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为什么只有ASML才能制造出顶级光刻机,其技术难度有多高

独爱72H 来源:网络整理 作者:佚名 2020-04-19 23:43 次阅读

(文章来源:网络整理)
大家都知道,目前我国光刻机技术至少落后荷兰ASML15年,目前荷兰ASML的顶级光刻机可以达到7nm工艺,目前他们正大研发5nm工艺光刻机;而中国目前能够量产的光刻机是90nm的工艺,差了10几倍,光刻机制造真的有这么难吗?

光刻设备是一种投影曝光系统,由紫外光源、光学镜片、对准系统等部件组装而成。在芯片制造过程中,通过投射光束,穿过印着图案的掩模及光学镜片,将线路图曝光在带有光感涂层的硅晶圆上;然后通过蚀刻曝光等等步骤,形成芯片;这里有几个重要的因素:光源,镜头,对准系统等等。制造这么高精端的光刻机,它有着:德国蔡司供应的镜头;在光源设备上美国公司的供货;而且大量来自于海力士也不断向ASML提供技术支持;这么多技术厂商的支持,加上ASML本身的组装技术,所以ASML能够一直位于世界第一,生产的光刻机也是最顶级的。

光刻机技术是世界上最尖端的技术之一,只有很少的国家掌握,所以光刻机是非常昂贵的,一台高端的光刻机可以卖到1.2亿美元左右,目前全球最贵的光刻机是:EUV光刻机,单台售价超过1.2亿美元,虽然卖这么贵,但还是供不应求,很多EUV光刻机订单都是排队生产,甚至有部分国家就算给再多的钱也买不到。

目前ASML是全球唯一能够达到7纳米精度光刻机的提供商,所以说ASML是全球芯片业真正的超级霸主一点都不过分。

目前在全球45纳米以下高端光刻机市场当,荷兰ASML也占了80%以上,而且这个占比每的还在持续增长,目前全球知名芯片厂商包括英特尔三星、台积电、SK海力士、联电、格芯、中芯国际、华虹宏力、华力微等等全球一线公司都是ASML的客户。虽然ASML是一家荷兰公司,但他背后却有着欧盟以及美国的力量,多关键技术都由美国以及欧盟国家提供。比如德国先进的机械工艺以及世界级的蔡司镜头,再加上美国提供的光源,这就使得ASML公司在光科技术方面飞速发展,几乎到达了无人能敌的境地。

因为背后有美国的力量,所以ASML一直以来都禁止向中国出口高端光刻机,直到2018年这一情况才有所转机,2018年ASML同意向中国出口两台7纳米的高端光刻机,预计2019年交货。

那ASML为什么反常的同意向中国出口高端光刻机呢?,一因为中国在光刻机的一些关键技术上已经取得了突破,目前中国已经成功研制出22nm超分辨的光刻机,可以生产14nm工艺的芯片,虽然和ASML的7nm工艺还有不小的差距,但我们一直在努力 ,相信不久将来,我们会在光刻机技术上达到世界顶级水平。
(责任编辑:fqj)

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