刚刚！中国第一MEMS代工厂宣布，其首款国产BAW滤波器正式量产！手机国产5G通信有望实现？

刚刚，中国及全球最大的MEMS代工厂赛微电子官宣，其首款基于MEMS技术的国产BAW滤波器实现量产，将会带来哪些影响？中国手机有望用上国产5G、6G射频芯片实现5/6G通信功能？

刚刚，中国及全球第一MEMS代工厂赛微电子官宣其首款国产BAW滤波器实现量产，什么情况？已与某客户签署长期采购协议！

刚刚（7月16日下午4点35分），中国及全球最大的MEMS晶圆代工厂赛微电子正式官宣，其首款国产BAW滤波器实现量产。该声明只有一句话，充分体现了字少事大。

▲来源：赛微电子官方公众号

据赛微电子同步发布的《北京赛微电子股份有限公司关于控股子公司BAW滤波器启动量产的公告》显示，其以 MEMS 工艺为某客户制造的系列 BAW (Bulk Acoustic Wave,带谐振腔体声波) 滤波器完成了小批量试生产阶段，已与某客户签署长期采购采购协议并启动量产：

2023 年 7 月 15 日，该客户已与赛莱克斯北京同步签署《长期采购协议》赛莱克斯北京开始进行 BAW 滤波器的商业化规模量产。

▲来源：赛微电子公告

据7月3日，赛微电子接待机构调研时的声名显示，该BAW滤波器产线初期产能为2000片晶圆/月，后期将扩展到10000片晶圆/月水平：

公司与武汉敏声以共同购置设备的方式合作建设的北京8英寸BAW滤波器联合产线已于2022年底实现通线，双方一直就数款BAW滤波器开展相关工作，工艺开发及试产工作符合预期，专线产品类别增加，良率水平大幅提升，量产事宜正在积极准备中。该产线初期建成的产能为2000片晶圆/月，后可扩展至1万片晶圆/月的水平。

关于BAW滤波器及在通信中的作用：是国产手机5G/6G通信卡脖子最关键的技术之一！

此前，华为发布了P50 Pro、Mate 50等多款屏蔽了5G功能只有4G网络的旗舰手机，既令人遗憾又饱受诟病。

手机要用5G，除了有基带芯片还不行，还必须有射频前端模组/芯片，用来收发信号，射频器件领域是制约我国工业发展的“卡脖子”关键技术之一。其中，射频前端芯片中的一个重要核心的器件迟迟无法国产化量产——这就是采用MEMS工艺的BAW滤波器。

射频前端模组，由滤波器、低噪声放大器（LNA）、功率放大器（PA）、射频开关等器件组成，如下图所示：

▲射频前端模块结构（来源：方正证券）

滤波器是射频前端中最重要的分立器件，在整个射频前端模组中，滤波器的产值占到了50%以上。我国在射频前端模组中，最主要和关键的卡脖子节点，就在滤波器这里。

滤波器的作用就是通过某特定的频率，而衰减其他频率成分，从而提高信号抗干扰和信噪比。

随着2G、3G、4G、5G甚至未来的6G，逐步演进，需要用到的频段和制式越来越多，频段越来越高，因此对滤波器的要求也越来越高，需求越来越多。

目前一个5G手机普遍需要70+个滤波器，单价也比4G的滤波器贵了许多。

▲手机滤波器需求数量变化（来源：头豹研究院）

滤波器主要分为两种：表声波滤波器（SAW滤波器）和体声波滤波器（BAW滤波器），其中SAW滤波器比较适合2GHz左右及以下的频段，而BAW滤波器的优势在于中高频段的性能优势，如更小的插入损耗、更高的带外抑制等，所以BAW滤波器成为5G甚至未来6G通信的关键。

▲滤波器技术分类及简介（来源：方正证券）

目前，全球滤波器市场基本被国外厂商垄断，国内仅有少数企业能够生产，量产情况及市场占有率不佳，绝大部分产品性能不及国际巨头同产品。

据数据显示，2020年，全球60%以上的滤波器基于SAW技术，其中95%市场基本被村田（Murata）、TDK、太阳诱电（Taiyo Yuden）、Skyworks和Qorvo垄断。

博通、Qorvo等美国厂商则集中在BAW滤波器（博通主要是FBAR），两家企业占据全球90%以上市场份额，这一市场状况持续至今（2023年）。

▲来源：方正证券

历经2年，赛微电子与武汉敏声合作攻坚BAW滤波器生产，性能与国际巨头相当！

2021年8月13日，赛微电子发布了一份控股子公司签署《战略合作框架协议》的公告，这份公告的主要签署对象，就是国产滤波器设计企业武汉敏声，这是赛微电子首次披露开启首款国产BAW滤波器设计、生产的信息。

在合作公告里面，明确提到“涉及面向‘射频滤波器芯片’的8英寸晶圆代工产能合作投资”，共同投入资源联合建设8英寸射频滤波器大规模量产线。赛微电子认为，本次与武汉敏声的合作：

一方面将有利于公司更广泛地与产业链下游公司进行交流合作，共同推动实现本土国产BAW滤波器的技术成熟与商业量产；另一方面通过合作投资模式，有利于公司加快北京MEMS工厂的二期产能建设与扩张，将进一步推动公司在本土形成和提升自主可控的BAW滤波器生产制造能力。

来源：赛微电子公告

一年后，2022年6月13日，赛微电子发布公告《关于控股子公司 BAW 滤波器通过验证并启动试产的公告》，声名该产线开始试生产。

公告中显示，由赛微电子北京FAB3产线代工制造的某款BAW通过了客户验证，经过对该批次BAW滤波器进行频段抑制等多方面可靠性验证，性能、良率均达到或优于设计指标要求，与国际射频巨头厂商同类别产品指标相当。

目前，该客户已经同步签署试产订单，北京FAB3 启动首批BAW滤波器8英寸晶圆的小批量生产。

▲来源：赛微电子公告

今日（7月16日），赛微电子发布公告，完成了小批量试生产阶段并与某客户签署长期合作协议，赛微电子与武汉敏声两个中国杰出的MEMS企业历时两年通力合作，其首款国产BAW滤波器正式量产！

关于赛微电子

北京赛微电子股份有限公司（简称“赛微电子”），是全球及中国最大纯MEMS代工厂，2015年在深交所创业板上市，重点发展MEMS工艺开发与晶圆制造业务，2016年全资收购瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，提供压力、惯性、红外、微镜、光开关、硅麦克风等多种MEMS工艺开发及晶圆制造的服务。

根据半导体市场研究机构Yole Development统计的2021年数据，Silex Microsystems AB 连续3年在全球MEMS纯晶圆代工排名中位居第一，全球MEMS芯片代工市场（不包含IDM厂商自身制造部分的统计）的占有率约为8%。

赛微电子目前国内的MEMS产线位于北京，总产能为3万片/月，分三期建设，2021年6月北京8英寸MEMS产线（北京FAB3，塞莱克斯北京）一期建成生产，其一期产能为1万片/月，二期产能为2万片/月，与武汉敏声合作建设的滤波器产线已包括在二期产能中。

关于武汉敏声

武汉敏声新技术有限公司（简称“武汉敏声”），是国产射频前端BAW滤波器行业知名企业，据官网显示，由武汉大学工业科学研究院孙成亮教授联合14名国际知名业内专家共同创立。公司以射频滤波器为拳头产品，同时覆盖压电式麦克风以及压电超声传感器芯片，致力于打造成一家集设计、生产和销售于一体的企业。公司具备完整的自主知识产权，已经注册百余项专利，建立了多维度多层次的专利壁垒。

武汉敏声自有知识产权的无线射频前端体声波滤波器（BAW）属于射频滤波器中技术门槛和价值量较高的产品，该类产品市场应用空间广阔，长期被国外厂商垄断，其所属的射频器件领域是制约我国工业发展的“卡脖子”关键技术之一。

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审核编辑 黄宇