资料介绍
离子注入是另一种对半导体进行掺杂的方法。将杂质电离成离子并聚焦成离子束,在电场中加速而获得极高的动能后,注入到硅中(称为 “靶” )而实现掺杂。
离子束的性质
离子束是一种带电原子或带电分子的束状流,能被电场或磁场偏转,能在高压下加速而获得很高的动能。
离子束的用途
掺杂、曝光、刻蚀、镀膜、退火、净化、改性、打孔、切割等。不同的用途需要不同的离子能量 E :
E < 10 KeV ,刻蚀、镀膜
E = 10 ~ 50 KeV,曝光
E > 50 KeV,注入掺杂
5.1 离子注入系统
离子源:用于离化杂质的容器。常用的杂质源气体有 BF3、 AsH3 和 PH3 等。
质量分析器:不同离子具有不同的电荷质量比,因而在分析器磁场中偏转的角度不同,由此可分离出所需的杂质离子,且离子束很纯。
加速器:为高压静电场,用来对离子束加速。该加速能量是决定离子注入深度的一个重要参量。
中性束偏移器:利用偏移电极和偏移角度分离中性原子。
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