baw滤波器国产现状 赛微电子BAW滤波器正式量产！

7月16日下午，赛微电子通过官方微信宣布，公司“BAW滤波器实现量产”。

同一时间，赛微电子也发布公告宣布，近日，旗下控股子公司赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司（简称“赛莱克斯北京”或“北京 FAB3”）以 MEMS （微机电系统）工艺为某客户制造的系列 BAW（Bulk Acoustic Wave,带谐振腔体声 波）滤波器完成了小批量试生产阶段。2023 年7月15日，该客户已与赛莱克斯北京同步签署《长期采购协议》， 赛莱克斯北京开始进行 BAW 滤波器的商业化规模量产。

赛微电子表示，“尽管已在多领域实现 MEMS 制造技术的积累和突破，但公司北京 FAB3 在整体上仍处于运营初期，产线的产能爬坡、良率提升是一个持续的过程，产能扩充及 产量目标的实现尚需一定时间。”

过去的十年间，通信行业经历了从2G到3G，再从3G到4G的两次重大产业升级，双4G/全网通、五模/七模、十三频/十七频/三十频、载波聚合、MIMO逐渐成为智能手机标配，这也导致对于包括射频开关、射频低噪声放大器、射频功率放大器、双工器、射频滤波器在内的射频前端器件的要求越来越高，同时所需的数量和价值也在急剧增加。

据芯智讯2021年时了解到的信息显示，2G时代，手机频段数是4个，总价值约0.8美元；3G时代，手机频段数上升到6个，总价值约3.25美元；然而到了4G时代，千元机频段数就达到了8-20个，总价值也提高到了8-10美元；旗舰机频段数在17-30，需要20-40个滤波器，10个开关，总价值达到了16-20美元；而到了5G 手机，频段数将达到50多个，需要约80多个滤波器和约15个开关，总价值达25-40美元。

从整个射频前端市场的供应商格局变化来看，随着通信技术的持续迭代，需要的资金和技术投入越来越大，市场竞争也进一步加剧，射频前端市场的玩家也在不断的并购当中越来越少，市场也越来越集中。目前在整个射频前端市场，Skywork、Qorvo、Broadcomm（Avago）和muRata四家国外厂商占据着全球约85%的市场份额，国产射频前端厂商市场份额较低。

根据Yelo数据显示，在移动市场，现在全球93%的PA供应集中在 Skyworks、Qorvo 和 Broadcomm（Avago）等头部几家厂商手中。滤波器也被Murata、TDK、TAIYO YUDEN、Broadcomm（Avago）和Qorvo等厂商瓜分，其中Murata、TDK和TAIYO YUDEN瓜分了82%的SAW滤波器（声表面波滤波器）市场，而Broadcomm（Avago）和Qorvo则占据了95%的BAW滤波器（带谐振腔体声波滤波器，包括BAWSMR和FBAR）市场。

其中，SAW 工艺更加类似传统集成电路，而BAW 工艺则需要MEMS 声学结构以及压电材料的长期积累，所需工艺制造步骤数倍于SAW，技术难度较高且单价更高。这也导致了国产厂商在BAW领域与国外领先厂商之间存在较大差距。国内此前也仅有诺思、开元通信、汉天下等少数厂商有一些产品推出。

在此背景之下，赛微电子全资子公司北京赛莱克斯国际科技有限公司与国家集成电路产业投资基金股份有限公司共同投资的8英寸MEMS国际代工线项目公司“赛莱克斯北京”开始发力BAW滤波器器件的制造。

2022年6月12日，赛莱克斯北京“8英寸MEMS国际代工线”（北京FAB3）代工制造的某款BAW（Bulk Acoustic Wave,带谐振腔体声波滤波器，包括BAWSMR-固体安装谐振器和FBAR-薄膜体声波谐振器）通过了客户验证。

当时赛微电子就表示，经过对该批次BAW滤波器进行频段抑制、带内插损、电压驻波比等性能测试及高加速温湿度应力、高低温贮存寿命、机械及跌落冲击等可靠性验证，产自北京FAB3滤波器的性能、良率均达到或优于设计指标要求，与国际射频巨头厂商的同类别产品指标相当。该客户已同步签署试产订单，北京FAB3启动首批BAW滤波器8英寸晶圆的小批量试生产。

随后在2022年12月30日，赛微电子又宣布，其旗下控股子公司赛莱克斯北京与武汉敏声新技术有限公司（以下简称“武汉敏声”）合作共建的8英寸BAW滤波器联合产线达到各项要求和标准，实现通线，具备进行下一步产能爬坡、良率提升及大规模量产的基础。

据当时的官方介绍，“敏声-赛莱克斯北京8英寸BAW滤波器联合产线是国内屈指可数的BAW滤波器大规模量产线之一。产线的通线，标志着武汉敏声正式踏入具备滤波器设计、制造、销售全流程实力的CIDM/IDM厂商行列，可进一步发挥敏声核心专家团队平均十年以上的工艺制程经验优势，通过对核心工艺的自主掌控，未来敏声有望在产品性能、产品迭代速度、产品成本控制等方面占据竞争优势，真正解决国产高端滤波器卡脖子问题。”

武汉敏声首席技术官孙博文博士表示，“敏声BAW滤波器的产品性能已达到国际先进水平，在插损、滚降、远端抑制等具体性能指标上优于目前国外同类产品。”敏声的滤波器产品，无论在IP设计还是工艺路线上均有独立自主的知识产权，公司已经申请了200余项发明专利，授权了近70项发明专利。

编辑：黄飞