国产300mm超薄晶圆减薄抛光一体机实现工艺应用，打破国外垄断局面

近日，由电科装备所属北京中电科公司牵头承担的国家02科技重大专项 “300mm超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化” 项目顺利通过国家科技部的正式验收。

目前，国产300mm超薄晶圆减薄抛光一体机正在国内封装龙头企业实现工艺应用，各方面性能达到国际同类设备水平，满足先进封装工艺需求，大幅降低了国内封装厂的采购成本。

在国家02科技重大专项的支持下，北京中电科公司历经α、β、γ机型三个阶段，攻克超薄晶圆减薄的核心技术、压力控制技术、亚微米清洗技术以及薄片传输等关键技术，取得上百项国内发明专利，三项国际发明专利，成功研发出国内首台具有自主知识产权并满足大生产的300mm减薄抛光一体机，具备晶圆粗磨、精磨、非接触测量、抛光、清洗、传输、保护膜处理等全自动流片能力。

中电科公司“300mm超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化”项目顺利通过验收；航天工程公司国家级重点专项日投煤3500吨气化炉的辐射废锅内件出厂；中冶京诚“基于大数据的钢铁生产全流程质量分析系统研究与应用”科技成果通过评价。4月以来，北京经开区企业科技创新好消息不断，面向世界高技术前沿、面向国家战略需求的“硬核”产品和技术取得积极进展，创新驱动发展不断迈出新步伐。

日常生活中使用的超薄手机、电脑等电子设备的生产都离不开减薄抛光一体机，这款设备此前一直被国外公司垄断。

在国家02科技重大专项的支持下，中电科公司对工艺需求进行项目攻关，突破关键技术、系统集成、工艺验证与优化，历经三个阶段，攻克超薄晶圆减薄的核心技术、压力控制技术、亚微米清洗技术以及薄片传输等关键技术，取得上百项国内发明专利、3项国际发明专利，成功研发出国内首台具有自主知识产权并满足大生产的300mm减薄抛光一体机。目前，该型减薄抛光一体机正在国内封装龙头企业实现工艺应用，大幅降低了国内封装厂的采购成本。

4月16日，从路东区的航天长征化学工程股份有限公司传来喜讯，其承担的科技部国家级重点研发计划“煤炭清洁高效利用和新型节能技术‘重点专项’大规模干煤粉气流床气化技术开发及示范”项目——日投煤3500吨气化炉的辐射废锅内件出厂。该炉型为目前世界最大级别的粉煤气化炉。

据了解，日投煤量3500吨气化炉是航天工程公司为大规模干煤粉气流床气化技术开发及示范项目设计研发的超大型粉煤气化炉。该炉型具有产量更大、技术指标更优、一次性投资更省、运行成本更低、环保水平更高等优势，代表着现代煤化工最先进的煤气化技术水平。

在中冶京诚，公司完成的“基于大数据的钢铁生产全流程质量分析系统研究与应用”日前通过中国金属学会评价，一致认为该技术达到了国际先进水平。该成果针对目前钢铁企业在质量管控和分析方面面临的共性问题，利用大数据及人工智能技术，突破了传统IT信息化系统框架结构、技术方法、适用领域等局限性，研究成果已在济源钢铁、中国一重、江阴兴澄特钢等多个不同类型的企业成功应用。

深耕核心技术，打造“硬核”产品。相关负责人说，北京经开区坚持围绕关键核心技术突破，实施“白菜心”工程，发布关键核心技术攻关清单，重点推进国家集成电路创新中心、京津冀综合创新中心建设，围绕产业链部署创新链，构建良好的创新生态，努力推动创新工作取得突破。

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