电子发烧友App

硬声App

0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

电子发烧友网>今日头条>一种浇口蚀刻后的感光膜去除方法

一种浇口蚀刻后的感光膜去除方法

收藏

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉

评论

查看更多

相关推荐

一种用非金属掩模层蚀刻碳化硅的方法

一种用非金属掩模层蚀刻碳化硅的方法。该方法包括提供碳化硅基底;通过在基底上施加一层材料来形成非金属掩模层;形成掩模层以暴露基底的底层区域;并以第一速率用等离子体蚀刻基底的底层区域,同时以低于第一速率蚀刻掩模层。
2022-03-29 14:55:271620

22nm互连的光刻蚀刻后残留去除的挑战和新方法

本文描述了我们华林科纳研究去除金属硬掩模蚀刻后光致抗蚀剂去除和低k蚀刻后残留物去除的关键挑战并概述了一些新的非等离子体为基础的方法。 随着图案尺寸的不断减小,金属硬掩模(MHM)蚀刻后留下的光刻
2022-05-31 16:51:513233

蚀刻后残留物和光刻胶的去除方法

(BEOL)蚀刻中,在不去除低k材料的情况下去除抗蚀剂和残留物的选择性是非常具有挑战性的。概述了现状、问题和一些新的方法
2022-07-04 17:04:087175

半导体器件制造中的蚀刻工艺技术概述

在半导体器件制造中,蚀刻指的是从衬底上的薄膜选择性去除材料并通过这种去除在衬底上产生该材料的图案的任何技术,该图案由抗蚀刻工艺的掩模限定,其产生在光刻中有详细描述,一旦掩模就位,可以通过湿法化学或“干法”物理方法对不受掩模保护的材料进行蚀刻,图1显示了这一过程的示意图。
2022-07-06 17:23:522866

张图看懂PCB生产工艺流程

  字符  目的:字符是提供的一种便于辩认的标记。  流程:绿油终锔→冷却静置→调网→印字符→锔  镀金手指  目的:在插头手指上镀上层要求厚度的镍金层,使之更具有硬度的耐磨性。  流程:上板
2018-11-28 11:32:58

一种伺服电机的控制方法

本发明涉及机械控制技术领域,尤其涉及一种伺服电机的控制方法。背景技术:随着机械控制领域的高速发展,对于伺服电机的需要也日益增加,因此对于伺服 电机的控制已引起越来越多人的重视。目前传统的伺服电机
2021-09-03 08:53:04

一种基于梳状滤波器的固体腔厚度测量方法

针对密集波分复用(DWDM)技术中所使用的梳状滤波器,对固体腔研磨厚度指标要求极高Δν=200GHz,Δd≤13.37nm,本文提出运用法布里-珀罗干涉理论(Fabry-Perot),研究设计了一种
2010-05-13 09:04:51

一种新型SIW腔体双滤波器的设计方法介绍

达到这个要求。而基片集成波导(SIW)技术为设计这种滤波器提供了一种很好的选择。SIW的双谐振器具有对简并模式,可以通过对谐振器加入微扰单元来使这两个简并模式分离,因此,经过扰动的谐振器可以看作
2019-07-03 07:08:15

感光制作pcb是很落后的

我试过很多方法制作pcb觉得感光油墨法制作pcb是最好的方法,成功率高,做出来的板子和工厂的没什么区别!
2012-02-11 22:20:15

感光和湿的优缺点.

感光和湿的优缺点.湿刷不平也不影响么?谁有经验讲讲吧?到底哪个好,工厂是用哪个?
2012-11-05 19:40:37

蚀刻简介

层需要全部蚀刻,而留下的另层就是电路。蚀刻方法,我们主要讨论化学方法,主要分为浸渍蚀刻、搅拌蚀刻以及喷射蚀刻。浸渍蚀刻就是把线路板进入容器中,容器中盛有蚀刻药液。这种蚀刻方法比较慢,而且会存在凹陷
2017-02-21 17:44:26

蚀刻过程分为两类

为了在基板上形成功能性的MEMS结构,必须蚀刻先前沉积的薄膜和/或基板本身。通常,蚀刻过程分为两类:浸入化学溶液材料溶解的湿法蚀刻蚀刻,其中使用反应性离子或气相蚀刻剂溅射或溶解材料在下文中,我们将简要讨论最流行的湿法和干法蚀刻技术。
2021-01-09 10:17:20

Nexar如何为FPGA设计提供一种全新的方法

 本文概述了开发这种系统所必须面对的各种设计挑战,并讲解了Altium公司的最新电子设计环境Nexar如何为FPGA设计提供一种全新的方法。这种方法不仅可将处理器有效地集成入FPGA之中,而且成为一种挖掘现有以及未来大容量、低成本FPGA部件应用潜力的系统级
2021-05-08 06:02:24

PCB制造方法蚀刻

,通过光化学法,网印图形转移或电镀图形抗蚀层,然后蚀刻掉非图形部分的铜箔或采用机械方式去除不需要部分而制成印制电路板PCB。而减成法中主要有雕刻法和蚀刻法两。雕刻法是用机械加工方法除去不需要的铜箔,在单
2018-09-21 16:45:08

PCB制造过程步骤

组成的图形。  3)然后烘干、修版。PCB制作第三步光学方法(1)直接感光法  其工艺过程为:覆铜板表面处理感光曝光显影修版。修版是蚀刻前必须要做的工作,可以把毛刺、断线、砂眼等进行
2018-08-30 10:07:20

PCB外层电路的蚀刻工艺

导线线宽十分精细时将会产生系列的问题。同时,侧腐蚀(见图4)会严重影响线条的均匀性。   在印制板外层电路的加工工艺中,还有另外一种方法,就是用感光代替金属镀层做抗蚀层。这种方法非常近似于内层蚀刻
2018-11-26 16:58:50

PCB工艺流程详解

MEI001规定的方法处理,防止污染环境。  内层干菲林  、原理  在板面铜箔上贴上感光材料(感光油或干),然后通过黑菲林进行对位曝光,显影后形成线路图形。  二、工艺流程图:  三、化学清洗
2018-09-19 16:23:19

PCB板制作工艺中的等离子体加工技术

于聚四氟乙烯材料化学沉铜前的活化处理,但总结起来,能达到保证产品质量并适合于批生产的,主要有以下两种方法:  (A) 化学处理法  金属钠和萘,于非水溶剂如四氢呋喃或乙二醇二甲醚等溶液内反应,形成一种萘钠
2018-09-21 16:35:33

PCB样板的正片与负片简介

的。经过线路制程曝光,透明部份因干阻剂受光照而起化学作用硬化。显影制程会把没有硬化的干冲掉,然后在铜面上镀锡铅,然后去,接着用碱性药水蚀刻去除透明的那部分铜箔,剩下的黑色或棕色底片便是我们需要的线路
2016-12-19 17:39:24

PCB生产工艺 | 第五道主流程之图形转移

等。【2】干(压干/贴/贴干)通过压机,在铜面上,贴附感光材料(干)。【3】曝光利用感光照相原理,使感光材料(干)受到紫外光照射(即曝光),发生聚合反应,完成图形转移。注:曝光又为图形
2023-02-17 11:46:54

PCB碱性蚀刻常见问题原因及解决方法

。  (5)要根据电路图形的密度情况及导线精度,确保铜层厚度的致性,可采用刷磨削平工艺方法。  (6)经修补的油墨必须进行固化处理,并检查和清洗已受到沾污的滚轮。  8.问题:印制电路板中蚀刻发现
2018-09-19 16:00:15

PCB线路板外层电路的蚀刻工艺详解

还提出了另外一种方法,就是用感光代替金属镀层做抗蚀层。这种方法非常近似于内层蚀刻工艺,可以参阅内层制作工艺中的蚀刻。  目前,锡或铅锡是最常用的抗蚀层,用在氨性蚀刻剂的蚀刻工艺中。氨性蚀刻剂是普遍
2018-09-13 15:46:18

《炬丰科技-半导体工艺》硅纳米柱与金属辅助化学蚀刻的比较

:MacEtch 是一种湿法蚀刻工艺,可提供对取向、长度、形态等结构参数的可控性,此外,它是一种制造极高纵横比半导体纳米结构的简单且低成本的方法。 3 该工艺利用了在氧化剂(例如过氧化氢 (H2O2))和酸(例如
2021-07-06 09:33:58

【AD问答】关于PCB的蚀刻工艺及过程控制

十分精细时将会产生系列的问题。同时,侧腐蚀会严重影响线条的均匀性。在印制板外层电路的加工工艺中,还有另外一种方法,就是用感光代替金属镀层做抗蚀层。这种方法非常近似于内层蚀刻工艺,可以参阅内层制作
2018-04-05 19:27:39

【案例分享】电源纹波那么大?其实不定是产品的问题

的制作是PCB制作的根本。所以图形转移过程对PCB制作来说,有非常重要的意义。内层干包括内层贴、曝光显影、内层蚀刻等多道工序。内层贴就是在铜板表面贴上层特殊的感光,就是我们所说的干。这种
2018-09-20 17:27:19

三防漆固化板返修的去除方法

三防漆固化的线路板还有可能会返修,这就需要把漆膜去除掉,然后才能更换元件。这里敏通给大家列举几种比较常见的去除方法,加热法,不到万不得已不建议采用此方法。加热法的具体操作是,般采用
2017-05-28 10:44:47

为什么要提出一种并行通信方法?并行通信方法有什么特点?

为什么要提出一种并行通信方法?并行通信方法有什么特点?
2021-05-27 06:16:02

介绍一种使用WSL来编译nodemcu固件的方法

本文将介绍一种使用WSL来编译nodemcu固件的方法
2022-02-15 07:34:55

介绍一种可以高精度的测量电阻的方法

本文介绍了一种可以高精度的测量电阻的方法
2021-05-10 06:38:57

介绍一种基于分级的RFID隐私保护方法

介绍一种基于分级的RFID隐私保护方法
2021-05-26 06:17:01

光掩(mask)制造流程和检测流程及其他资料整理

称光罩(mask)制造。这部分是流程衔接的关键部分,是流程中造价最高的部分,也是限制最小线宽的瓶颈之。光掩除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩的种类有四
2012-01-12 10:36:16

分享一种具有低功耗意识的FPGA设计方法

分享一种具有低功耗意识的FPGA设计方法
2021-04-29 06:15:55

分享一种数字秒表设计方法

本文介绍了一种基于FPGA利用VHDL硬件描述语言的数字秒表设计方法
2021-05-11 06:37:32

分享一种新的失效保护方法

分享一种在车身控制模块(BCM)设计中新的失效保护方法
2021-05-14 06:15:48

印制电路制作过程的蚀刻

的速度方向都是垂直向下的,喷淋的速度都是致的,为u0;  (4) 喷淋时,认为在凹槽中蚀刻液是从凹槽中央喷射出来的,如图1所示:  (5) 在凹槽中,将反应流体看成是凹槽内的环境流体,对喷射有
2018-09-10 15:56:56

印制电路制造者的干膜技术性能要求

光亮镀锡铅合金以及上述电镀的各种 镀前处理溶液中,聚合的于抗蚀层应无表面发毛、渗镀、起翘和脱落现象。   ◎去性能 曝光的干,经蚀刻和电镀之后,可以在强碱溶液中去除般采用3—5%的氢氧化
2010-03-09 16:12:32

印制电路板蚀刻过程中的问题

本帖最后由 gk320830 于 2015-3-7 16:48 编辑 印制电路板蚀刻过程中的问题蚀刻是印制电路板制作工业中重要的步。它看上去简单,但实际上,如果在蚀刻阶段出现问题将会影响板
2013-09-11 10:58:51

印制电路板PCB的制作及检验

漏印  丝网漏印(简称丝印)是一种古老的印制工艺,与油印机类似。丝网漏印就是在丝网(真丝、涤纶丝等)上通过贴感光(制、曝光、显影、去)等感光化学处理,将图形转移到丝网上,或在丝网上黏附层漆膜或
2023-04-20 15:25:28

印制电路板用干防焊

本帖最后由 gk320830 于 2015-3-7 16:49 编辑 印制电路板用干防焊阻焊剂不为液态或糊剂状,它是以一种光敏聚合物的形态出现的,这层光敏聚合物夹在两层保护层之间
2013-09-11 10:56:17

印制电路板用干防焊的步骤

  干阻焊剂不为液态或糊剂状,它是以一种光敏聚合物的形态出现的,这层光敏聚合物夹在两层保护层之间,这两层保护层保护中间的感光乳剂以防止其在操作过程中受到破坏。应用干防焊的步骤详述如下
2018-09-05 16:39:00

印制电路板的蚀刻方法

蚀刻  浸入蚀刻一种半桨技术,它只需个装满蚀刻洛液的槽,把板子整个浸入到溶液中,如图1所示。板子需要保持浸入直至蚀刻完成,这就需要很长的蚀刻时间,且蚀刻速度非常缓慢。可以通过加热蚀刻溶液的方法
2018-09-11 15:27:47

印制电路板的镀锡、褪锡、脱过程

症状。这故障现象可通过活性炭吸附处理后进行过滤,并重新调整其他成分予以解决。  图2镀锡前后对比  2、褪锡  脱工艺中的褪锡是将已完成线路蚀刻的线路抗蚀层(即:经镀锡工艺形成的锡层)去除,露出
2018-09-20 10:24:11

印刷电路板五个基本制作方法

。印刷电路板基本制作方法、刀刻法这种方法是把已设计好的印刷板图用复写纸复写到敷铜板上面,用锋利的刻刀沿线路刻划,然后把不要的那部分铜箔用刻刀挑起来并撕掉。这种方法只适用于线路比较简单的电路,是一种最经济
2018-09-13 16:01:07

叫你用A4纸和感光板制作电路板

边待用。取出蚀刻剂(190克),配800毫升水。注意不要误差太大。配好后放在边待用。注意!蚀刻剂和显影剂不接触金属物品!!!曝光完成,去掉白纸,把感光板放在个合适的孰料盆里,倒入适量的显影剂
2012-10-06 20:47:05

图像转移基础流程

→曝光→显影(贴干→曝光→显影)→形成负相图象→图形镀铜→图形电镀金属抗蚀层→去蚀刻→进入下工序     图像转移有两种方法一种是网印图像转移
2010-03-09 16:22:39

如何去实现一种OSD?有什么方法吗?

OSD是什么?OSD包含的基本元素有哪些?如何去实现一种OSD?有什么方法吗?
2021-06-02 06:04:06

如何去实现一种基于NFC的新智能连接调试方法

基于NFC的新智能连接调试方法是什么?如何去实现一种NFC智能连接调试方法
2021-06-30 07:23:45

如何去实现一种多路高速串口的通信方法

一种基于VxWorks的多路高速串口的通信方法设计
2021-06-03 06:36:54

小编科普一种去除传输线的方法

本文介绍了一种去除传输线的方法
2021-05-21 07:10:45

怎样去使用一种异域加密的方法

怎样去使用一种异域加密的方法呢?
2022-01-20 07:01:33

想知道如何去除法令纹吗

  法令纹是皱纹中的一种,在生活除皱 http://www.fh21.com.cn/meirong/zs/中非常的常见,对于它的去除也有非常多的方法,关键是选择一种适合自己的方法,同时也要选择正规
2012-09-27 11:44:27

普通单双面板的生产工艺流程:图形转移

等。【2】干(压干/贴/贴干)通过压机,在铜面上,贴附感光材料(干)。【3】曝光利用感光照相原理,使感光材料(干)受到紫外光照射(即曝光),发生聚合反应,完成图形转移。注:曝光又为图形
2023-02-17 11:54:22

晶片边缘蚀刻机及其蚀刻方法

  晶片边缘的蚀刻机台,特别是能有效地蚀刻去除晶片边缘剑山的一种蚀刻机,在动态随机存取存储单元(dynamic random access memory,DRAM)的制造过程中,为了提高产率,便采用
2018-03-16 11:53:10

最简便的pcb制作方法,不用激光打印机了。

来讲不太适合。现在介绍一种高精度低成本快速制版的方法——感光法~感光法分为干和湿,干是利用成品感光贴在覆铜板上,热压,再进行感光。湿是将感光油膜涂抹在覆铜板上,待干透即可进行感光~下面将
2012-09-30 22:31:23

一种IC总线应用下的EEPROH的测试方法

分析了I2C总线的工作原理及其特点提出一种在I2C总线应用下的EEPROM测试方法
2021-04-09 06:09:12

一种高档FPGA可重构配置方法

求大神分享一种高档FPGA可重构配置方法
2021-04-29 06:16:54

求推荐一种高响应和高灵敏度的感光芯片。

求推荐一种高响应和高灵敏度的感光芯片。要求芯片可对瞬间的微弱的闪光做成响应。
2016-06-11 11:58:05

湿蚀刻

湿蚀刻是光刻之后的微细加工过程,该过程中使用化学物质去除晶圆层。晶圆,也称为基板,通常是平面表面,其中添加了薄薄的材料层,以用作电子和微流体设备的基础;最常见的晶圆是由硅或玻璃制成的。湿法刻蚀
2021-01-08 10:15:01

感光板制作电路板全程图解

加水补满,但请不要超过650c.c.因为这会导致浓度不足,蚀刻时间上也会增加。  补充点,目前市面上的蚀刻液分为两一种为传统使用的氯化铁,另一种则为本范例使用的环保蚀刻液,但由於氯化铁回收不易,喷
2012-12-06 09:41:20

线路板湿工艺技术解决成品的沙眼、缺口、断线等问题

感光性树脂合成,添加了感光剂、色料、填料及溶剂的一种蓝色粘稠状液体。基材上的凹坑、划伤部分与湿的接触良好,且湿主要是通过化学键的作用与基材来粘合的,从而湿与基材铜箔间有优良好的附着力,使用丝网
2018-08-29 10:20:48

给大家介绍一种PCB设计复用方法

本文介绍了一种PCB设计复用方法,它是基于Mentor Graphics的印制电路板设计工具Board Station进行的。
2021-05-06 07:10:13

给大家介绍一种软件修正方法

本文介绍一种三轴正交型传感器正交性的软件修正方法
2021-05-07 06:53:11

芯片化学开封了解下!

化学开封Acid Decap,又叫化学开封,是用化学的方法,即浓硫酸及发烟硝酸将塑封料去除的设备。通过用酸腐蚀芯片表面覆盖的塑料能够暴露出任何一种塑料IC封装内的芯片。去除塑料的过程又快又安全,并且
2021-12-08 17:06:31

芯片开盖去除封胶Decap

芯片开盖去除封胶Decap芯片失效分析时需分析内部的芯片、打线、组件时,因封装胶体阻挡观察,利用「laser蚀刻」及「湿式蚀刻」两搭配使用,开盖(Decap)、去胶(去除封胶,Compound
2018-08-29 15:21:39

讲述个电子爱好者自制电路板的故事

害;感光与敷铜板的接触,是用温度加上压力,所以附着力不如感光油;贴跟撕需要定的技巧;用感光还要有过塑机。所需主要材料 工具: 打印机硫酸纸或菲林纸感光热转印机这三工艺就像叠加的三角,一种
2016-08-01 12:55:11

详谈PCB的蚀刻工艺

层铜是必须被全部蚀刻掉的,其余的将形成最终所需要的电路。这种类型的图形电镀,其特点是镀铜层仅存在于铅锡抗蚀层的下面。  另外一种工艺方法是整个板子上都镀铜,感光以外的部分仅仅是锡或铅锡抗蚀层。这种
2018-09-19 15:39:21

陶瓷基板制作工艺中的相关技术介绍

程序包含了去胶渣、化学铜和电镀铜三个程序。3、干压合:制作感光蚀刻的阻抗层。4、内层线路影像转移 :利用曝光将底片的影像转移至板面。5、 外层线路曝光:经过感光的贴附后,电路板曾经过类似内层板
2020-10-27 08:52:37

台阶厚仪

中图仪器CP系列台阶厚仪是一种常用的厚测量仪器,它是利用光学干涉原理,通过测量层表面的台阶高度来计算出层的厚度,具有测量精度高、测量速度快、适用范围广等优点。它可以测量各种材料的层厚度
2023-11-28 11:31:52

在PCB碱性蚀刻中常见的问题的原因和故障解决方法

PCB蚀刻技术通常所指蚀刻也称光化学蚀刻,指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用。
2017-04-21 17:08:275084

PCB线路板外层电路制作的蚀刻工艺解析

在印制板外层电路的加工工艺中,还有另外一种方法,就是用感光膜代替金属镀层做抗蚀层。这种方法非常近似于内层蚀刻工艺,可以参阅内层制作工艺中的蚀刻。目前,锡或铅锡是最常用的抗蚀层,用在氨性蚀刻剂的蚀刻
2019-07-10 15:11:352708

蚀刻的原理

通常所指蚀刻也称腐蚀或光化学蚀刻(photochemicaletching),指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。
2019-04-25 15:41:3614173

电路板蚀刻是什么意思

蚀刻法是用蚀刻液将导电线路以外的铜箔去除掉的方法,雕刻法是用雕刻机将导电线路以外的铜箔去除掉的方法,前者是化学方法,较常见,后者是物理方法
2019-05-17 11:13:2122170

浅谈pcb蚀刻制程及蚀刻因子

1、 PCB蚀刻介绍 蚀刻是使用化学反应而移除多余材料的技术。PCB线路板生产加工对蚀刻质量的基本要求就是能够将除抗蚀层下面以外的所有铜层完全去除干净,仅此而已。在PCB制造过程中,如果要精确地
2021-04-12 13:48:0031004

湿法蚀刻工艺的作用:可有效去除金属氧化物

的氧化镍未完全去除造成的。这项研究对这些多余金属缺陷的成分进行了分类和确定,评估了推荐的去除氧化镍的湿蚀刻方法,最后提出了一种湿蚀刻工艺,该工艺将快速去除缺陷,同时继续保持所需的半各向异性蚀刻轮廓,这是大多数金属
2022-02-28 14:59:351780

半导体器件制造中的蚀刻技术

在半导体器件制造中,蚀刻是指选择性地从衬底上的薄膜去除材料并通过这种去除在衬底上创建该材料的图案的技术。该图案由一个能够抵抗蚀刻过程的掩模定义,其创建过程在光刻中有详细描述。一旦掩模就位,就可以通过湿化学或“干”物理方法蚀刻不受掩模保护的材料。图1显示了该过程的示意图。
2022-03-10 13:47:364332

水痕去除的有效方法有哪些

应用兆频超声波能量去除颗粒已被证明是一种非常有效的非接触式清洁方法。对晶片表面的清洁同样重要的是干燥过程。一种非常常见的方法是高速旋转干燥,但从减少颗粒和防止水痕的角度来看,这都是无效的。一种高性能的替代品是基于旋转力和马兰戈尼力的“旋转戈尼”干燥器。这两种技术的结合为清洗和干燥晶片提供了有效的平台。
2022-03-15 11:27:481021

微细加工湿法蚀刻中不同蚀刻方法

微加工过程中有很多加工步骤。蚀刻是微制造过程中的一个重要步骤。术语蚀刻指的是在制造时从晶片表面去除层。这是一个非常重要的过程,每个晶片都要经历许多蚀刻过程。用于保护晶片免受蚀刻剂影响的材料被称为掩模
2022-03-16 16:31:581134

如何利用原子力显微镜测量硅蚀刻速率

本文提出了一种利用原子力显微镜(AFM)测量硅蚀刻速率的简单方法,应用硅表面的天然氧化物层作为掩膜,通过无损摩擦化学去除去除部分天然氧化物,暴露地下新鲜硅。因此,可以实现在氢氧化钾溶液中对硅的选择性蚀刻,通过原子精密的AFM可以检测到硅的蚀刻深度,从而获得了氢氧化钾溶液中精确的硅的蚀刻速率。
2022-03-18 15:39:18401

半导体制造工艺中浇口蚀刻后的感光去除方法

通过使半导体制造工艺中浇口蚀刻后生成的聚合物去除顺畅,可以简化后处理序列,从而缩短前工艺处理时间,上述感光去除方法是:在工艺室内晶片被抬起的情况下,用CF4+O2等离子体去除聚合物的步骤;将晶片安放在板上,然后用O2等离子体去除感光膜的步骤;和RCA清洗步骤。
2022-04-11 17:02:43783

一种半导体制造用光刻胶去除方法

本发明涉及一种去除光刻胶的方法,更详细地说,是一种半导体制造用光刻胶去除方法,该方法适合于在半导体装置的制造过程中进行吹扫以去除光刻胶。在半导体装置的制造工艺中,将残留在晶片上的光刻胶,在H2O
2022-04-13 13:56:42872

一种在衬底上蚀刻氮化硅的方法

本文提供了用于蚀刻膜的方法和设备。一个方面涉及一种在衬底上蚀刻氮化硅的方法,该方法包括:(a)将氟化气体引入等离子体发生器并点燃等离子体以a形成含氟蚀刻溶液;(b)从硅源向等离子体提供硅;以及
2022-04-24 14:58:51979

一种臭氧氧化和硅蚀刻技术

本文章提出了一种新的半导体超卤素深度分析方法,在通过臭氧氧化去除一些硅原子层,然后用氢氟酸蚀刻氧化物后重复测量,确定了成分和表面电位的深度分布,因此这种分析技术提供了优于0.5纳米的深度分辨率,通过
2022-05-06 15:50:39366

刻蚀后残留物的去除方法

(BCB)。蚀刻工艺的固有副产物是形成蚀刻后残留物,该残留物包含来自等离子体离子、抗蚀剂图案、蚀刻区域的物质混合物,以及最后来自浸渍和涂覆残留物的蚀刻停止层(Au)的材料。普通剥离剂对浸金的蚀刻后残留物无效,需要在去除残留物之
2022-06-09 17:24:132320

使用清洗溶液实现蚀刻后残留物的完全去除

我们华林科纳半导体开发了一种新的湿法清洗配方方法,其锡蚀刻速率在室温下超过30/min,在50°c下超过100/min。该化学品与铜和低k材料兼容,适用于铜双镶嵌互连28 nm和更小的技术节点
2022-06-14 10:06:242210

BEOL应用中去除蚀刻后残留物的不同湿法清洗方法

)开口的低k图案化中,观察到两个主要问题。首先,MHM开口后的干剥离等离子体对暴露的低k材料以及MHM下面的低k材料造成一些损伤。受损低k是非常易碎的材料,不应该被去除,否则将获得一些不良的轮廓结构。其次,连续的含氟低k蚀刻等离子体导致聚合物
2022-06-14 16:56:371355

一种穿过衬底的通孔蚀刻工艺

通过使用多级等离子体蚀刻实验设计、用于蚀刻后光致抗蚀剂去除的替代方法,以及开发自动蚀刻后遮盖物去除顺序;一种可再现的基板通孔处理方法被集成到大批量GaAs制造中。对于等离子体蚀刻部分,使用光学显微镜
2022-06-23 14:26:57516

浇注系统的浇口形式及尺寸设计

  浇口又称进料口,是连接分流道与型腔之间的一段细短流道(除直接浇口外), 它是浇注系统的关键部分。其主要作用是:
2022-11-11 11:35:064164

什么是金属蚀刻蚀刻工艺?

金属蚀刻一种通过化学反应或物理冲击去除金属材料的技术。金属蚀刻技术可分为湿蚀刻和干蚀刻。金属蚀刻由一系列化学过程组成。不同的蚀刻剂对不同的金属材料具有不同的腐蚀特性和强度。
2023-03-20 12:23:433172

利用氧化和“转化-蚀刻”机制对富锗SiGe的热原子层蚀刻 引言

器件尺寸的不断缩小促使半导体工业开发先进的工艺技术。近年来,原子层沉积(ALD)和原子层蚀刻(ALE)已经成为小型化的重要加工技术。ALD是一种沉积技术,它基于连续的、自限性的表面反应。ALE是一种蚀刻技术,允许以逐层的方式从表面去除材料。ALE可以基于利用表面改性和去除步骤的等离子体或热连续反应。
2023-06-15 11:05:05526

深度解读硅微纳技术之蚀刻技术

蚀刻一种从材料上去除的过程。基片表面上的一种薄膜基片。当掩码层用于保护特定区域时在晶片表面,蚀刻的目的是“精确”移除未覆盖的材料戴着面具。
2023-07-12 09:26:03190

深度解读硅微纳技术之的蚀刻技术

蚀刻一种从材料上去除的过程。基片表面上的一种薄膜基片。当掩码层用于保护特定区域时在晶片表面,蚀刻的目的是“精确”移除未覆盖的材料戴着面具。
2023-07-14 11:13:32183

pcb蚀刻是什么意思

 在印制板外层电路的加工工艺中,还有另外一种方法,就是用感光膜代替金属镀层做抗蚀层。这种方法非常近似于内层蚀刻工艺,可以参阅内层制作工艺中的蚀刻
2023-09-06 09:36:57811

PCB的蚀刻工艺及过程控制

另外一种工艺方法是整个板子上都镀铜,感光膜以外的部分仅仅是锡或铅锡抗蚀层。这种工艺称为“全板镀铜工艺“。与图形电镀相比,全板镀铜的缺点是板面各处都要镀两次铜而且蚀刻时还必须都把它们腐蚀掉。
2023-12-06 15:03:45261

一种锂电池内水去除工艺方法

一种锂电池内水去除工艺方法
2024-01-04 10:23:47174

已全部加载完成