩演讲，介绍最前沿的技术动态，聚焦前沿的MEMS产业技术及产品应用，分析和研判了当前MEMS产业发展形势，探讨和展望了MEMS领域技术突破和投资机遇。

市场广阔。MEMS是继微电子之后又一个颠覆性技术，也是被发达国家封锁和垄断的高新技术。MEMS技术属于多学科交叉的前沿科技领域，具有功耗低、集成度高、耐用性好、附加值大的优势，在汽车、智能家电、国防军工、消费电子等领域有着广泛的应用，是当今时代万物互联的基石，是各个国家参与全球高科技竞争的战略制高点，背后蕴藏着巨大商业价值和国家利益。

“当前正处于MEMS产业发展的黄金时期，淄博已经占了先机。”中国工程院院士、清华大学副校长尤政说：“今后MEMS产业将在淄博未来发展中占据非常重要的位置，发挥更大的作用。”

慧眼识珠提前布局。MEMS产业战略论坛、国内最大的MEMS产业园花落淄博，这是淄博多年精心培育的结果——十年前，这项高端技术尚“养在深闺人未识”，距离产业化尚有较大距离，有集成电路产业基础的淄博独具慧眼，与尤政联合成立了MEMS研究院。

魏玉蛟告诉记者，为破解高新技术企业融资难题，淄博高新区最先投入了1.6亿元，为研究院搭建了具有国际先进水平的6英寸硅基MEMS中试代工平台，让专家的成果有了“高端”检验设备。

为加快科技成果转换，淄博高新区高标准规划建设以MEMS产业孵化器为核心的电子信息产业园。园区立足打造MEMS、集成电路、智能传感器、仪器仪表等优势产业链和产业聚集区，聚集了新恒汇、齐芯微、台湾强茂电子等45家企业入园发展，可为入园企业及高层次人才提供设计、研发、中试、孵化、产业化等功能为一体的科研产业化综合服务；园区实行“园区管委会+运营公司+产业基金+N服务”的创新管理体制，与清华同方、北航大学科技园等国内知名机构合作，共同建设了国家级电子信息科技企业孵化器、MEMS研究院、MEMS产业孵化器、北航天汇科技孵化器（淄博）科创中心和省级MEMS众创空间等10个创新创业平台。

为让MEMS产业园的企业迅速发展壮大，淄博高新区创新实施“专家委员会+研发平台+专业公司+基金”的招商机制，集中招引具有重要引领带动作用的国内外高层次人才和大项目、好项目。同时设立了8只基金，针对企业不同发展时期的不同需求，精准服务，目前已投资8.3亿元。

一个个平台满足了科研人员研发中试和小批量生产的需求，这在全国独一无二。有了施展本领的舞台，研究院很快吸引了包括4名院士在内的43位国内外MEMS领域“大拿”。

按捺不住创业激情的专家们干脆“披挂上阵”，通过个人出资、技术入股、动员导师、同学、学生、朋友办企业等多种形式，来到产业园，成立公司，专家们亲自“操刀”，实现了从论文（理论）、到实验室再到市场的无缝衔接。

目前，MEMS产业园已经累计开发MEMS芯片单项工艺180项，产品工艺30多项，自主研发项目25个，引进高端产业项目45个，为打造千亿级电子信息产业园奠定了扎实基础。

自2018年首届论坛以来，淄博高新区MEMS产业发展呈现爆发式增长，每年产业产值增速均超30%，汽车MEMS陀螺、压电陶瓷MEMS器件、溅射薄膜工艺(淄博)协同创新中心项目等高端产业项目落地园区，形成了集MEMS芯片设计研发、工艺加工、封装测试、产品应用等为一体的综合性研发产业基地，MEMS芯片产业已经成为引领区域高质量发展的“芯”动能。

从产业园到产业链。“我每年都到淄博来，淄博的MEMS产业起步早、发展快。”研究员马岸英表示，现在淄博已经有了中试线和一定的加工能力，但要更大规模生产，还需要再添加更多生产线，提升产量，形成以MEMS为基础的大的产业链条。马岸英此次前来，除了参加论坛，还有一个更重要的任务，就是与MEMS产业研究院继续进行对接，进一步协商研究成果落地的具体细节。

山东佰测传感科技股份有限公司是首批进驻淄博MEMS产业园的企业，总经理丁立新告诉记者，选择落户淄博MEMS产业园，正是看中了研究院的科技优势，以及高新区雄厚的产业基础和完善的产业链条。

2018年1月15日开始正式运营的山东新恒汇电子科技有限公司，发展步伐既快又稳，是淄博高新区电子信息产业园的骨干企业。当年投资2亿元建设新型IC卡芯片封装载带生产及芯片封装测试项目，新建了3000㎡的生产车间、5000㎡的仓库，引进国际最先进的高精度表面处理机、全自动对位平行光曝光机载带生产设备和模块封装测试生产设备82台(套)。当年实现IC卡封装框架产量15亿颗，模块6亿颗，销售收入3.15亿元，带动就业200人，载带与封装业务占全球市场的20%。之后又新上了超大规模集成电路用金属引线框架项目和eSIM封装项目。今年，将投入2000万元研发资金，并有意向并购有潜力的同行或者上下游企业。“有不断研发的新技术和淄博全方位无微不至的优质服务做后盾，我们今年仍然将实现销售收入和利税分别增长30%的目标！”既是业内专家又是商场精英的新恒汇董事长任志军信心满满。

魏玉蛟表示，淄博高新区将以此次论坛为契机，在平台构建、生态建设、产业元素打造、资本合作、资源整合等方面加大力度、加速推进，深化与科研界、产业界、金融界的交流合作，推进MEMS技术和产品在淄博的研发和产业化，带动我国MEMS相关产业的技术提升。

江敦涛在论坛结束后会见参会嘉宾时说，淄博正在聚力聚焦“创新绿色、动能转换优存量，着眼未来、引领高端扩增量”，集中打造新材料、智能装备、新医药、电子信息“四强”产业，一批新技术、新产业、新业态、新模式不断涌现，老工业城市焕发勃勃生机，发展后劲越来越强劲。

“淄博市各级党委、政府将竭尽全力呵护MEMS产业的成长壮大，为创新创业提供最优的营商环境，努力打造MEMS传感器为特色的电子信息产业新高地。”江敦涛说，去年淄博出台了“人才金政37条”，今年又把对标学习深圳优化营商环境攻坚作为“一号改革工程”，欢迎企业家把更多的新项目、新技术、新产品放在淄博，“我们将全力为电子信息企业在淄发展创造更好条件、提供更优生态。”