电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
离子注入的特点是加工温度低，易做浅结，大面积注入杂质仍能保证均匀，掺杂种类广泛，并且易于自动化。由于采用了离子注入技术，大大地推动了半导体器件和集成电路工业的发展，从而使集成电路的生产进入了大规模及ULSI时代。
离子注入：将具有很高能量的杂质离子射入半导体衬底中的掺杂技术，掺杂深度由注入杂质离子的能量和质量决定，掺杂浓度由注入杂质离子的数目(剂量)决定。
掺杂的均匀性好；
温度低：小于600℃；
可以精确控制杂质分布；
可以注入各种各样的元素；
横向扩展比扩散要小得多；
可以对化合物半导体进行掺杂。
一．离子注入工艺设备结构
二、离子注入工艺的特点
(2）可以精确控制注入到硅中的掺杂原子数目。
（3）衬底温度低，一般保持在室温，因此，像二氧化硅、氮化硅、铝何光刻胶等都可以用来作为选择掺杂的掩蔽膜。
（4）离子注入深度是随离子能量的增加而增加，因此掺杂深度可以通过控制离子束能量高低来实现。另外，在注入过程中可精确控制电荷量，从而可精确控制掺杂浓度。
（5）离子注入是一个非平衡过程，不受杂质在衬底材料中的固溶度限制，原则上对各种元素均可掺杂。
（6）离子注入时的衬底温度低，这样就可以避免了高温扩散所引起的热缺陷。
（7）由于注入的直进性，注入杂质是按掩膜的图形近于垂直入射，因此横向效应比热扩散小的多，有利于器件特征尺寸的缩小。
（8）离子往往是通过硅表面上的薄膜注入到硅中，因此硅表面上的薄膜起到了保护膜作用
（9）化合物半导体是两种或多种元素按 一定组分构成的，这种材料经高温处理时，组分可能发生变化。采用离子注入技术，基本不存在上述问题，因此容易实现对化合物半导体的掺杂
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 离子注入高效SE电池 3次下载
- 半导体硅工艺学电子书 119次下载
- 提高直升机齿轮传动干运转能力的离子注入技术 42次下载
- 离子注入生物实验的计算机控制技术研究 0次下载
- 离子束注入技术应用 0次下载
- 离子注入知识常见问答 0次下载
- 大规模集成技术5-离子注入ppt 0次下载
- 金属表面改性用离子注入的机理和特点 68次下载
- 离子注入(Ion Implantation)教程 0次下载
- 用离子注入技术实现金属表面的改性 61次下载
- 集成电路工艺技术讲座-离子注入(Ion implantation) 0次下载
- 等离子体源离子注入技术及其应用 48次下载
- 离子注入工艺 (课程设计资料) 84次下载
- M5525100－1/UM型大角度离子注入机
- 4H-SiC离子注入层的欧姆接触的制备
- SiC的离子注入工艺及其注意事项 406次阅读
- 源漏离子注入工艺的制造流程 403次阅读
- SiC与GaN 功率器件中的离子注入技术挑战 1417次阅读
- 介绍离子注入在电容极板和湿法腐蚀自停止技术上的应用 934次阅读
- 什么是离子注入？离子注入的应用介绍 5275次阅读
- 一文解析离子注入的沟道效应 4065次阅读
- 离子注入中的剂量和浓度之间有何关系呢？ 3164次阅读
- 离子注入涉及到的隧道效应为什么需要7°角？ 1642次阅读
- 原位掺杂、扩散和离子注入的相关原理及其区别介绍 5206次阅读
- 碳化硅离子注入和退火工艺介绍 3151次阅读
- 什么是离子注入？离子注入相对于扩散的优点？ 4494次阅读
- 半导体离子注入工艺评估 4861次阅读
- 半导体工艺装备现状及发展趋势 1801次阅读
- 半导体制造之离子注入工艺简述 2675次阅读
- 离子注入技术的优点和应用 3248次阅读
上传资料赚积分下载排行
本周
- 1DC电源插座图纸
- 0.67 MB | 2次下载 | 免费
- 2AN158 GD32VW553 Wi-Fi开发指南
- 1.51MB | 2次下载 | 免费
- 3AN148 GD32VW553射频硬件开发指南
- 2.07MB | 1次下载 | 免费
- 4AN111-LTC3219用户指南
- 84.32KB | 次下载 | 免费
- 5AN153-用于电源系统管理的Linduino
- 1.38MB | 次下载 | 免费
- 6AN-283: Σ-Δ型ADC和DAC[中文版]
- 677.86KB | 次下载 | 免费
- 7SM2018E 支持可控硅调光线性恒流控制芯片
- 402.24 KB | 次下载 | 免费
- 8AN-1308: 电流检测放大器共模阶跃响应
- 545.42KB | 次下载 | 免费
本月
- 1ADI高性能电源管理解决方案
- 2.43 MB | 450次下载 | 免费
- 2免费开源CC3D飞控资料（电路图&PCB源文件、BOM、
- 5.67 MB | 138次下载 | 1 积分
- 3基于STM32单片机智能手环心率计步器体温显示设计
- 0.10 MB | 130次下载 | 免费
- 4使用单片机实现七人表决器的程序和仿真资料免费下载
- 2.96 MB | 44次下载 | 免费
- 5美的电磁炉维修手册大全
- 1.56 MB | 24次下载 | 5 积分
- 6如何正确测试电源的纹波
- 0.36 MB | 17次下载 | 免费
- 7感应笔电路图
- 0.06 MB | 10次下载 | 免费
- 8LZC3106G高性能谐振控制器中文手册
- 1.29 MB | 9次下载 | 1 积分
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935121次下载 | 10 积分
- 2开源硬件-PMP21529.1-4 开关降压/升压双向直流/直流转换器 PCB layout 设计
- 1.48MB | 420062次下载 | 10 积分
- 3Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233088次下载 | 10 积分
- 4电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191367次下载 | 10 积分
- 5十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183335次下载 | 10 积分
- 6labview8.5下载
- 未知 | 81581次下载 | 10 积分
- 7Keil工具MDK-Arm免费下载
- 0.02 MB | 73810次下载 | 10 积分
- 8LabVIEW 8.6下载
- 未知 | 65988次下载 | 10 积分
工商网监
评论