压阻式传感器的实例应用

利用半导体压阻效应，可设计成多种类型的压阻式传感器。压阻式传感器体积小，结构比较简单，灵敏度高，能测量十几微帕的微压，动态响应好，长期稳定性好，滞后和蠕变小，频率响应高，便于生产，成本低。因此，它在测量压力、压差、液位物位、加速度和流量等方面得到了普遍应用。

1、压力测量

硅压阻式压力传感器由外壳、硅膜片（硅杯）和引线等组成。

2、液位测量

它是根据液面高度与液压成比例的原理工作的。投入式液位传感器安装方便，可适应于深度为几米至几十米，且混有大量污物、杂质的水或其他液体的液位测量。

3、加速度测量

它的悬臂梁直接用单晶硅制成，在悬臂梁的根部扩散四个阻值相同的电阻，构成差动全桥。在悬臂梁的自由端装一质量块，当传感器受到加速度作用时，由于惯性，质量块使悬臂梁发生形变而产生应力，该应力使扩散电阻的阻值发生变化，由电桥的输出信号可获得加速度的大小。