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EFEM(设备前端模块)晶圆搬运系统是半导体制造过程中不可或缺的关键设备,其主要作用是在超净环境下实现晶圆的安全、精准传输。这类系统不仅需要维持极高的洁...
随着芯片制程迈入3nm时代,晶圆传输过程微振动控制成为新挑战。创新方案将EFEM机械臂与压电抑振平台结合: 传统流程: 晶圆拾取 → 机械臂传输 → 振...
在半导体制造的前道工艺中,晶圆传输的效率和可靠性直接影响生产良率与设备利用率。EFEM(设备前端模块)作为晶圆厂与工艺设备之间的智能接口,承担着晶圆洁净...
一、EFEM:半导体制造中的高效传输核心设备 EFEM(Equipment Front-End Module)作为半导体晶圆制造环节的关键传输设备,通...
EFEM晶圆前端传输设备生产厂家哪家? EFEM晶圆前端传输设备是半导体制造流程中的关键一环,其性能直接影响晶圆的传输效率与洁净度。作为专...
半导体溯源:S650在EFEM机台上替换欧姆龙V640读写器
提供晨控S650读卡器,并且兼容欧姆龙的1:1和1:N,可以直接替换欧姆龙的V640半导体读卡器,通过三个旋钮选择现场需求的协议模式。
Spartan EFEM系统可每小时加工450张晶圆 Crossing Automation公司 (www.crossinginc.com)宣布,已经...
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